1.本实用新型涉及掩膜处理技术领域，具体为一种电池片有机膜在线去膜渣系统。
背景技术：
2.掩膜材料在半导体行业中是常见的产品，在电池片加工工艺中，掩膜材料经过处理设备后会从电池片上去除变为膜渣，膜渣会随着设备内的药液一起排出，为了提高利用率和提升经济性，药液和膜渣需要分别回收，药液可以继续送回设备，而掩膜材料的种类比较多，其中有机膜从设备出来是呈絮状的膜渣，要想将其和药液分离，传统的分离方式分离效率低，而且膜渣中还是含有大量药液，造成药液浪费。
技术实现要素：
3.为了解决现有有机膜膜渣与药液分离效率低，效果差，造成药液浪费的问题，本实用新型提供了一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其能够提升有机膜膜渣与药液的分离效率和分离效果，减少药液浪费量，提升经济性。
4.其技术方案是这样的：一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其包括掩膜去除设备，所述掩膜去除设备的出口连接膜渣去除机构，其特征在于，所述膜渣去除机构包括倾斜布置的带振动器的过滤板、设置于所述过滤板倾斜下端处的膜渣收集斗，所述过滤板的倾斜上端朝向所述膜渣去除设备的出口，所述过滤板上设有第一空区且所述第一空区安装第一过滤网，所述膜渣收集斗的侧壁上开设有第二空区且所述第二空区安装有第二过滤网，所述膜渣收集斗的底部出口为膜渣出口，所述第一过滤网和所述第二过滤网下方设置有用于药液回收的药液回流区。
5.其进一步特征在于，所述过滤板的倾斜上端与所述掩膜去除设备的出口之间设置有回水盒，所述回水盒朝向所述掩膜去除设备的出口一端的前壁板上开设有进水口，所述回水盒内安装有网孔板，所述回水盒的出水口开设于所述回水盒另一端的后底板上；
6.所述网孔板包括间隔布置的两块并将所述回水盒分隔成对应所述进水口的进水区、观察区、对应所述出水口的出水区，所述进水区所在的前底板低于所述后底板形成台阶，所述前壁板内壁安装有挡水板，所述挡水板上开设有小于所述进水口的通孔，所述观察区位于两个所述网孔板之间且顶部开设有观察口，位于所述出水口和所述网孔板之间，所述后底板上安装有u形挡水条；
7.靠近所述进水区的所述网孔板上的网孔尺寸大于另一个所述网孔板的网孔尺寸，所述观察口处安装有盖板；
8.所述振动器包括两个且分别安装于所述过滤板倾斜下端两侧；
9.所述过滤板中部两侧安装有挂钩板，所述过滤板通过所述挂钩板活动挂装于支撑杆上，所述过滤板的倾斜上端抵住所述回水盒底部或所述过滤板的倾斜下端支撑于所述膜渣收集斗；
10.位于所述第一空区靠近所述过滤板的倾斜下端的一端，所述过滤板底部安装有药
液导向板；
11.所述膜渣收集斗的前侧壁和后侧壁上均开设有第二空区且并安装有第二过滤网，所述膜渣收集斗的左侧壁和右侧壁上安装有感应片。
12.采用本实用新型后，带有掩膜材料的药液从掩膜去除设备送出到达过滤板上，过滤板振动让药液从第一过滤网穿过落至药液回流区，絮状的膜渣无法穿过过滤网的网孔从而滑落至膜渣收集斗内，在膜渣收集斗内进行第二次分离，药液穿过第二过滤网落至药液回流区，絮状的膜渣从膜渣收集斗侧壁滑落至底部的膜渣出口排出，有效的实现了药液和膜渣的分离，大部分药液得到回收，最终得到只含有少量药液的膜渣，分离效果好，减少了药液浪费量，提升了经济性；进一步的，借助回水盒，可以让从掩膜去除设备送出的溶液得到缓冲，可以有效控制流量和降低冲击力，让药液平稳的落至过滤板上，提升过滤效果。
附图说明
13.图1为本实用新型结构主视图；
14.图2为回水盒结构主视图；
15.图3为回水盒结构俯视图；
16.图4为回水盒结构左视图；
17.图5为过滤板俯视图；
18.图6为膜渣收集斗俯视图。
具体实施方式
19.见图1至图6所示，一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其包括掩膜去除设备1，掩膜去除设备1的出口连接膜渣去除机构2，膜渣去除机构2包括回水盒3、倾斜布置的带振动器9的过滤板4、设置于过滤板4倾斜下端处的膜渣收集斗5，回水盒3的前壁板3-1上的进水口3-2连接掩膜去除设备1的出口，过滤板4的倾斜上端朝向回水盒3的出水口3-3，过滤板4上设有第一空区且第一空区安装第一过滤网6，用于药液和膜渣的第一次分离，膜渣收集斗5的侧壁上开设有第二空区且第二空区安装有第二过滤网7，用于药液和膜渣的第二次分离，膜渣收集斗5的底部出口为膜渣出口8，第一过滤网6和第二过滤网7下方设置有用于药液回收的药液回流区12，药液回流区15的药液可以继续送回掩膜去除设备1。
20.回水盒3内安装有间隔布置的两块网孔板3-4并将回水盒3分隔成对应进水口3-2的进水区3-5、观察区3-6、对应出水口3-3的出水区3-7，回水盒3的出水口3-3开设于回水盒3的后底板3-8上，进水区3-5所在的前底板3-9低于后底板3-8形成台阶，前壁板3-1内壁安装有挡水板3-10，挡水板3-10上开设有小于进水口3-2的通孔3-11，观察区3-6位于两个网孔板3-4之间且顶部开设有观察口3-12，靠近进水区3-5的网孔板上的网孔尺寸大于另一个网孔板的网孔尺寸，观察口3-12处通过螺栓安装有盖板3-13，位于出水口3-3和网孔板3-4之间，后底板3-8上安装有u形挡水条3-14。掩膜去除设备1的出口送出的溶液撞击到前壁板3-1和挡水板3-10上，卸去部分冲击力，通过进水口3-2、通孔3-11进入回水盒3的进水区3-5，由于台阶的存在，同样起到卸力效果，然后经过两个网孔板3-4进入出水区3-7，网孔板3-4可以起到一定的过滤作用和减缓冲击力的作用，溶液撞击到出水盒3的后壁板3-15时还能起到卸力作用，配合u形挡水条3-14，可以让溶液顺利从出水口3-3流出到达过滤板4，出水
