超音波换能器装置的制作方法

本发明涉及一种超音波换能器装置，特别涉及一种具有小体积的超音波换能器装置。

背景技术：

1、超音波换能器装置可利用多个电容式微机械超音波换能器(capacitivemicromachined ultrasonic transducer，cmut)来提供超音波讯号。所述多个cmut各需要直流偏压以及交流讯号而被驱动。因此，超音波换能器装置还需要用以传输直流偏压以及交流讯号的多个元件(或电路)。

2、然而，为了确保所述多个cmut的扇出(fan out)能力，上述用以传输直流偏压的多个元件以及用以传输交流讯号的多个元件分别以一对一方式与所述多个cmut相对应。此外，为了便于组装，用以传输直流偏压的多个元件是被设置在第一基板上。用以传输直流偏压交流讯号的多个元件是被设置在第二基板上。所述多个cmut则是被设置在第三基板上。因此，现行包括所述多个cmut的超音波换能器装置比需具有多个连接器(connector)来连接第一基板、第二基板以及第三基板。因此，现行包括所述多个cmut的超音波换能器装置的体积难以被下降。

技术实现思路

1、本发明旨在提供一种具有小体积的超音波换能器装置。

2、基于上述目的，本发明提出一种超音波换能器装置，其包括：包括主动区的基板，以及被设置于该基板的多个换能器单元；其中，每个该换能器单元包括：被设置于该主动区的电容式微机械超音波换能器；被设置于该基板的电阻器，耦接于直流电源接垫与该电容式微机械超音波换能器的第一端之间；以及被设置于该基板的电容器，耦接于交流电源与该电容式微机械超音波换能器的第一端之间。

3、较佳的，该基板还包括周边区以及扇出区，该扇出区相邻于该主动区，该电阻器被设置于该主动区，该直流电源接垫被设置于该扇出区，并且该电容器被设置于该周边区。

4、较佳的，每个该换能器单元还包括：被设置于该扇出区的电连接结构；其中该电容器通过该电连接结构耦接至该电容式微机械超音波换能器的第一端。

5、较佳的，还包括：被设置于该扇出区的参考电源接垫，耦接至该电容式微机械超音波换能器的第二端。

6、较佳的，该基板还包括周边区以及扇出区，该扇出区相邻于该主动区，该电阻器被以及该直流电源接垫设置于该周边区，并且该电容器被设置于该主动区。

7、较佳的，每个该换能器单元还包括：被设置于该扇出区的电连接结构，其中该电阻器通过该电连接结构耦接至该电容式微机械超音波换能器的第一端。

8、较佳的，还包括：被设置于该扇出区的参考电源接垫，耦接至该电容式微机械超音波换能器的第二端。

9、较佳的，该基板还包括扇出区，该扇出区相邻于该主动区，该多个电阻器以及该多个电容器被设置于该主动区，并且该直流电源接垫被设置于该扇出区。

10、较佳的，该多个换能器单元沿一方向排列。

11、较佳的，该多个换能器单元彼此并联耦接。

12、与现有技术相比，本发明的所述多个换能器单元被设置于同一基板，各个换能器单元的cmut、电阻器以及电容器都被设置于同一基板上。因此，本发明的超音波换能器装置并不需要利用连接器来连接多个基板。如此一来，超音波换能器装置具有较小的体积。

技术特征：

1.一种超音波换能器装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的超音波换能器装置，其特征在于：

3.如权利要求2所述的超音波换能器装置，其特征在于，每个该换能器单元还包括：

4.如权利要求2所述的超音波换能器装置，其特征在于，还包括：

5.如权利要求1所述的超音波换能器装置，其特征在于：

6.如权利要求5所述的超音波换能器装置，其特征在于，每个该换能器单元还包括：

7.如权利要求5所述的超音波换能器装置，其特征在于，还包括：

8.如权利要求1所述的超音波换能器装置，其特征在于：

9.如权利要求1所述的超音波换能器装置，其特征在于，该多个换能器单元沿一方向排列。

10.如权利要求1所述的超音波换能器装置，其特征在于，该多个换能器单元彼此并联耦接。

技术总结
本发明提供一种超音波换能器装置。超音波换能器装置包括基板以及多个换能器单元。基板包括主动区。所述多个换能器单元被设置于基板。所述多个换能器单元各包括电容式微机械超音波换能器(capacitive micromachined ultrasonic transducer，CMUT)、电阻器以及电容器。CMUT被设置于主动区。电阻器被设置于基板。电阻器耦接于直流电源接垫与CMUT的第一端之间。电容器被设置于基板。电容器耦接于交流电源与CMUT的第一端之间。

技术研发人员：蒋富升
受保护的技术使用者：苏州佳世达电通有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/16