增强型化学气相沉积反应系统的制作方法

本实用新型涉及真空涂覆技术领域，具体为增强型化学气相沉积反应系统。

背景技术：

派瑞林涂层是一种高分子热可塑性聚合体，由单体对二甲苯在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。运用气相沉积的处理技术，可以于物体表面均匀形成薄膜。沉积过程主要为真空条件下以120c将固态粉末末状的对二甲苯的二聚物加热汽化，再以650c将气态的对二甲苯的二聚物裂解为对二甲苯的活性单体，最后气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对二甲苯的薄膜。但是现有的沉积室在长时间的沉积反应后内部的温度就会升高，从而使得沉积的效果变差，因此急需要一种装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供增强型化学气相沉积反应系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：增强型化学气相沉积反应系统，包括降温机构，所述降温机构中安装有降温主体，所述降温主体的内部开设有放置槽，所述降温主体的外端面均固定安装有固定安装板，所述固定安装板的外部固定安装有辅助降温装置和主降温装置，且所述辅助降温装置位于降温主体的两侧，所述放置槽的内部固定安装有沉积箱，所述沉积箱的上端内部固定插接有输送板，所述输送板的外端面中部固定插接有输入管，所述沉积箱的上端滑动密封插接有密封板，所述降温主体的内部安装有降温管，所述降温管的两端分别均固定安装有进水管和出水管，所述主降温装置的内部安装有安装立板，所述安装立板的内端面中部均固定安装有降温散热扇。

优选的，所述进水管和出水管均与降温管的内部相连通。

优选的，所述降温管固定安装在放置槽的外端面。

优选的，所述辅助降温装置和主降温装置的结构相同。

优选的，所述输送板呈锥形设计，并且输送板的末端插入至沉积箱的内部上端。

优选的，所述密封板的前端固定安装有抽拉把手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过进水管向降温管的内部不断的注入冷水，降温管通过放置槽可以与沉积箱的侧端面紧密的贴合，从而温度较低的降温管可以与沉积箱的内部进行热交换，从而对沉积箱的内部进行降温，使得沉积箱内部的沉积效果好，并且经过热交换的冷水可以由出水管中排出，从而使得降温管内部的冷却水一直处于温度较低的状态，并且通过主降温装置和辅助降温装置中的降温散热扇吹出了冷风辅助加快了对沉积箱内部的降温和热交换，确保了沉积箱的内部在长时间的沉积反应后内部的温度不会升高。

附图说明

图1为本实用新型的主体结构示意图；

图2为本实用新型的降温机构结构示意图；

图3为本实用新型的降温主体结构示意图；

图4为本实用新型的主降温装置结构示意图。

图中：1-沉积箱、2-输入管、3-输送板、4-降温机构、5-密封板、6-放置槽、7-降温主体、8-辅助降温装置、9-主降温装置、10-固定安装板、11-进水管、12-降温管、13-出水管、14-降温散热扇、15-安装立板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：增强型化学气相沉积反应系统，包括降温机构4，降温机构4中安装有降温主体7，降温主体7的内部开设有放置槽6，降温主体7的外端面均固定安装有固定安装板10，固定安装板10的外部固定安装有辅助降温装置8和主降温装置9，且辅助降温装置8位于降温主体7的两侧，放置槽6的内部固定安装有沉积箱1，沉积箱1的上端内部固定插接有输送板3，输送板3的外端面中部固定插接有输入管2，沉积箱1的上端滑动密封插接有密封板5，降温主体7的内部安装有降温管12，降温管12的两端分别均固定安装有进水管11和出水管13，主降温装置9的内部安装有安装立板15，安装立板15的内端面中部均固定安装有降温散热扇14。

进水管11和出水管13均与降温管12的内部相连通，降温管12固定安装在放置槽6的外端面，辅助降温装置8和主降温装置9的结构相同，输送板3呈锥形设计，并且输送板3的末端插入至沉积箱1的内部上端，密封板5的前端固定安装有抽拉把手，通过进水管11向降温管12的内部不断的注入冷水，降温管12通过放置槽6可以与沉积箱1的侧端面紧密的贴合，从而温度较低的降温管12可以与沉积箱1的内部进行热交换，从而对沉积箱1的内部进行降温，使得沉积箱1内部的沉积效果好，并且经过热交换的冷水可以由出水管13中排出，从而使得降温管12内部的冷却水一直处于温度较低的状态，并且通过主降温装置9和辅助降温装置8中的降温散热扇14吹出了冷风辅助加快了对沉积箱1内部的降温和热交换，确保了沉积箱1的内部在长时间的沉积反应后内部的温度不会升高。

