一种集灰氧化除尘系统的制作方法

本发明涉及半导体制备，特别是涉及一种单晶硅、多晶硅、重掺硅单晶等工业生产中工艺粉尘处理的集灰氧化除尘系统。

背景技术：

1、单/多晶炉拉晶过程产生大量遇空气可自燃的sio粉尘，简谐式真空除尘器将这些sio粉尘过滤后储存在灰仓中，灰仓中的粉尘达到一定的量后需进行泄灰作业。目前，除尘器卸灰，一般采用灰仓振打，清灰口星型卸灰阀卸灰。对于小型除尘器，由于结构尺寸较小，一般采用人工掏、铲、扫等原始方式达到卸灰的目的。

2、鉴于sio粉尘遇空气可自燃甚至爆炸的特性，人工清灰前必须对灰仓内粉尘进行缓慢氧化。除尘器在一个工作周期后，开始灰仓清灰作业。清灰前需经过90-120分钟缓慢氧化，人工手动清除时，需穿戴好防护服、护目镜、口罩。使用刮板和扫把，把灰尘收集到袋子中，操作的过程中会产生扬尘，使车间环境造成二次污染。给后续车间的保洁，设备的保养增加了负担。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种集灰氧化除尘系统，以解决上述现有技术存在的问题，解决了人工清理灰仓效率低，容易造成二次污染的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

3、本发明提供了一种集灰氧化除尘系统，包括排灰除尘器、输灰管路和集灰罐；所述排灰除尘器包括壳体和第一氧化气包，所述第一氧化气包设置在所述壳体的外部，所述壳体上开设有第一出风口、第一进风口和清灰口，所述壳体中设置有第一净气室和第一浊气室，所述第一净气室内设置有若干第一过滤结构和振打结构，所述振打结构用于对所述第一过滤结构进行振打，所述第一浊气室设置有吹扫结构，所述吹扫结构用于将所述第一过滤结构过滤出的灰尘吹扫至所述清灰口，所述第一氧化气包用于盛放氧化气体，所述第一氧化气包与所述第一浊气室连通；所述集灰罐包括筒体、灰仓和第二氧化气包，所述筒体开设有第二进风口和第二出风口，所述清灰口与所述第二进风口通过所述输灰管路连通，所述筒体中设置有第二净气室和第二浊气室，所述第二浊气室内设置有第二过滤结构，所述灰仓与所述第二浊气室连通，所述灰仓用于收集灰尘，所述第二氧化气包用于盛放氧化气体，所述第二氧化气包与所述第二浊气室连通。

4、优选地，所述排灰除尘器还包括第一气包，所述第一气包位于所述壳体的外部，所述第一气包上设置有安全阀、第一电磁阀和第一手动球阀，所述第一气包通过第一喷吹管路与所述第一净气室连通，所述第一喷吹管路的出风端位于所述第一过滤结构的上方，所述第一喷吹管路上设置有脉冲阀和第一气动球阀，所述第一气包与所述吹扫结构连通。

5、优选地，所述集灰罐还包括第二气包，所述第二气包位于所述筒体的外部，所述第二气包通过第二喷吹管路与所述第二净气室连通，所述第二喷吹管路的出风端位于所述第二过滤结构的上方。

6、优选地，所述壳体包括上壳体和下壳体，所述上壳体与所述下壳体连接，所述上壳体上开设有所述第一出风口和上测温口，所述下壳体上开设有所述第一进风口、下测温口和所述清灰口，所述上壳体和所述下壳体之间设置有第一花板，所述上壳体与所述第一花板之间的空间为所述第一净气室，所述下壳体与所述第一花板之间的空间为第一浊气室。

7、优选地，所述集灰罐包括上筒体和下筒体，所述上筒体和所述下筒体连接，所述上筒体和所述下筒体之间设置有第二花板，所述上筒体与所述第二花板之间的空间为第二净气室，所述下筒体与所述第二花板之间的空间为第二浊气室；所述第二过滤结构为塑烧板，各所述塑烧板的上端均与所述第二花板上的通孔连通。

8、优选地，所述吹扫结构包括若干喷嘴，各所述喷嘴均设置在所述清灰口的对面，所述第一气包与各所述喷嘴分别通过一吹扫管路连通，各吹扫管路上均设置有第二电磁阀和第二气动球阀。

9、优选地，所述第一过滤结构为滤袋，各所述滤袋的下端均与所述第一花板上的通孔连通；所述振打结构位于所述第一过滤结构的上方，各所述振打结构包括气缸、弹簧和活动吊架，所述气缸的缸体与所述上壳体连接，所述气缸的活塞杆用于推动所述活动吊架，所述弹簧的一端与所述上壳体中的固定吊架连接，所述弹簧的另一端与所述活动吊架连接，所述活动吊架与所述第一过滤结构的上端连接。

10、优选地，所述排灰除尘器还包括支架和导向结构，所述支架和所述导向结构均设置在所述第一净气室中，所述支架的下端与所述第一花板连接，所述支架的上端设置有所述固定吊架，所述导向结构包括导向套和导向杆，所述导向套套设在所述导向杆的外侧，所述导向套与所述固定吊架连接，所述导向杆与所述活动吊架连接。

