气液分离装置及化学抛光装置的制作方法

本技术涉及气水分离，特别是涉及一种气液分离结构及化学抛光装置。

背景技术：

1、化学抛光装置在抛光晶圆的过程中，需要在晶圆被抛光的一侧表面上涂覆抛光液，且抛光需要在气体氛围下进行，在完成抛光后，需要收集抛光液。

2、一般是在化学抛光装置的下方设有气水分离器，将抛光液和气体分离后再收集抛光液，相关技术提供了一种三通管结构的气水分离器，三通管结构分别为连接化学抛光装置的连接管，排气管和出液管，且排气管和出液管均为直管道，存在抛光液容易形成液体薄膜而封堵排气管道的问题，并且在抛光液流量较大时还会出现反流或者流向排气管的问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种能够容纳流量较大的抛光液的气液分离装置及化学抛光装置，以避免抛光液反流和流向排气管道内。

2、根据本申请的一个方面，提供一种气液分离装置，用于分离化学抛光装置的容纳腔内的待分离气液，其特征在于，包括：

3、输入管道，所述输入管道的输入口连通所述容纳腔；

4、排气管道，所述排气管道的输入口连通所述输入管道的输出口；及

5、缓冲管道，所述缓冲管道的输入口连通所述输入管道的输出口；

6、其中，所述缓冲管道靠近所述输入管道的一侧设有第一拐角，所述缓冲管道远离所述输入管道的一侧设有第二拐角；在第一方向上，所述第一拐角位于所述第二拐角的下游；

7、所述第一方向为重力方向。

8、上述气液分离装置，通过设置缓冲管道，且缓冲管道的输入口连通输入管的输出口，缓冲管道能够为待分离气液中的液体提供一个较大的缓冲空间，以避免在液体流量较大时，液体出现反流而倒流进输入管道，同时也能够避免液体流向排气管道内，防止液体封堵排气管道。

9、在其中一个实施例中，所述缓冲管道包括沿所述第一方向依次相连的缓冲段和排液段；

10、所述缓冲段和所述排液段的连接处形成所述第一拐角和所述第二拐角；

11、其中，所述缓冲段的最小管径大于所述排液段的最大管径。

12、在其中一个实施例中，所述缓冲段沿第二方向延伸设置，所述排液段沿所述第一方向延伸设置；

13、所述第二方向和所述第一方向呈角度设置。

14、在其中一个实施例中，所述气液分离装置还包括导向件，所述导向件沿与所述第一方向呈角度设置的方向延伸设置；

15、所述导向件设于所述缓冲管道的输入口处，用于引导所述待分离气液中的液体流向所述缓冲管道内。

16、在其中一个实施例中，所述导向件被配置为导向板；

17、所述导向件的一端连接所述输入管道的内壁，所述导向件的侧面抵接于所述缓冲管道的内壁，以使所述导向件与所述缓冲管道设有所述第一拐角的一侧内壁共同形成导向通道，从而引导所述待分离气液中的液体沿所述导向通道流向所述缓冲管道内。

18、在其中一个实施例中，所述导向件被配置为导向管；

19、所述导向件套接于所述缓冲管道且与所述缓冲管道设有所述第一拐角的一侧的内壁相抵接；

20、所述导向管的输入口连通所述输入管道的输出口，所述导向管的输出口连通所述缓冲管道的输出口。

21、在其中一个实施例中，所述导向件的延伸方向，与所述缓冲段的延伸方向彼此平行。

22、在其中一个实施例中，所述输入管道包括第一子输入管道和第二子输入管道；所述第一子输入管道沿所述第一方向延伸设置，所述第二子输入管道沿与所述第一方向垂直的第三方向延伸设置；

23、所述第一子输入管道的输入口连通所述容纳腔，所述第一子输入管道的输出口连通所述第二子输入管道的输入口；

24、所述第二子输入管道的输出口连通所述排气管道的输入口和所述缓冲管道的输入口。

25、在其中一个实施例中，所述气液分离装置还包括连接管；

26、所述连接管设有第一接口、第二接口和第三接口；所述第一接口连通所述输入管道的输出口，所述第二接口连通所述排气管道的输入口，所述第三接口连通所述缓冲管道的输入口。

27、根据本申请的另一个方面，提供一种化学抛光装置，包括机台和上述任一项所述的气液分离装置；

28、所述机台具有容纳腔，所述容纳腔用于收容待分离气液，所述气液分离装置的所述输入管道的输入口连通所述容纳腔。

技术特征：

1.一种气液分离装置，用于分离化学抛光装置的容纳腔内的待分离气液，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的气液分离装置，其特征在于，所述缓冲管道包括沿所述第一方向依次相连的缓冲段和排液段；

3.根据权利要求2所述的气液分离装置，其特征在于，所述缓冲段沿第二方向延伸设置，所述排液段沿所述第一方向延伸设置；

4.根据权利要求2或3所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液分离装置还包括导向件，所述导向件沿与所述第一方向呈角度设置的方向延伸设置；

5.根据权利要求4所述的气液分离装置，其特征在于，所述导向件被配置为导向板；

6.根据权利要求4所述的气液分离装置，其特征在于，所述导向件被配置为导向管；

7.根据权利要求4所述的气液分离装置，其特征在于，所述导向件的延伸方向，与所述缓冲段的延伸方向彼此平行。

8.根据权利要求1-3任一项所述的气液分离装置，其特征在于，所述输入管道包括第一子输入管道和第二子输入管道；所述第一子输入管道沿所述第一方向延伸设置，所述第二子输入管道沿与所述第一方向垂直的第三方向延伸设置；

9.根据权利要求1-3任一项所述的气液分离装置，其特征在于，所述气液分离装置还包括连接管；

10.一种化学抛光装置，其中特征在于，包括机台和如权利要求1-9任一项所述的气液分离装置；

技术总结
本技术涉及一种气液分离装置及化学抛光装置，气液分离装置包括：输入管道，输入管道的输入口连通容纳腔；排气管道，排气管道的输入口连通输入管道的输出口；及缓冲管道，缓冲管道的输入口连通输入管道的输出口；其中，缓冲管道靠近输入管道的一侧设有第一拐角，缓冲管道远离输入管道的一侧设有第二拐角；在第一方向上，第一拐角位于第二拐角的下游；第一方向为重力方向。上述气液分离装置，通过设置缓冲管道，且缓冲管道的输入口连通输入管的输出口，缓冲管道能够为待分离气液中的液体提供一个较大的缓冲空间，以避免在液体流量较大时，液体出现反流而倒流进输入管道，同时也能够避免液体流向排气管道内，防止液体封堵排气管道。

技术研发人员：杨俊男,闫晓晖
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：20221129
技术公布日：2024/1/12