一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备的制作方法

1.本实用新型涉及废气处理，特别是涉及一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，属于砷化镓加工废气处理技术领域。


背景技术：

2.砷化镓是一种无机化合物，为黑灰色固体，熔点1238℃，它在600℃以下能在空气中稳定存在，并且不被非氧化性的酸侵蚀，砷化镓是一种重要的半导体材料，砷化镓可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料，用来制作集成电路衬底、红外探测器、γ光子探测器等。
3.现有的砷化镓电池在生产加工时，砷化镓晶圆需要进行切割、打磨以及抛光等工艺，此过程中会使得晶圆表面的区域会和水起反应，释放或分解出少许的as，as为剧毒物质，废气排放时会污染大气。


技术实现要素：

4.本实用新型的主要目的是为了提供一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备。
5.本实用新型的目的可以通过采用如下技术方案达到：
6.一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，包括处理箱和砷吸收液池，所述处理箱内部一侧设置有初滤框，所述处理箱内部另一侧设置有加热板，所述初滤框与所述加热板之间设置有所述砷吸收液池和碱性吸收液池，所述处理箱顶部设置有储液箱，所述储液箱底部设置有监测传感器，所述加热板之间设置有缓冲流道。
7.优选的，所述初滤框与所述处理箱内壁密封活动连接，所述初滤框内部卡压有滤网，所述初滤框与所述砷吸收液池之间通过中转管连通。
8.优选的，所述中转管底部焊接有分流盘，所述砷吸收液池与所述碱性吸收液池通过所述中转管连通，所述分流盘分布内嵌在所述砷吸收液池以及所述碱性吸收液池中。
9.优选的，所述储液箱与所述处理箱顶部固定安装，所述储液箱与所述砷吸收液池以及所述碱性吸收液池通过管道连通，所述监测传感器上设置有砷检测传感器、硫化物检测传感器以及ph检测传感器。
10.优选的，所述加热板与所述处理箱内壁焊接，所述加热板贯穿所述处理箱一端配合安装有加热机构，所述缓冲流道成型于所述加热板之间。
11.优选的，所述初滤框顶部通过螺钉固定有电磁振动机构，所述初滤框底部设置有与所述处理箱外壁滑动连接的集尘板，所述处理箱外部一侧底部插接有进气管，所述缓冲流道顶部连通有贯穿所述处理箱顶部的排气管，所述砷吸收液池和所述碱性吸收液池外壁上均插接有排液管。
12.本实用新型的有益技术效果：
13.本实用新型通过设计一个由处理箱、滤网、砷吸收液池、碱性吸收液池以及加热板等组件构成的新型废气吸附装置，可有效的将砷化镓加工过程中废气中的酸性废气、大颗
粒灰尘以及砷等物质有效吸附，避免废气污染大气环境。
附图说明
14.图1为按照本实用新型的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备的一优选实施例的结构示意图；
15.图2为按照本实用新型的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备的一优选实施例的正剖视图；
16.图3为按照本实用新型的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备的一优选实施例中分流盘的俯视图。
17.附图标记说明如下：
18.1-处理箱；2-进气管；3-初滤框；4-滤网；5-中转管；6-砷吸收液池；7-集尘板；8-电磁振动机构；9-分流盘；10-储液箱；11-排液管；12-监测传感器；13-排气管；14-加热板；15-缓冲流道；16-加热机构；17-碱性吸收液池。
具体实施方式
19.为使本领域技术人员更加清楚和明确本实用新型的技术方案，下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
20.如图1-图3所示，本实施例提供的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，包括处理箱1和砷吸收液池6，处理箱1内部一侧设置有初滤框3，处理箱1内部另一侧设置有加热板14，初滤框3与加热板14之间设置有砷吸收液池6和碱性吸收液池17，处理箱1顶部设置有储液箱10，储液箱10底部设置有监测传感器12，加热板14之间设置有缓冲流道15。
21.初滤框3与处理箱1内壁密封活动连接，初滤框3内部卡压有滤网4，初滤框3与砷吸收液池6之间通过中转管5连通，滤网4用于过滤废气中大颗粒灰尘，其中包裹砷化镓加工时磨削的碎屑，砷吸收液池6为二氧化锰吸收剂，二氧化锰对砷在酸性到中性条件下对低浓度的砷的吸附效果较好。
22.中转管5底部焊接有分流盘9，砷吸收液池6与碱性吸收液池17通过中转管5连通，分流盘9分布内嵌在砷吸收液池6以及碱性吸收液池17中，碱性吸收液池17内为氢氧化钠吸收液，可吸收废气中的酸性硫化物、氮化物以及在砷吸收液池6中附带的酸性物质。
23.储液箱10与处理箱1顶部固定安装，储液箱10与砷吸收液池6以及碱性吸收液池17通过管道连通，监测传感器12上设置有砷检测传感器、硫化物检测传感器以及ph检测传感器，监测传感器12通过ph检测传感器检测砷吸收液池6和碱性吸收液池17内的ph值，进而判断吸收液是否还能使用，通过砷检测传感器检测废气中的砷是否吸收达标，硫化物检测传感器检测废气中的硫化是否吸收达标。
