一种抛光液配置装置的制作方法

1.本发明涉及液体配置领域，具体涉及一种抛光液配置装置。


背景技术：

2.近年来，5g技术的快速发展对半导体晶圆的抛光提出了更高的要求。抛光液特别是金刚石研磨液、氧化铝抛光液在抛光蓝宝石、碳化硅晶圆上应用广泛。这些抛光液存在的一个共性问题：不同包装单元之间磨料固含量差异较大，具体来说，先罐装的包装单元磨料固含量较高，后罐装的磨料固含量低。若抛光液粘度低，磨料又较粗，固含量又高，这样包装单元之间的差异更加的明显，会直接导致晶圆抛光过程中移除速率不稳定，影响晶圆抛光效率及其表面质量。尽管有一些中国专利如：cn205613356u公布了一种氧化铝抛光液配置装置，能够实现氧化铝粉的分散、分级、过滤，但是上述问题仍然存在，因此，从改进抛光液配置过程中的匀化装置入手，来提高晶圆的抛光效果和移除速率能够得到事半功倍的效果。


技术实现要素：

3.本发明提出了一种抛光液配置装置，该装置能够实现不同粘稠度抛光液、不同粗细度抛光液的均匀化配置，实现不同包装单元之间磨料固含量无差异，装置简单，易于实现，效果优于市售一般搅拌装置。
4.实现本发明的技术方案是：
5.一种抛光液配置装置，包括操作平台和设置在操作平台上的搅拌桶，所述搅拌桶内设有一级搅拌杆和二级搅拌杆，一级搅拌杆和二级搅拌杆与电机相连，所述搅拌桶下方设有气体释放装置，气体释放装置与空气压缩机相连。
6.所述的一级搅拌杆材质为不锈钢，表面喷涂聚四氟乙烯，是框式搅拌器和一字型搅拌器的组合，能够搅拌不同粘度、磨料不同粗细的各类抛光液。所述的二级搅拌杆材质为不锈钢，表面喷涂聚四氟乙烯，是螺旋式搅拌器，能够将沉淀在桶底部的磨料快速提升起来，便于均匀混合。
7.所述的搅拌桶材质为不锈钢，内部喷涂聚四氟乙烯。
8.所述电机设置在搅拌桶上方，电机上设有搅拌杆转速控制器。
9.所述搅拌桶上端设有投料口、侧面及底部设有观察窗。
10.所述气体释放装置内部设有空腔，气体释放装置上端设有气孔，气孔与空腔相连通，气体释放装置上还设有气管接口，气管接口通过气管与空气压缩机相连。
11.所述搅拌桶底部均布气体释放装置，该装置上均布气孔的尺寸0.1
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1.0mm。所述的出液阀门为单向阀，只可流出液体，不能流入液体；所述的出液阀门安装在搅拌桶底部管段上。
12.所述搅拌桶下方设有接液软管，接液软管上设有出液阀门。
13.所述气管上设有气压调节阀。
14.本发明的有益效果是：本发明将框式搅拌器、一字型搅拌器、螺旋式搅拌器，气体鼓泡搅拌相组合，框式搅拌器与一字型搅拌器的组合使用能够实现较粘稠液体快速混匀，螺旋式搅拌器能够将底部磨料快速带到搅拌桶的中部，加强轴向交换，实现上下循环。气体鼓泡装置根据需要开启，能够将要下沉或已经沉淀的磨料吹起来，吹气的力度大小通过气压调节阀进行调节。本实用新型能够实现不同粘稠度抛光液、不同粗细磨料抛光液的快速混合均匀，避免罐装出现包装单元之间的固含量差异。
附图说明
15.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本发明的结构示意图。
17.图2和3为气体释放装置的结构示意图。
具体实施方式
18.下面将结合本发明实施例，对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
19.如图1所示，一种抛光液配置装置，包括操作平台1和设置在操作平台1上的搅拌桶2，所述搅拌桶2内设有一级搅拌杆4和二级搅拌杆5，一级搅拌杆4和二级搅拌杆5与电机3相连，电机3安装在搅拌桶2的盖子中心位置，电机3上设有搅拌杆转速控制器14，所述搅拌桶2下方设有气体释放装置13，气体释放装置13与空气压缩机8相连，气压调节阀12位于气管6上，所述搅拌桶2底部气体释放装置13上均布气孔7。根据抛光液中磨料的粗细、抛光液体系粘稠来确定鼓泡气压的大小。
20.本实用新型的工作原理如下：打开搅拌桶2上端设置的投料口15，向搅拌桶2中加入称量好的水，打开电机3，根据粉体粒度及抛光液体系粘稠度调节搅拌杆转速，调整搅拌杆转速控制器15，依次加入抛光液其他成分，搅拌均匀后加入粉体磨料（如：金刚石、氧化铝、碳化硅、碳化硼、氧化铁、氧化铈、氧化锆等）。待搅拌一段时间后，打开空气压缩机8，调节气管6上的气压调节阀12，如图2所示，所述气体释放装置13内部设有空腔16，气体释放装置13上端设有气孔7，气孔7与空腔16相连通，气体释放装置13上还设有气管接口17，气管接口17通过气管6与空气压缩机8相连。气体进入空腔16，之后从气孔7吹出，气体释放装置13表面开始冒出气泡，通过观察窗口11观察鼓泡压力大小及抛光液的搅拌状态。搅拌一段时间后，打开出液阀门9，通过接液软管10进行罐装。
21.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。


