树脂的制造方法、超纯水制造方法以及超纯水制造装置与流程

本申请基于2021年9月8日申请的作为日本申请的特愿2021-146298，并主张基于该申请的优先权。该申请的全部内容通过参照而援引于本申请。本发明涉及树脂的制造方法、使用由此制造的树脂的超纯水制造方法以及超纯水制造装置。

背景技术：

1、为了去除被处理水中所含的有机物，已知对被处理水照射紫外线。通过对被处理水照射紫外线，水被分解，产生羟基自由基(oh-)，通过羟基自由基与有机物反应，有机物被分解。当羟基自由基不与有机物反应而是羟基自由基彼此反应时，生成过氧化氢。若将包含过氧化氢的超纯水供给至使用点(例如，晶片等电子元件的清洗装置等)，则有可能产生对晶片的损伤等，因此优选极力去除剩余的过氧化氢。作为用于此的方法，已知有使被处理水与担载有钯等催化剂金属的阴离子交换树脂(以下称为催化剂金属担载树脂)接触的方法(日本特开昭60-71085号公报)。根据该方法，通过催化剂金属的催化剂作用促进过氧化氢的分解反应(2h2o2→2h2o+o2)，能够高效地去除过氧化氢。

技术实现思路

1、在超纯水制造装置等水处理装置中，也使用不担载催化剂金属的阴离子交换树脂(以下称为催化剂金属非担载树脂)。以往，催化剂金属担载树脂和催化剂金属非担载树脂是不同的产品，因此分别进行精制。因此，在需要催化剂金属担载树脂和催化剂金属非担载树脂这两者的情况下，难以削减成本、缩短制造所需的时间。

2、本发明的目的在于提供能够使精制工序高效化的新的树脂制造方法、以及使用由此制造的树脂的超纯水制造方法。

3、本发明的树脂的制造方法包括：将担载有催化剂金属的第一阴离子交换树脂和未担载催化剂金属的第二阴离子交换树脂填充到同一容器中；以及将填充到上述容器中的第一阴离子交换树脂和第二阴离子交换树脂一起精制。

4、本发明的超纯水制造方法包括：使包含过氧化氢或溶解氧的被处理水与通过上述树脂的制造方法制造的树脂接触，从而降低过氧化氢或溶解氧的量。

5、在本发明中，将填充到容器中的第一阴离子交换树脂和第二阴离子交换树脂一起精制。因此，根据本发明，可以提供能够使精制工序高效化的新的树脂制造方法、以及使用由此制造的树脂的超纯水制造方法。

6、上述以及其他的本申请的目的、特征以及优点通过参照例示了本申请的附图的以下描述的详细的说明而明确。

技术特征：

1.一种树脂的制造方法，包括：

2.根据权利要求1所述的树脂的制造方法，其中，

3.根据权利要求1或2所述的树脂的制造方法，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的树脂的制造方法，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的树脂的制造方法，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的树脂的制造方法，其中，

7.一种超纯水制造方法，包括：

8.一种超纯水制造装置，该超纯水制造装置具有填充有离子交换树脂的离子交换装置，所述离子交换树脂至少包含通过权利要求1～6中任一项所述的树脂的制造方法制造的树脂。

技术总结
本发明提供一种能够使精制工序高效化的新的催化剂金属担载树脂制造方法、以及使用由此制造的催化剂金属担载树脂的超纯水制造方法。树脂X的制造方法包括：将担载有催化剂金属的第一阴离子交换树脂A1和未担载催化剂金属的第二阴离子交换树脂A2填充到同一容器中；以及将填充到上述容器中的第一阴离子交换树脂A1和第二阴离子交换树脂A2一起精制。超纯水制造方法包括：使包含过氧化氢或溶解氧的被处理水与这样制造的至少包含树脂X的离子交换树脂接触，从而降低过氧化氢或溶解氧的量。

技术研发人员：近藤司,市原史贵,菅原广
受保护的技术使用者：奥加诺株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/4/24