1.本发明涉及金属掩膜板制备技术领域，尤其涉及一种金属掩膜板制作用涂胶工艺。
背景技术：
2.光掩模版、掩膜版，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位；
3.现有市场上的金属板在制作前，忽略了金属板表面针孔与缺陷处没有被填充，在感光胶涂抹在金属板的表面后，流动的胶体在凝固前流进凹陷处内部，导致后期涂胶出现感光胶表面不平整。
技术实现要素：
4.本发明提出了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，以解决金属板表面针孔与缺陷处没有被填充导致后期涂胶出现感光胶表面不平整问题。
5.本发明提出了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，其特征在于，包括如下步骤：
6.m1、清洗：将待加工的金属掩膜板放置在盛有氢氧化钠溶液的器皿中浸泡，将液面的高度没过水平放置的金属掩膜板的上端面，且金属掩膜板的下端与器皿底部之间用防腐蚀的垫片分离开，浸泡13-20分钟后，利用夹子将金属掩膜板进行翻面，保证两个端面能够完全的与溶液相互接触，浸泡结束后，将金属掩膜板放置在卡匣内侧，再将透水的卡匣放入掩膜板清洗机内进行清洗；
7.m2、填充：由于金属掩膜板外部的存在不易发现的针孔或缺失的区域，在将感光胶涂抹在金属板的表面时，一段时间后，感光胶在硬化的过程中胶体向凹陷处以及针孔的内侧凹陷，从而使得感光胶在完全硬化之后，出现表面不平整，在经过清洗之后的金属掩膜板水平放置在支架上，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面；
8.m3、完成m2步骤之后，对金属的表面进行打磨；
9.m4，在打磨之后，将金属表面的金属粉末利用风机除去后，再将金属掩膜板放置在加热炉中进行预热，温度控制在30-60摄氏度，预热的时间控制在10-15分钟，预热结束后，将实现配置好的感光胶均匀的喷在金属掩膜板的外表面，借助金属掩膜板预热的温度，感光胶在喷射在金属掩膜板的表面后，凝固的时间延长，从而有充足的时间将感光胶与金属掩膜板之间的气泡进行处理。
10.优选的，m3的打磨具体包括如下步骤：
11.l1、粗磨；将抛光膏均匀涂抹在金属掩膜板的外表面，接触抛光机的抛光轮与金属掩膜板的外表面进行接触，实现初步的打磨，反复打磨；
12.l2、细磨：将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作
用，使磨料在工件表面磨削抛光，超声波加工宏观力小，不会引起工件变形。
13.优选的，粗磨中涂抹的抛光膏的粗细度大于细磨中涂抹的抛光膏的粗度度。优选的，被打磨的平面要求光滑，不伤害金属板材的表面，以金属板材的去除
14.量小于4％为标准，且在金属板材的表面打磨时，要求表面的纹理要求相同。优选的，在利用抛光机对金属板的表面进行打磨时，抛光机的抛光轮端面应当与金属板的表面处于平行的状态。
15.优选的，在m2步骤填充中，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面，每间隔30-50秒，利用搅拌片进行搅拌，防止修补剂未完全填补凹陷处就已经凝固。
16.优选的，在m1清洗步骤完成后采用高速离心的方式进行甩干。
17.与现有技术相比，本发明所具有的有益效果为：本发明按照清洗、填充、打磨、涂胶的顺序进行对金属掩膜板进行涂胶前的准备工作，将金属板表面的针孔以及缺陷处进行填充，在进行打磨，保证金属板板面的平整度。
具体实施方式
18.下面结合具体实施例来对本发明做进一步说明。
19.实施例1
20.本发明提出了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，包括如下步骤：
21.m1、清洗：将待加工的金属掩膜板放置在盛有氢氧化钠溶液的器皿中浸泡，将液面的高度没过水平放置的金属掩膜板的上端面，且金属掩膜板的下端与器皿底部之间用防腐蚀的垫片分离开，浸泡13分钟后，利用夹子将金属掩膜板进行翻面，保证两个端面能够完全的与溶液相互接触，浸泡结束后，将金属掩膜板放置在卡匣内侧，再将透水的卡匣放入掩膜板清洗机内进行清洗，清洗完成后采用高速离心的方式进行甩干；
22.m2、填充：，在经过清洗之后的金属掩膜板水平放置在支架上，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面，填充中，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面，每间隔30秒，利用搅拌片进行搅拌，防止修补剂未完全填补凹陷处就已经凝固；
23.m3、完成m2步骤之后，对金属的表面进行打磨，打磨具体包括如下步骤：
24.l1、粗磨；将抛光膏均匀涂抹在金属掩膜板的外表面，接触抛光机的抛光轮与金属掩膜板的外表面进行接触，实现初步的打磨，反复打磨，利用抛光机对金属板的表面进行打磨时，抛光机的抛光轮端面应当与金属板的表面处于平行的状态；
25.l2、细磨：将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光，超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，粗磨中涂抹的抛光膏的粗细度大于细磨中涂抹的抛光膏的粗度度，被打磨的平面要求光滑，不伤害金属板材的表面，以金属板材的去除量小于4％为标准，且在金属板材的表面打磨时，要求表面的纹理要求相同；