技术特征：
1.一种抛光液配置装置，包括操作平台（1）和设置在操作平台（1）上的搅拌桶（2），其特征在于：所述搅拌桶（2）内设有一级搅拌杆（4）和二级搅拌杆（5），一级搅拌杆（4）和二级搅拌杆（5）与电机（3）相连，所述搅拌桶（2）下方设有气体释放装置（13），气体释放装置（13）与空气压缩机（8）相连。2.根据权利要求1所述的抛光液配置装置，其特征在于：所述电机（3）设置在搅拌桶（2）上方，电机（3）上设有搅拌杆转速控制器（14）。3.根据权利要求1所述的抛光液配置装置，其特征在于：所述搅拌桶（2）上端设有投料口（15）、侧面和底部设有观察窗（11）。4.根据权利要求1所述的抛光液配置装置，其特征在于：所述气体释放装置（13）内部设有空腔（16），气体释放装置（13）上端设有气孔（7），气孔（7）与空腔（16）相连通，气体释放装置（13）上还设有气管接口（17），气管接口（17）通过气管（6）与空气压缩机（8）相连。5.根据权利要求1所述的抛光液配置装置，其特征在于：所述搅拌桶（2）下方设有接液软管（10），接液软管（10）上设有出液阀门（9）。6.根据权利要求4所述的抛光液配置装置，其特征在于：所述气管（6）上设有气压调节阀（12）。7.根据权利要求1
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6任一项所述的抛光液配置装置，其特征在于：所述一级搅拌杆（4）为框式搅拌器和一字型搅拌器的组合，表面设有聚四氟乙烯层。8.根据权利要求7所述的抛光液配置装置，其特征在于：所述二级搅拌杆（5）为螺旋式搅拌器，表面设有聚四氟乙烯层。

技术总结
本实用新型提供了一种抛光液配置装置，包括操作平台和设置在操作平台上的搅拌桶，所述搅拌桶内设有一级搅拌杆和二级搅拌杆，一级搅拌杆和二级搅拌杆与电机相连，所述搅拌桶下方设有气体释放装置，气体释放装置与空气压缩机相连。本发明将框式搅拌器、一字型搅拌器、螺旋式搅拌器，气体鼓泡搅拌相组合，框式搅拌器与一字型搅拌器的组合使用能够实现较粘稠液体快速混匀，螺旋式搅拌器能够将底部磨料快速带到搅拌桶的中部，加强轴向交换，实现上下循环。本实用新型能够实现不同粘稠度抛光液、不同粗细磨料抛光液的快速混合均匀，避免罐装出现包装单元之间的固含量差异。装单元之间的固含量差异。装单元之间的固含量差异。


技术研发人员：常磊 付素荣 王松娟 汪静
受保护的技术使用者：河南联合精密材料股份有限公司
技术研发日：2020.12.26
技术公布日：2021/9/17