技术特征：
1.一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，包括：操作台，真空吸盘，所述真空吸盘有多个，用于吸附待涂胶的籽晶，多个所述真空吸盘成排布置在所述操作台上；加热机构，所述加热机构设置在所述真空吸盘的下方，以使真空吸盘处于恒温状态；喷胶机构，所述喷胶机构安装在操作台上，并可在多个所述真空吸盘的上方往复移动，以将粘胶喷涂在所述籽晶上；刮胶机构，所述刮胶机构包括：刮刀组件、安装杆和动力机构，所述刮刀组件有多个，多个所述刮刀组件安装在所述安装杆上，并与多个所述真空吸盘一一对应；所述安装杆移动地安装在所述操作台上所述真空吸盘的上方，所述安装杆的轴线与多个所述真空吸盘的连线平行；所述动力机构安装在所述操作台上，用于带动所述安装杆在靠近或远离所述真空吸盘的方向往复移动；所述刮刀组件的角度可调整。2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，所述刮刀组件包括：壳体，所述壳体限定出第一容纳腔；刮刀，所述刮刀布置在所述第一容纳腔内；弹性件，所述弹性件布置在所述第一容纳腔内，所述弹性件的两侧分别与所述刮刀、所述第一容纳腔的腔底壁连接。3.根据权利要求2所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，还包括弹性垫，所述弹性垫对称设置在所述第一容纳腔内位于所述刮刀的两侧。4.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，所述安装杆包括：外连杆，所述外连杆与所述动力机构连接，所述外连杆远离所述动力机构的一侧设有凹槽；内连杆，所述内连杆能够转动地安装在所述凹槽内，所述内连杆上设有多个沿所述内连杆轴向分布的安装槽，所述安装槽用于安装刮刀组件；传动机构，所述传动机构布置在所述内连杆和所述外连杆之间，用于驱动内连杆相对于所述外连杆转动，以调节所述刮刀组件的角度。5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，所述传动机构包括：伺服电机，所述伺服电机安装在所述外连杆上；主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述伺服电机的输出端；从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述内连杆上，并与所述主动齿轮啮合。6.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，所述刮胶机构通过第二支撑架安装在所述操作台上，所述第二支撑架包括支撑柱和安装在支撑柱顶端的支撑板，所述支撑柱安装在所述操作台上，所述动力机构安装在所述支撑板上。7.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，所述加热机构包括：外壳，所述外壳限定出第二容纳腔，所述外壳上靠近所述真空吸盘的一侧与所述真空
吸盘紧贴布置；加热器，所述加热器布置在所述第二容纳腔内；保温层，所述保温层环布在所述外壳的外部。8.根据权利要求7所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，所述加热器为电阻加热器。9.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，其特征在于，还包括激光自动测厚仪，所述激光自动测厚仪安装在操作台的末端，正对所述真空吸盘布置。
技术总结
本实用新型公开了一种用于碳化硅籽晶粘接的涂胶刮胶装置，包括操作台、真空吸盘、加热机构、喷胶机构和刮胶机构，真空吸盘有多个，用于吸附待涂胶的籽晶，多个真空吸盘成排布置在操作台上；加热机构设置在真空吸盘的下方；喷胶机构安装在操作台上，并可在多个真空吸盘的上方往复移动；刮胶机构包括安装在操作台上的动力机构、移动地安装在操作台上位于真空吸盘上方的安装杆和多个安装在安装杆上的刮刀组件；刮刀组件的角度可调整。本实用新型可减缓粘胶的凝固速度，方便刮涂，从而保证胶厚度均匀，减少局部胶厚结块的情况发生，提高了合格率和效率；刮刀组件角度可调，适用范围更广泛。适用范围更广泛。适用范围更广泛。
技术研发人员：刘留 陈俊宏
受保护的技术使用者：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
技术研发日：2022.08.31
技术公布日：2023/3/9