一种外延片镀膜装置的制作方法

本技术涉及镀膜装置，尤其涉及一种外延片镀膜装置。

背景技术：

1、目前市面上现有的外延片镀膜设备，在喷射镀膜过程中，固定喷枪喷蛇镀膜稳定性较差，喷射镀膜不均匀，加工效率差。

2、现有技术cn215964334u提供了半导体生产用镀膜设备，包括箱体和镀膜喷射机构，镀膜喷射机构设置在箱体内，镀膜喷射机构包括五号固定板、六号固定板、三号电机、三号连接杆、固定架和喷射头，五号固定板下端连接有六号固定板，六号固定板上表面连接有三号电机，三号连接杆设置于五号固定板一侧，三号连接杆下端连接有固定架，固定架内部接有喷射头，该装置通过五号固定板和六号固定板对三号电机提供安装条件，打开三号电机，带动三号连接杆和固定架转动，从而带动喷射头转动，实现对半导体片进行均匀喷洒镀膜。

3、但上述技术外延片镀膜后通过自然冷却的方式进行冷却，自然冷却消耗时间长，将大大提高镀膜消耗时间，降低镀膜的效率。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种外延片镀膜装置，旨在解决现有镀膜装置镀膜后自然冷却，消耗时间长，降低镀膜效率的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了一种外延片镀膜装置，包括箱体、镀膜机构和冷却组件，所述镀膜机构设置于所述箱体内，所述冷却组件包括风机、冷风管、出风板和干燥板；所述出风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述冷风管与所述出风板连通，并贯穿所述箱体，所述风机与所述冷风管固定连接，且位于远离所述出风板一侧，所述干燥板与所述冷风管滑动连接，并贯穿所述冷风管。

3、其中，所述冷风管包括导管和制冷片，所述导管分别与所述出风板和所述风机连通，且位于所述出风板和所述风机之间，所述制冷片与所述导管固定连接，并贯穿所述导管。

4、其中，所述出风板包括导风板和出气嘴，所述导风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述出气嘴与所述导风板连通，且位于靠近所述镀膜机构一侧。

5、其中，所述冷却组件还包括防尘网和连接架，所述连接架设置于所述风机一侧，所述防尘网与所述连接架拆卸连接，且位于远离所述风机一侧。

6、其中，所述连接架还包括安装架和转动夹，所述安装架与所述风机固定连接，且位于所述风机一侧，所述转动夹与所述安装架转动连接，且位于远离所述风机一侧。

7、本实用新型的一种外延片镀膜装置，所述箱体对所述镀膜机构和所述冷却组件提供安装条件，所述镀膜机构用于对所述箱体内的外延片镀膜，所述冷却组件对镀膜后的外延片吹风，提高镀膜效率，具体的，通过所述风机往所述冷风管内吹风，所述冷风管将风制冷后吹入所述出风板，所述出风板再将冷风吹出作用于所述箱体内镀膜的外延片，使得外延片快速冷却，提高了外延片镀膜的效率，所述干燥板的设置，用于干燥所述冷风管内的风，防止吹入潮湿的冷风引起镀膜后的外延片气泡，影响镀膜效果，解决现有镀膜装置镀膜后自然冷却，消耗时间长，降低镀膜效率的问题。

技术特征：

1.一种外延片镀膜装置，包括箱体和镀膜机构，所述镀膜机构设置于所述箱体内，其特征在于，

2.如权利要求1所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

3.如权利要求2所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

5.如权利要求4所述的一种外延片镀膜装置，其特征在于，

技术总结
本技术涉及镀膜装置技术领域，具体涉及一种外延片镀膜装置，包括箱体、镀膜机构和冷却组件，冷却组件包括风机、冷风管、出风板和干燥板，箱体对镀膜机构和冷却组件提供安装条件，镀膜机构用于对箱体内的外延片镀膜，冷却组件对镀膜后的外延片吹风，提高镀膜效率，具体的，通过风机往冷风管内吹风，冷风管将风制冷后吹入出风板，出风板再将冷风吹出作用于箱体内镀膜的外延片，使得外延片快速冷却，提高了外延片镀膜的效率，干燥板的设置，用于干燥冷风管内的风，防止吹入潮湿的冷风引起镀膜后的外延片气泡，影响镀膜效果，解决现有镀膜装置镀膜后自然冷却，消耗时间长，降低镀膜效率的问题。

技术研发人员：黄祥恩,谈勇,蒋华,许昆
受保护的技术使用者：桂林光隆科技集团股份有限公司
技术研发日：20221102
技术公布日：2024/1/11