一种用于CVD涂层废气快速冷却冷凝阱的制作方法

一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱
技术领域
1.本实用新型涉及cvd加工技术领域，具体为一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱。


背景技术：

2.cvd是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法，尤其是薄膜形成方法，化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行，所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜，可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能，这通过排气管路来实现。目前的cvd涂层废气快速冷却冷凝阱在使用时，用于化学气相沉积的原料发生器反应生成的废气由真空泵直接抽走，反应生成的废气会对真空泵造成严重的腐蚀，反应生成的废气会未经过冷凝容易堵塞管道，对管道造成严重腐蚀，反应生成的废气温度较高，提升整个管道的温度，造成管道中的密封件更加容易老化。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，解决了产生的废气会对管道及真空泵造成损坏的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，包括冷凝阱外壳，所述冷凝阱外壳上设置有废气进入口，所述冷凝阱外壳上设置有废气流出口，所述废气进入口上安装有密封垫，所述废气流出口上设置有散热翅片，所述冷凝阱外壳的内部活动连接有废气阻隔组件。
5.优选的，所述废气阻隔组件包括废气阻隔圆板、串杆、拉手，所述冷凝阱外壳的内壁接触有废气阻隔圆板，所述废气阻隔圆板的内部固定连接有串杆，所述串杆上固定连接有拉手。
6.优选的，所述密封垫为橡胶材质，所述密封垫的外径与废气进入口的外径相同。
7.优选的，所述散热翅片为铝材质。
8.优选的，所述散热翅片的数量为多个，多个所述散热翅片在废气流出口上均匀分布。
9.优选的，所述废气阻隔圆板的数量为多个，多个所述废气阻隔圆板在串杆上均匀分布。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.本实用新型通过经过冷凝阱的废气温度降低，缓解了用于抽走废气的真空泵的温度承受压力，有利于真空泵使用寿命的提高，废气经过冷凝后，温度下降，减少了废气的高温对于整个管道的高温影响，延长的管道及其密封件的寿命，废气中一部分气体经过冷凝沉降在冷凝阱的废气阻隔圆板和冷凝阱外壳内壁，方便维护人员将废气阻隔组件取出清洗。
附图说明
12.图1为本实用新型的整体结构示意图；
13.图2为本实用新型图1的冷凝阱外壳的局部结构立体图；
14.图3为本实用新型图2的废气阻隔组件的结构立体图。
15.图中：1、废气进入口；2、废气流出口；3、冷凝阱外壳；4、废气阻隔圆板；5、串杆；6、拉手；7、废气阻隔组件；8、密封垫；9、散热翅片。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1、图2、图3，一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，包括冷凝阱外壳3，冷凝阱外壳3上设置有废气进入口1，冷凝阱外壳3上设置有废气流出口2，废气进入口1上安装有密封垫8，废气流出口2上设置有散热翅片9，冷凝阱外壳3的内部活动连接有废气阻隔组件7。
18.请参阅图1、图2、图3，废气阻隔组件7包括废气阻隔圆板4、串杆5、拉手6，冷凝阱外壳3的内壁接触有废气阻隔圆板4，废气阻隔圆板4的内部固定连接有串杆5，串杆5上固定连接有拉手6。通过设计废气阻隔组件7，可对废气的流动起到一定的阻隔效果。
19.请参阅图1，密封垫8为橡胶材质，密封垫8的外径与废气进入口1的外径相同。通过设计密封垫8，可对废气进入口1起到密封作用。
20.请参阅图1，散热翅片9为铝材质。通过设计散热翅片9，可提高冷凝阱外壳3的冷却速率。
21.请参阅图1，散热翅片9的数量为多个，多个散热翅片9在废气流出口2上均匀分布。通过设计多个散热翅片9，可进一步提高冷凝阱外壳3的冷却效率。
22.请参阅图1、图2、图3，废气阻隔圆板4的数量为多个，多个废气阻隔圆板4在串杆5上均匀分布。通过设计多个废气阻隔圆板4，可提高废气在冷凝阱外壳3内的流动时间。
23.本实用新型具体实施过程如下：冷凝阱外壳3于外界空气直接接触，通过外壳的表面积向外散热，给通过冷凝阱外壳3内的废气降温，需要冷凝的废气从废气进入口1进入冷凝阱外壳3，由于冷凝阱外壳3内有若干废气阻隔圆板4，各废气阻隔圆板4之间仅有的通道即为每个废气阻隔圆板4的缺口，废气就这样借由各废气阻隔圆板4之间的缺口缓慢的经过冷凝阱外壳3，由此将废气的温度降下，并将废气中的一部分物质冷凝成固体，缓解了用于抽走废气的真空泵的温度承受压力，有利于真空泵使用寿命的提高，废气经过冷凝后，温度下降，减少了废气的高温对于整个管道的高温影响，延长的管道及其密封件的寿命，废气中一部分气体经过冷凝沉降在冷凝阱的废气阻隔圆板4和冷凝阱外壳3内壁。方便维护人员将废气阻隔组件7取出清洗。
24.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，包括冷凝阱外壳(3)，其特征在于：所述冷凝阱外壳(3)上设置有废气进入口(1)，所述冷凝阱外壳(3)上设置有废气流出口(2)，所述废气进入口(1)上安装有密封垫(8)，所述废气流出口(2)上设置有散热翅片(9)，所述冷凝阱外壳(3)的内部活动连接有废气阻隔组件(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，其特征在于：所述废气阻隔组件(7)包括废气阻隔圆板(4)、串杆(5)、拉手(6)，所述冷凝阱外壳(3)的内壁接触有废气阻隔圆板(4)，所述废气阻隔圆板(4)的内部固定连接有串杆(5)，所述串杆(5)上固定连接有拉手(6)。3.根据权利要求1所述的一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，其特征在于：所述密封垫(8)为橡胶材质，所述密封垫(8)的外径与废气进入口(1)的外径相同。4.根据权利要求1所述的一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，其特征在于：所述散热翅片(9)为铝材质。5.根据权利要求1所述的一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，其特征在于：所述散热翅片(9)的数量为多个，多个所述散热翅片(9)在废气流出口(2)上均匀分布。6.根据权利要求2所述的一种用于cvd涂层废气快速冷却冷凝阱，其特征在于：所述废气阻隔圆板(4)的数量为多个，多个所述废气阻隔圆板(4)在串杆(5)上均匀分布。

技术总结
本实用新型公开了一种用于CVD涂层废气快速冷却冷凝阱，包括冷凝阱外壳，所述冷凝阱外壳上设置有废气进入口，所述冷凝阱外壳上设置有废气流出口，所述废气进入口上安装有密封垫，所述废气流出口上设置有散热翅片，所述冷凝阱外壳的内部活动连接有废气阻隔组件。本实用新型通过经过冷凝阱的废气温度降低，缓解了用于抽走废气的真空泵的温度承受压力，有利于真空泵使用寿命的提高，废气经过冷凝后，温度下降，减少了废气的高温对于整个管道的高温影响，延长的管道及其密封件的寿命，废气中一部分气体经过冷凝沉降在冷凝阱的废气阻隔圆板和冷凝阱外壳内壁。方便维护人员将废气阻隔组件取出清洗。件取出清洗。件取出清洗。


技术研发人员：王彤
受保护的技术使用者：常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
技术研发日：2021.11.11
技术公布日：2022/4/21