盒3的作用是起到卸力和控制流量。
21.振动器9包括两个且分别安装于过滤板4倾斜下端两侧；过滤板4中部两侧安装有挂钩板10，过滤板4通过挂钩板10活动挂装于支撑杆11上，可以实现过滤板4的振动不受影响，由于过滤板只有支撑杆11这一支点，因此为了保证过滤板4的支撑，过滤板4的倾斜上端抵住回水盒3底部或过滤板4的倾斜下端支撑于膜渣收集斗5，一般采用前者。
22.为了让第一过滤网6出来的溶液顺利落至药液回流区15，位于第一空区靠近过滤板4的倾斜下端的一端，过滤板4底部安装有药液导向板13，起到药液导向效果。
23.膜渣收集斗5的前侧壁和后侧壁上均开设有第二空区且并安装有第二过滤网7，膜渣收集斗5的左侧壁和右侧壁上安装有感应片14，当膜渣收集斗5堆积的膜渣发生堵塞达到感应片14所在位置时可以被感应到，能及时了解堵塞情况进行处理。
24.本实用新型主要通过振动加过滤网的方式让溶液过滤掉，留下絮状的膜渣，最后收集起来，有效的实现了两者的分离。
技术特征：
1.一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其包括掩膜去除设备，所述掩膜去除设备的出口连接膜渣去除机构，其特征在于，所述膜渣去除机构包括倾斜布置的带振动器的过滤板、设置于所述过滤板倾斜下端处的膜渣收集斗，所述过滤板的倾斜上端朝向所述膜渣去除设备的出口，所述过滤板上设有第一空区且所述第一空区安装第一过滤网，所述膜渣收集斗的侧壁上开设有第二空区且所述第二空区安装有第二过滤网，所述膜渣收集斗的底部出口为膜渣出口，所述第一过滤网和所述第二过滤网下方设置有用于药液回收的药液回流区。2.根据权利要求1所述的一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其特征在于，所述过滤板的倾斜上端与所述掩膜去除设备的出口之间设置有回水盒，所述回水盒朝向所述掩膜去除设备的出口一端的前壁板上开设有进水口，所述回水盒内安装有网孔板，所述回水盒的出水口开设于所述回水盒另一端的后底板上。3.根据权利要求2所述的一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其特征在于，所述网孔板包括间隔布置的两块并将所述回水盒分隔成对应所述进水口的进水区、观察区、对应所述出水口的出水区，所述进水区所在的前底板低于所述后底板形成台阶，所述前壁板内壁安装有挡水板，所述挡水板上开设有小于所述进水口的通孔，所述观察区位于两个所述网孔板之间且顶部开设有观察口，位于所述出水口和所述网孔板之间，所述后底板上安装有u形挡水条。4.根据权利要求3所述的一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其特征在于，靠近所述进水区的所述网孔板上的网孔尺寸大于另一个所述网孔板的网孔尺寸，所述观察口处安装有盖板。5.根据权利要求1所述的一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其特征在于，所述振动器包括两个且分别安装于所述过滤板倾斜下端两侧。6.根据权利要求2所述的一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其特征在于，所述过滤板中部两侧安装有挂钩板，所述过滤板通过所述挂钩板活动挂装于支撑杆上，所述过滤板的倾斜上端抵住所述回水盒底部或所述过滤板的倾斜下端支撑于所述膜渣收集斗。7.根据权利要求1所述的一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其特征在于，位于所述第一空区靠近所述过滤板的倾斜下端的一端，所述过滤板底部安装有药液导向板。8.根据权利要求1所述的一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其特征在于，所述膜渣收集斗的前侧壁和后侧壁上均开设有第二空区且并安装有第二过滤网，所述膜渣收集斗的左侧壁和右侧壁上安装有感应片。
技术总结
本实用新型涉及掩膜处理技术领域，具体为一种电池片有机膜在线去膜渣系统，其能够提升有机膜膜渣与药液的分离效率和分离效果，减少药液浪费量，提升经济性，其包括掩膜去除设备，掩膜去除设备的出口连接膜渣去除机构，膜渣去除机构包括倾斜布置的带振动器的过滤板、设置于过滤板倾斜下端处的膜渣收集斗，过滤板的倾斜上端朝向膜渣去除设备的出口，过滤板上设有第一空区且第一空区安装第一过滤网，膜渣收集斗的侧壁上开设有第二空区且第二空区安装有第二过滤网，膜渣收集斗的底部出口为膜渣出口，第一过滤网和第二过滤网下方设置有用于药液回收的药液回流区。液回收的药液回流区。液回收的药液回流区。
技术研发人员：程强强
受保护的技术使用者：艾华久禹(无锡)智能科技有限公司
技术研发日：2021.12.30
技术公布日：2022/8/22