半环状外衬件的喷涂工装的制作方法

1.本实用新型涉及一种半导体喷涂机转盘用的辅助工装，具体为一种半环状外衬件的喷涂工装。


背景技术：

2.outer liner(外衬)作为半导体蚀刻工艺的设备零部件，由于其半环形片状结构比较特殊，并且在外衬上还具有槽片，所以外衬的端面不平整，直接放在转盘喷涂机上对其内表面进行喷涂作业时会喷涂到其他面上，影响零件美观性和喷涂的均匀性；
3.所以，需要一种工装将零件端面平整定位，提高喷涂的均匀性，提高喷涂质量。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是克服现有的缺陷，提供一种半环状外衬件的喷涂工装。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
6.本实用新型一种半环状外衬件的喷涂工装，由铝合金材料制成，包括中间支撑、连杆、环状支撑和底座；
7.所述环状支撑设置在中间支撑的正面；
8.所述连杆的数量为至少三个，至少三个所述连杆均布在中间支撑的外表面，任一所述连杆的一端连接于中间支撑的外表面，任一所述连杆的另一端延伸至环状支撑的背面，且所述环状支撑的背面和中间支撑的正面齐平；
9.所述环状支撑的背面设置有多个第一定位件，所述第一定位件的端部向环状支撑的轴线延伸；
10.所述环状支撑的背面设置有一个第二定位件，所述第二定位件的端部向环状支撑的轴线延伸；
11.多个所述第一定位件、至少三个所述连杆与第二定位件错位布置；
12.所述底座设置在中间支撑的背面并能够连接半导体喷涂机上的转盘。
13.进一步地，所述中间支撑的形状为圆形片状结构，所述中间支撑的直径小于环状支撑的内径，所述中间支撑的厚度小于环状支撑的厚度。
14.进一步地，所述中间支撑径向贯穿设置有圆孔。
15.进一步地，所述中间支撑和底座之间均布有多个支柱；
16.所述支柱的一端垂直连接于中间支撑的背面，所述支柱的另一端垂直连接于底座的正面。
17.进一步地，所述支柱的一端设置有螺纹，所述中间支撑上设置有螺纹孔，所述支柱的一端与中间支撑螺纹连接；所述支柱的另一端通过螺栓与底座连接。
18.进一步地，所述中间支撑和连杆为一体结构。
19.有益效果：
20.本申请利用环状支撑与零件外表面贴合，并结合第一定位件将零件一端定位，结
合第二定位件卡住槽片，使得零件的端面和外表面同时定位，从而保证了零件喷涂的均匀性和喷涂质量，提高喷涂效率；
21.使用支柱使得底座和中间支撑之间可拆卸，在局部结构损坏时实现局部更换，降低制造成本；
22.铝合金制件重量轻盈，降低转盘喷涂机的负荷。
附图说明
23.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
24.图1是本实用新型的第一视角的结构图；
25.图2是本实用新型的第二视角的结构图；
26.图3是本实用新型的第三视角的结构图；
27.图4是本实用新型的第四视角的结构图。
28.图中：1-中间支撑，2-连杆，3-环状支撑，301-第一定位件，302-第二定位件，4-支柱，5-底座。
具体实施方式
29.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
30.如图1-4所示，本申请提出一种半环状外衬件的喷涂工装，由铝合金材料制成，铝合金制件重量轻盈，降低转盘喷涂机的负荷；包括中间支撑1、连杆2、环状支撑3和底座5；所述环状支撑3设置在中间支撑1的正面；中间支撑1和环状支撑3之间留有空隙方便散热；所述连杆2的数量为至少三个，至少三个所述连杆2均布在中间支撑1的外表面，任一所述连杆2的一端连接于中间支撑1的外表面，任一所述连杆2的另一端延伸至环状支撑3的背面，且所述环状支撑3的背面和中间支撑1的正面齐平；连杆2不仅起到稳定连接作用，还起到辅助定位作用，当零件贴合于环状支撑3的内表面时，零件的端面也会接触连杆2；所述环状支撑3的背面设置有多个第一定位件301，所述第一定位件301的端部向环状支撑3的轴线延伸；第一定位件301用于匹配零件的端面，但应当注意的是，第一定位件301向环状支撑3中心延伸的长度应当不小于零件的厚度，从而保证第一定位件301完全支撑零件；所述环状支撑3的背面设置有一个第二定位件302，所述第二定位件302的端部向环状支撑3的轴线延伸；第二定位件302用于匹配零件上的槽片，在放置零件时，槽片的槽口对准第二定位件302，使得第二定位件302进入槽口内直至其贴合槽片的内表面，这样就实现了槽片、零件端面和零件外表面三个面的定位，大大提高了零件的定位效果；多个所述第一定位件301、至少三个所述连杆2与第二定位件302错位布置；错位布置在满足定位功能的同时避免位置干涉；所述底座5设置在中间支撑1的背面并能够连接半导体喷涂机上的转盘。