24.加热板14与处理箱1内壁焊接，加热板14贯穿处理箱1一端配合安装有加热机构16，缓冲流道15成型于加热板14之间。
25.初滤框3顶部通过螺钉固定有电磁振动机构8，电磁振动机构8通过交流电使得电磁振荡器给滤网4施加激励，可促使吸附的灰尘掉落在集尘板7上收集，初滤框3底部设置有与处理箱1外壁滑动连接的集尘板7，处理箱1外部一侧底部插接有进气管2，缓冲流道15顶部连通有贯穿处理箱1顶部的排气管13，砷吸收液池6和碱性吸收液池17外壁上均插接有排
液管11。
26.如图1-图3所示，本实施例提供的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备的工作过程如下：
27.步骤1：本装置在具体使用的时候，接入外部电源和外部控制装置中，两组储液箱10内分别加入砷吸收液池6和碱性吸收液池17，然后将砷化镓加工过程中的废气从进气管2引入到处理箱1内，废气在初滤框3中滤网4的底部进入，然后被推动上升，废气中的大颗粒灰尘在滤网4中过滤，然后废气从中转管5进入到砷吸收液池6中，砷吸收液池6为二氧化锰吸附剂，废气中的砷在氢氧化铝吸附剂中与二氧化锰发生反应，生成无机盐沉淀在砷吸收液池6底部，处理过后的废气上升进入到另一个中转管5内，并进入到碱性吸收液池17中，该碱性吸收液池17为氢氧化钠，可有效的吸收废气中的硫化物，最后废气进入到加热板14之间的缓冲流道15中，加热板14被加热机构16以电加热的方式加热，使得缓冲流道15内具有叫较高的温度，处理过后的气体湿度较大，对其干燥处理，减少水分，最后从排气管13排出；
28.步骤2：本装置的设计，可有效的将砷化镓加工过程中废气中的酸性废气、大颗粒灰尘以及砷等物质有效吸附，避免废气污染大气环境。
29.以上，仅为本实用新型进一步的实施例，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型所公开的范围内，根据本实用新型的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，其特征在于：包括处理箱(1)和砷吸收液池(6)，所述处理箱(1)内部一侧设置有初滤框(3)，所述处理箱(1)内部另一侧设置有加热板(14)，所述初滤框(3)与所述加热板(14)之间设置有所述砷吸收液池(6)和碱性吸收液池(17)，所述处理箱(1)顶部设置有储液箱(10)，所述储液箱(10)底部设置有监测传感器(12)，所述加热板(14)之间设置有缓冲流道(15)。2.根据权利要求1所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，其特征在于：所述初滤框(3)与所述处理箱(1)内壁密封活动连接，所述初滤框(3)内部卡压有滤网(4)，所述初滤框(3)与所述砷吸收液池(6)之间通过中转管(5)连通。3.根据权利要求2所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，其特征在于：所述中转管(5)底部焊接有分流盘(9)，所述砷吸收液池(6)与所述碱性吸收液池(17)通过所述中转管(5)连通，所述分流盘(9)分布内嵌在所述砷吸收液池(6)以及所述碱性吸收液池(17)中。4.根据权利要求3所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，其特征在于：所述储液箱(10)与所述处理箱(1)顶部固定安装，所述储液箱(10)与所述砷吸收液池(6)以及所述碱性吸收液池(17)通过管道连通，所述监测传感器(12)上设置有砷检测传感器、硫化物检测传感器以及ph检测传感器。5.根据权利要求4所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，其特征在于：所述加热板(14)与所述处理箱(1)内壁焊接，所述加热板(14)贯穿所述处理箱(1)一端配合安装有加热机构(16)，所述缓冲流道(15)成型于所述加热板(14)之间。6.根据权利要求5所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，其特征在于：所述初滤框(3)顶部通过螺钉固定有电磁振动机构(8)，所述初滤框(3)底部设置有与所述处理箱(1)外壁滑动连接的集尘板(7)，所述处理箱(1)外部一侧底部插接有进气管(2)，所述缓冲流道(15)顶部连通有贯穿所述处理箱(1)顶部的排气管(13)，所述砷吸收液池(6)和所述碱性吸收液池(17)外壁上均插接有排液管(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备，属于废气处理技术领域，包括处理箱和砷吸收液池，所述处理箱内部一侧设置有初滤框，所述处理箱内部另一侧设置有加热板，所述初滤框与所述加热板之间设置有所述砷吸收液池和碱性吸收液池，所述处理箱顶部设置有储液箱，所述储液箱底部设置有监测传感器，所述加热板之间设置有缓冲流道；本实用新型通过设计一个由处理箱、滤网、砷吸收液池、碱性吸收液池以及加热板等组件构成的新型废气吸附装置，可有效的将砷化镓加工过程中废气中的酸性废气、大颗粒灰尘以及砷等物质有效吸附，避免废气污染大气环境。免废气污染大气环境。免废气污染大气环境。


技术研发人员：潘兴良 仲蕾 潘政宇 蒋平 胥志伟
受保护的技术使用者：江苏天兴环保股份有限公司
技术研发日：2022.07.08
技术公布日：2022/12/13