一种半导体膜状扩散源成型加湿装置的制作方法

1.本实用新型属于生产成型设备技术领域，具体是一种半导体膜状扩散源成型加湿装置。


背景技术：

2.半导体材料是微电子和光电子器件的主要材料，特别是大规模集成电路芯片上元件的集成度越来越高，元件的尺寸越来越小，半导体薄膜是构成这类器件的基本材料。半导体膜状扩散源在行业内也俗称纸源。
3.但是这种膜状扩散源的生产较为困难，现有生产中，半导体膜状扩散源在平辊上经过数次的喷涂形成的，在半导体膜状扩散源成型的过程中，既要干燥使得浆液成型，又要保持一定的湿度使得多层喷涂层粘合在一起，所以，急需一种湿度调整装置，来解决现有技术中湿度调整困难的问题。


技术实现要素：

4.鉴于现有技术中存在的不足和缺陷，本实用新型的目的在于提供一种半导体膜状扩散源成型加湿装置。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种半导体膜状扩散源成型加湿装置，其特征在于：包括膜成型机，在所述膜成型机内的成型辊筒内侧设有上下等距分布的湿气喷头，所述湿气喷头串联，所述湿气喷头一端连接进气管路，膜成型机下部通过循环管路连接空气循环泵，所述空气循环泵通过湿度处理腔连接进气管路，在所述湿度处理腔内设有水帘网、超声波加湿器。
6.作为本实用新型的进一步改进，在所述膜成型机内设有湿度表。
7.作为本实用新型的进一步改进，所述水帘网等距设置，并设置在超声波加湿器工序前。
8.与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果为：再本实用新型中，常态，空气循环泵循环膜成型机内的空气，在湿度处理腔内的水帘网进行常态补充；湿度表实时检测膜成型机内的空气湿度，当膜成型机内空气湿度较低时，超声波加湿器开启，进行补充加湿，可有效调节膜成型机内的相对湿度，并可提供相对恒湿的条件，重新返回到膜成型机的气体与箱内气体再次混合形成新的相对湿度，经多次重复使相对湿度不断增加。
附图说明
9.下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的说明：
10.图1位本实用新型一种半导体膜状扩散源成型加湿装置的结构示意图；
11.图中：1膜成型机、2湿度表、3湿气喷头、4循环管路、5空气循环泵、6 湿度处理腔、7水帘网、8超声波加湿器、9进气管路。
具体实施方式
12.为了本实用新型的技术方案和有益效果更加清楚明白，下面结合具体实施例对本实用新型进行进一步的详细说明。
13.参照图1，为本实用新型的结构示意图，包括膜成型机1，在所述膜成型机1内的成型辊筒内侧设有上下等距分布的湿气喷头3，所述湿气喷头3串联，所述湿气喷头3一端连接进气管路9，膜成型机1下部通过循环管路4连接空气循环泵5，所述空气循环泵5通过湿度处理腔6连接进气管路9，在所述湿度处理腔6内设有水帘网7、超声波加湿器8。所述水帘网7等距设置，并设置在超声波加湿器8工序前，在所述膜成型机1内设有湿度表2。
14.平时常态，空气循环泵5循环膜成型机1内的空气，在湿度处理腔6内的水帘网7进行常态补充，等距设置的水帘网7为循环空气与水液提供了较大的接触空间，并有效避免雾化液滴碰壁凝结的发生，
15.湿度表2实时检测膜成型机1内的空气湿度，当膜成型机1内空气湿度较低时，并将信号发送给控制器，控制超声波加湿器8开启，进行补充加湿，可有效调节膜成型机1内的相对湿度，并可提供相对恒湿的条件。
16.启动空空气循环泵5，流动气体由膜成型机1内的湿空气进入空气循环泵5，再由空气循环泵5，进入到湿度处理腔6内的潮湿气体，经湿度处理腔6增加气体中的水分，处理后重新被流动气体经进气管路9送入膜成型机1，重新返回到膜成型机1的气体与箱内气体再次混合形成新的相对湿度，经多次重复使相对湿度不断增加，最后通过观察湿度表2来确定是否断开流动气体。
17.应当理解，此处所描述的具体实施方式仅用于理解本实用新型，并不用于限定本实用新型，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。


技术特征：
1.一种半导体膜状扩散源成型加湿装置，其特征在于：包括膜成型机(1)，在所述膜成型机(1)内的成型辊筒内侧设有上下等距分布的湿气喷头(3)，所述湿气喷头(3)串联，所述湿气喷头(3)一端连接进气管路(9)，膜成型机(1)下部通过循环管路(4)连接空气循环泵(5)，所述空气循环泵(5)通过湿度处理腔(6)连接进气管路(9)，在所述湿度处理腔(6)内设有水帘网(7)、超声波加湿器(8)。2.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源成型加湿装置，其特征在于：在所述膜成型机(1)内设有湿度表(2)。3.根据权利要求1所述的一种半导体膜状扩散源成型加湿装置，其特征在于：所述水帘网(7)等距设置，并设置在超声波加湿器(8)工序前。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体膜状扩散源成型加湿装置，属于生产成型设备技术领域,在所述膜成型机内的成型辊筒内侧设有上下等距分布的湿气喷头，所述湿气喷头串联，所述湿气喷头一端连接进气管路，膜成型机下部通过循环管路连接空气循环泵，所述空气循环泵通过湿度处理腔连接进气管路，常态时，空气循环泵循环膜成型机内的空气，在湿度处理腔内的水帘网进行常态补充；湿度表实时检测膜成型机内的空气湿度，当膜成型机内空气湿度较低时，超声波加湿器开启，进行补充加湿，可有效调节膜成型机内的相对湿度，并可提供相对恒湿的条件，重新返回到膜成型机的气体与箱内气体再次混合形成新的相对湿度，经多次重复使相对湿度不断增加。加。加。


技术研发人员：汪良恩 王锡康 姜兰虎 孙爱华
受保护的技术使用者：山东芯源微电子有限公司
技术研发日：2021.03.09
技术公布日：2021/11/14