含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统的制作方法

本申请涉及一种用于处理含挥发性有机化合物废气的净化系统，特别涉及一种包括净化处理设备及焚化处理设备的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统。

背景技术：

1、随着半导体及光电技术的蓬勃发展，也带动了国家的科技产业在近年快速的成长；相对地，在另一方面，却也衍生了许多与环保息息相关的问题，特别是在半导体组件或光电组件的制程多半需要利用化学反应完成，在生产过程中会排放大量含有挥发性有机物(vocs,volatileorganiccompounds)，而这些vocs绝大部份属于有害性的空气污染物(hazardousairpollutants；haps)，人体长期暴露于含高浓度vocs的环境中会有产生中毒及致癌性肿瘤等反应。再者，存在在大气中的vocs会产生光化学反应，导致大气中臭氧浓度升高及产生高氧化性污染物。因此，这些含有挥发性有机物的废气排放前必须先加以处理，不可直接排放到大气中，避免造成环境危害。

2、由于半导体制造业和光电业的废气排放量大，且vocs的浓度属中低范围，设计焚化炉进行高温焚化处理，可有效处理其废气排放。

3、然而，前述系统虽可达处理vocs的功能，惟其以操作温度700℃以上的高温，焚化处理高风量低浓度的废气时，需要消耗大量的能源(燃料)，因此造成废气处理上大量能源的浪费。若结合两种处理设施，例如使用沸石净化处理设备搭配焚化炉，使废气以单净化处理设备吸附浓缩之后，再以燃烧焚化等方法进行后处理，用以节省废气焚化过程中的燃料费用，但无法达到98％以上的高削减率需求。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明人为改善并解决上述的缺失，乃特潜心研究并配合学理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺失的本实用新型。本实用新型的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统能够降低系统烟量负载及系统中的焚化处理单元处理烟量以达到节能的功效，降低整体操作成本。

2、意即，本申请的目的在于提供一种含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，用以处理含挥发性有机化合物的制程废气，包括：至少一净化处理单元、以及焚化处理单元。所述净化处理单元包含有第一净化处理设备以及设置所述第一净化处理设备下游端的第二净化处理设备；所述第一净化处理设备为具备整体可被区分为一第一吸附区、一第一冷却区、及一第一脱附区的旋转式轮状构造；所述第一吸附区是供导入所述制程废气，用以吸附所述制程废气中的至少一部分挥发性有机化合物并送出一第一过滤气体；所述第一冷却区是供导入一第一冷却气体，用以使进行脱附后导致升温的所述第一净化处理设备降温；所述第一脱附区是供导入一第一脱附气体，用以脱附所述第一净化处理设备所吸附的挥发性有机化合物并送出一第一voc浓缩气体；所述第二净化处理设备为整体可被区分为一第二吸附区、一第二冷却区、及一第二脱附区的旋转式轮状构造；所述第二吸附区是供导入所述第一过滤气体，用以吸附第一过滤气体中的至少一部分挥发性有机化合物并送出一第二过滤气体；所述第二冷却区是供导入一第二冷却气体，用以使进行脱附后导致升温的所述第二净化处理设备降温；所述第二脱附区是供导入一第二脱附气体，用以脱附所述第二净化处理设备所吸附的挥发性有机化合物并送出一第二voc浓缩气体；所述焚化处理单元是至少具有一焚化设备，所述焚化处理单元设置成可连通于所述第一脱附区，用以将第一voc浓缩气体中的挥发性有机化合物焚烧处理而生成一焚化后气体并排出。

3、根据本实用新型的一实施例，所述含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统还包括一第三加热器以及一第二加热器，所述第三加热器及所述第二加热器皆与所述第一净化处理设备及所述第二净化处理设备气体连通。

4、根据本实用新型的一实施例，从所述第二冷却区排出的所述第二冷却气体被导入所述第二加热器中进行加热后输出为所述第二脱附气体。

5、根据本实用新型的一实施例，从所述第一冷却区排出的所述第一冷却气体被导入所述第二加热器中进行加热后输出为所述第二脱附气体。

6、根据本实用新型的一实施例，所述第二voc浓缩气体被导入所述第三加热器中进行加热后输出为所述第一脱附气体。

7、根据本实用新型的一实施例，所述含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统还包括一第一加热器，所述第一voc浓缩气体在导入所述焚化设备之前先被导入所述第一加热器进行加热。

8、根据本实用新型的一实施例，所述第三加热器、所述第二加热器、以及所述第一加热器分别为热交换器，且所述焚化后气体依序流经所述第一加热器、所述第二加热器、及所述第三加热器以作为进行热交换所使用的热源。

技术特征：

1.一种含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，进一步包括一第三加热器以及一第二加热器，所述第三加热器及所述第二加热器皆与所述第一净化处理设备及所述第二净化处理设备气体连通。

3.根据权利要求2所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，从所述第二冷却区排出的所述第二冷却气体被导入所述第二加热器中进行加热后输出为所述第二脱附气体。

4.根据权利要求2所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，从所述一冷却区排出的所述第一冷却气体被导入所述第二加热器中进行加热后输出为所述第二脱附气体。

5.根据权利要求3或4所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，所述第二voc浓缩气体被导入所述第三加热器中进行加热后输出为所述第一脱附气体。

6.根据权利要求5所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，进一步包括一第一加热器，所述第一voc浓缩气体在导入所述焚化设备之前先被导入所述第一加热器进行加热。

7.根据权利要求6所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，所述第三加热器、所述第二加热器、以及所述第一加热器分别为热交换器，且所述焚化后气体依次流经所述第一加热器、所述第二加热器、及所述第三加热器以作为进行热交换所使用的热源。

8.根据权利要求1所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，所述焚化设备包括直燃式焚化炉、触媒焚化炉、蓄热式焚化炉、或蓄热式触媒焚化炉。

9.根据权利要求1所述的含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其特征在于，所述第一净化处理设备的进料端进一步设有一过滤单元，所述制程废气在进入所述第一净化处理设备之前会先通过所述过滤单元，借以去除掉粒径较大的粉尘颗粒。

技术总结
本技术提供了一种含挥发性有机化合物制程废气的净化处理系统，其包括至少一净化处理单元、及焚化处理单元；所述净化处理单元包含有第一净化处理设备及设置于所述第一净化处理设备下游端的第二净化处理设备；所述各个净化处理设备圆轮状表面分别被区分为吸附区、冷却区及脱附区，用以处理吸附制程废气中的挥发性有机化合物，随后可再利用脱附气体将净化处理设备中的挥发性有机化合物脱附，并输送至所述焚化处理单元中焚烧处理，借此能够移除制程废气中98％以上的挥发性有机化合物。

技术研发人员：庄锦烽
受保护的技术使用者：庄锦烽
技术研发日：20221102
技术公布日：2024/1/12