26.m4，在打磨之后，将金属表面的金属粉末利用风机除去后，再将金属掩膜板放置在加热炉中进行预热，温度控制在30-60摄氏度，预热的时间控制在10分钟，预热结束后，将实现配置好的感光胶均匀的喷在金属掩膜板的外表面。
27.由于金属掩膜板外部的存在不易发现的针孔或缺失的区域，在将感光胶涂抹在金属板的表面时，一段时间后，感光胶在硬化的过程中胶体向凹陷处以及针孔的内侧凹陷，从
而使得感光胶在完全硬化之后，出现表面不平整，
28.其次，借助金属掩膜板预热的温度，感光胶在喷射在金属掩膜板的表面后，凝固的时间延长，从而有充足的时间将感光胶与金属掩膜板之间的气泡进行处理。
29.实施例2
30.本发明提出了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，包括如下步骤：
31.m1、清洗：将待加工的金属掩膜板放置在盛有氢氧化钠溶液的器皿中浸泡，将液面的高度没过水平放置的金属掩膜板的上端面，且金属掩膜板的下端与器皿底部之间用防腐蚀的垫片分离开，浸泡16分钟后，利用夹子将金属掩膜板进行翻面，保证两个端面能够完全的与溶液相互接触，浸泡结束后，将金属掩膜板放置在卡匣内侧，再将透水的卡匣放入掩膜板清洗机内进行清洗，清洗完成后采用高速离心的方式进行甩干；
32.m2、填充：，在经过清洗之后的金属掩膜板水平放置在支架上，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面，填充中，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面，每间隔40秒，利用搅拌片进行搅拌，防止修补剂未完全填补凹陷处就已经凝固；
33.m3、完成m2步骤之后，对金属的表面进行打磨，打磨具体包括如下步骤：
34.l1、粗磨；将抛光膏均匀涂抹在金属掩膜板的外表面，接触抛光机的抛光轮与金属掩膜板的外表面进行接触，实现初步的打磨，反复打磨，利用抛光机对金属板的表面进行打磨时，抛光机的抛光轮端面应当与金属板的表面处于平行的状态；
35.l2、细磨：将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光，超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，粗磨中涂抹的抛光膏的粗细度大于细磨中涂抹的抛光膏的粗度度，被打磨的平面要求光滑，不伤害金属板材的表面，以金属板材的去除量小于4％为标准，且在金属板材的表面打磨时，要求表面的纹理要求相同；
36.m4，在打磨之后，将金属表面的金属粉末利用风机除去后，再将金属掩膜板放置在加热炉中进行预热，温度控制在40摄氏度，预热的时间控制在12分钟，预热结束后，将实现配置好的感光胶均匀的喷在金属掩膜板的外表面。
37.由于金属掩膜板外部的存在不易发现的针孔或缺失的区域，在将感光胶涂抹在金属板的表面时，一段时间后，感光胶在硬化的过程中胶体向凹陷处以及针孔的内侧凹陷，从而使得感光胶在完全硬化之后，出现表面不平整，
38.其次，借助金属掩膜板预热的温度，感光胶在喷射在金属掩膜板的表面后，凝固的时间延长，从而有充足的时间将感光胶与金属掩膜板之间的气泡进行处理。
39.实施例3
40.本发明提出了一种金属掩膜板制作用涂胶工艺，包括如下步骤：
41.m1、清洗：将待加工的金属掩膜板放置在盛有氢氧化钠溶液的器皿中浸泡，将液面的高度没过水平放置的金属掩膜板的上端面，且金属掩膜板的下端与器皿底部之间用防腐蚀的垫片分离开，浸泡20分钟后，利用夹子将金属掩膜板进行翻面，保证两个端面能够完全的与溶液相互接触，浸泡结束后，将金属掩膜板放置在卡匣内侧，再将透水的卡匣放入掩膜板清洗机内进行清洗，清洗完成后采用高速离心的方式进行甩干；
42.m2、填充：，在经过清洗之后的金属掩膜板水平放置在支架上，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面，填充中，将金属修补剂均匀的涂抹在金属掩膜板的外表面，
每间隔50秒，利用搅拌片进行搅拌，防止修补剂未完全填补凹陷处就已经凝固；
43.m3、完成m2步骤之后，对金属的表面进行打磨，打磨具体包括如下步骤：
44.l1、粗磨；将抛光膏均匀涂抹在金属掩膜板的外表面，接触抛光机的抛光轮与金属掩膜板的外表面进行接触，实现初步的打磨，反复打磨，利用抛光机对金属板的表面进行打磨时，抛光机的抛光轮端面应当与金属板的表面处于平行的状态；
45.l2、细磨：将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光，超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，粗磨中涂抹的抛光膏的粗细度大于细磨中涂抹的抛光膏的粗度度，被打磨的平面要求光滑，不伤害金属板材的表面，以金属板材的去除量小于4％为标准，且在金属板材的表面打磨时，要求表面的纹理要求相同；
46.m4，在打磨之后，将金属表面的金属粉末利用风机除去后，再将金属掩膜板放置在加热炉中进行预热，温度控制在60摄氏度，预热的时间控制在15分钟，预热结束后，将实现配置好的感光胶均匀的喷在金属掩膜板的外表面。
47.由于金属掩膜板外部的存在不易发现的针孔或缺失的区域，在将感光胶涂抹在金属板的表面时，一段时间后，感光胶在硬化的过程中胶体向凹陷处以及针孔的内侧凹陷，从而使得感光胶在完全硬化之后，出现表面不平整，
48.其次，借助金属掩膜板预热的温度，感光胶在喷射在金属掩膜板的表面后，凝固的时间延长，从而有充足的时间将感光胶与金属掩膜板之间的气泡进行处理。
49.以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。