工作原理：首先将密封板5拉出将需要镀膜的五件放入至沉积箱1的内部，然后利用密封板5将沉积箱1封闭，通过输入管2和输送板3将二甲苯的活性单体均匀的输送至沉积箱1的内部，从而温度较高的二甲苯的活性单体在温度较低的沉积箱1内部进行沉积从而镀膜，镀膜的过程中通过进水管11向降温管12的内部不断的注入冷水，降温管12通过放置槽6可以与沉积箱1的侧端面紧密的贴合，从而温度较低的降温管12可以与沉积箱1的内部进行热交换，从而对沉积箱1的内部进行降温，使得沉积箱1内部的沉积效果好，并且经过热交换的冷水可以由出水管13中排出，从而使得降温管12内部的冷却水一直处于温度较低的状态，并且通过主降温装置9和辅助降温装置8中的降温散热扇14吹出了冷风辅助加快了对沉积箱1内部的降温和热交换，确保了沉积箱1的内部在长时间的沉积反应后内部的温度不会升高，本实用新型使用过程中可以确保沉积箱1在长时间的工作后内部的温度适中控制在适合发生沉积反应的状态，不会出现温度升至过高现象的出现，确保了镀膜的顺利进行。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.增强型化学气相沉积反应系统，包括降温机构(4)，其特征在于：所述降温机构(4)中安装有降温主体(7)，所述降温主体(7)的内部开设有放置槽(6)，所述降温主体(7)的外端面均固定安装有固定安装板(10)，所述固定安装板(10)的外部固定安装有辅助降温装置(8)和主降温装置(9)，且所述辅助降温装置(8)位于降温主体(7)的两侧，所述放置槽(6)的内部固定安装有沉积箱(1)，所述沉积箱(1)的上端内部固定插接有输送板(3)，所述输送板(3)的外端面中部固定插接有输入管(2)，所述沉积箱(1)的上端滑动密封插接有密封板(5)，所述降温主体(7)的内部安装有降温管(12)，所述降温管(12)的两端分别均固定安装有进水管(11)和出水管(13)，所述主降温装置(9)的内部安装有安装立板(15)，所述安装立板(15)的内端面中部均固定安装有降温散热扇(14)。

2.根据权利要求1所述的增强型化学气相沉积反应系统，其特征在于：所述进水管(11)和出水管(13)均与降温管(12)的内部相连通。

3.根据权利要求1所述的增强型化学气相沉积反应系统，其特征在于：所述降温管(12)固定安装在放置槽(6)的外端面。

4.根据权利要求1所述的增强型化学气相沉积反应系统，其特征在于：所述辅助降温装置(8)和主降温装置(9)的结构相同。

5.根据权利要求1所述的增强型化学气相沉积反应系统，其特征在于：所述输送板(3)呈锥形设计，并且输送板(3)的末端插入至沉积箱(1)的内部上端。

6.根据权利要求1所述的增强型化学气相沉积反应系统，其特征在于：所述密封板(5)的前端固定安装有抽拉把手。

技术总结
本实用新型公开了增强型化学气相沉积反应系统，包括降温机构，所述降温机构中安装有降温主体，所述降温主体的内部开设有放置槽，所述降温主体的外端面均固定安装有固定安装板，所述固定安装板的外部固定安装有辅助降温装置和主降温装置，且所述辅助降温装置位于降温主体的两侧，所述放置槽的内部固定安装有沉积箱，所述沉积箱的上端内部固定插接有输送板，所述输送板的外端面中部固定插接有输入管，所述沉积箱的上端滑动密封插接有密封板。本实用新型使用过程中可以确保沉积箱在长时间的工作后内部的温度适中控制在适合发生沉积反应的状态，不会出现温度升至过高现象的出现，确保了镀膜的快速顺利进行。

技术研发人员：浦招前
受保护的技术使用者：苏州派华纳米科技有限公司
技术研发日：2020.08.20
技术公布日：2021.05.25