31.具体地，所述中间支撑1的形状为圆形片状结构，所述中间支撑1的直径小于环状支撑3的内径，所述中间支撑1的厚度小于环状支撑3的厚度。
32.具体地，所述中间支撑1径向贯穿设置有圆孔；圆孔的设计进一步降低了中间支撑1的重量，提高了整个工装的散热性，还方便涂料流出工装。
33.具体地，所述中间支撑1和底座5之间均布有多个支柱4；所述支柱4的一端垂直连接于中间支撑1的背面，所述支柱4的另一端垂直连接于底座5的正面；支柱4连接底座5和中间支撑1提高了中间支撑1的平面度，进一步提高定位效果。
34.在本实施例中，所述支柱4的一端设置有螺纹，所述中间支撑1上设置有螺纹孔，所述支柱4的一端与中间支撑1螺纹连接；所述支柱4的另一端通过螺栓与底座5连接；可拆卸连接实现局部拆卸，达到局部更换的目的。
35.在本实施例中，所述中间支撑1和连杆2为一体结构；一体结构方便模具一体成型，减少制作工艺。
36.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种半环状外衬件的喷涂工装，其特征在于：由铝合金材料制成，包括中间支撑(1)、连杆(2)、环状支撑(3)和底座(5)；所述环状支撑(3)设置在中间支撑(1)的正面；所述连杆(2)的数量为至少三个，至少三个所述连杆(2)均布在中间支撑(1)的外表面，任一所述连杆(2)的一端连接于中间支撑(1)的外表面，任一所述连杆(2)的另一端延伸至环状支撑(3)的背面，且所述环状支撑(3)的背面和中间支撑(1)的正面齐平；所述环状支撑(3)的背面设置有多个第一定位件(301)，所述第一定位件(301)的端部向环状支撑(3)的轴线延伸；所述环状支撑(3)的背面设置有一个第二定位件(302)，所述第二定位件(302)的端部向环状支撑(3)的轴线延伸；多个所述第一定位件(301)、至少三个所述连杆(2)与第二定位件(302)错位布置；所述底座(5)设置在中间支撑(1)的背面并能够连接半导体喷涂机上的转盘。2.根据权利要求1所述的半环状外衬件的喷涂工装，其特征在于：所述中间支撑(1)的形状为圆形片状结构，所述中间支撑(1)的直径小于环状支撑(3)的内径，所述中间支撑(1)的厚度小于环状支撑(3)的厚度。3.根据权利要求2所述的半环状外衬件的喷涂工装，其特征在于：所述中间支撑(1)径向贯穿设置有圆孔。4.根据权利要求3所述的半环状外衬件的喷涂工装，其特征在于：所述中间支撑(1)和底座(5)之间均布有多个支柱(4)；所述支柱(4)的一端垂直连接于中间支撑(1)的背面，所述支柱(4)的另一端垂直连接于底座(5)的正面。5.根据权利要求4所述的半环状外衬件的喷涂工装，其特征在于：所述支柱(4)的一端设置有螺纹，所述中间支撑(1)上设置有螺纹孔，所述支柱(4)的一端与中间支撑(1)螺纹连接；所述支柱(4)的另一端通过螺栓与底座(5)连接。6.根据权利要求1-5中任一项所述的半环状外衬件的喷涂工装，其特征在于：所述中间支撑(1)和连杆(2)为一体结构。

技术总结
本实用新型属于半导体零件加工技术领域，提供了一种半环状外衬件的喷涂工装，包括中间支撑、连杆、环状支撑和底座；所述环状支撑设置在中间支撑的正面；所述连杆的数量为至少三个，至少三个所述连杆均布在中间支撑的外表面，任一所述连杆的一端连接于中间支撑的外表面，任一所述连杆的另一端延伸至环状支撑的背面，且所述环状支撑的背面和中间支撑的正面齐平；所述环状支撑的背面设置有多个第一定位件，所述第一定位件的端部向环状支撑的轴线延伸；所述环状支撑的背面设置有一个第二定位件，所述第二定位件的端部向环状支撑的轴线延伸。本申请使得零件的端面和外表面同时定位，从而保证了零件喷涂的均匀性和喷涂质量，提高喷涂效率。喷涂效率。喷涂效率。


技术研发人员：薛弘宇 刘兴明 周建国
受保护的技术使用者：江苏凯威特斯半导体科技有限公司
技术研发日：2022.09.01
技术公布日：2023/2/27