11、优选地，所述第一氧化气包上设置有第二手动球阀、第三手动球阀和第三电磁阀，所述第三电磁阀位于所述第二手动球阀的外侧。

12、优选地，所述排灰除尘器还包括气控箱和电控箱，所述气控箱和所述电控箱均位于所述壳体的外侧，且所述气控箱和所述电控箱位于同一侧。

13、本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

14、含尘气体由本发明的第一进风口进入下壳体的第一浊气室中，然后由滤袋的下端进入滤袋内，经过滤袋过滤后的气体由第一出风口排出，滤袋内的粉尘一部分在重力的作用下下落至第一浊气室中，另一部分附着在滤袋内表面，通过第一气包内的气体对滤袋进行喷吹以及配合振打结构对滤袋进行振动，使得滤袋内表面的附着物下落至第一浊气室，然后通过第一氧化气包内的气体对粉尘进行氧化，氧化完成后，第一气包内的气体通过喷嘴将氧化后的粉尘吹向清灰口，并由输灰管路进入集灰罐，在集灰罐中再次通过塑烧板进行除尘，粉尘进入第二浊气室进行氧化，然后落入灰仓中，进行收集，净化后的气体由第二出风口排出。本发明无需人工进行清灰，整个清灰过程在密闭环境中进行，避免了操作过程中产生的扬尘，避免了车间环境的二次污染。

技术特征：

1.一种集灰氧化除尘系统，其特征在于：包括排灰除尘器、输灰管路和集灰罐；所述排灰除尘器包括壳体和第一氧化气包，所述第一氧化气包设置在所述壳体的外部，所述壳体上开设有第一出风口、第一进风口和清灰口，所述壳体中设置有第一净气室和第一浊气室，所述第一净气室内设置有若干第一过滤结构和振打结构，所述振打结构用于对所述第一过滤结构进行振打，所述第一浊气室设置有吹扫结构，所述吹扫结构用于将所述第一过滤结构过滤出的灰尘吹扫至所述清灰口，所述第一氧化气包用于盛放氧化气体，所述第一氧化气包与所述第一浊气室连通；所述集灰罐包括筒体、灰仓和第二氧化气包，所述筒体开设有第二进风口和第二出风口，所述清灰口与所述第二进风口通过所述输灰管路连通，所述筒体中设置有第二净气室和第二浊气室，所述第二浊气室内设置有第二过滤结构，所述灰仓与所述第二浊气室连通，所述灰仓用于收集灰尘，所述第二氧化气包用于盛放氧化气体，所述第二氧化气包与所述第二浊气室连通。

2.根据权利要求1所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述排灰除尘器还包括第一气包，所述第一气包位于所述壳体的外部，所述第一气包上设置有安全阀、第一电磁阀和第一手动球阀，所述第一气包通过第一喷吹管路与所述第一净气室连通，所述第一喷吹管路的出风端位于所述第一过滤结构的上方，所述第一喷吹管路上设置有脉冲阀和第一气动球阀，所述第一气包与所述吹扫结构连通。

3.根据权利要求1所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述集灰罐还包括第二气包，所述第二气包位于所述筒体的外部，所述第二气包通过第二喷吹管路与所述第二净气室连通，所述第二喷吹管路的出风端位于所述第二过滤结构的上方。

4.根据权利要求1所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述壳体包括上壳体和下壳体，所述上壳体与所述下壳体连接，所述上壳体上开设有所述第一出风口和上测温口，所述下壳体上开设有所述第一进风口、下测温口和所述清灰口，所述上壳体和所述下壳体之间设置有第一花板，所述上壳体与所述第一花板之间的空间为所述第一净气室，所述下壳体与所述第一花板之间的空间为第一浊气室。

5.根据权利要求1所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述集灰罐包括上筒体和下筒体，所述上筒体和所述下筒体连接，所述上筒体和所述下筒体之间设置有第二花板，所述上筒体与所述第二花板之间的空间为第二净气室，所述下筒体与所述第二花板之间的空间为第二浊气室；所述第二过滤结构为塑烧板，各所述塑烧板的上端均与所述第二花板上的通孔连通。

6.根据权利要求2所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述吹扫结构包括若干喷嘴，各所述喷嘴均设置在所述清灰口的对面，所述第一气包与各所述喷嘴分别通过一吹扫管路连通，各吹扫管路上均设置有第二电磁阀和第二气动球阀。

7.根据权利要求4所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述第一过滤结构为滤袋，各所述滤袋的下端均与所述第一花板上的通孔连通；所述振打结构位于所述第一过滤结构的上方，各所述振打结构包括气缸、弹簧和活动吊架，所述气缸的缸体与所述上壳体连接，所述气缸的活塞杆用于推动所述活动吊架，所述弹簧的一端与所述上壳体中的固定吊架连接，所述弹簧的另一端与所述活动吊架连接，所述活动吊架与所述第一过滤结构的上端连接。

8.根据权利要求7所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述排灰除尘器还包括支架和导向结构，所述支架和所述导向结构均设置在所述第一净气室中，所述支架的下端与所述第一花板连接，所述支架的上端设置有所述固定吊架，所述导向结构包括导向套和导向杆，所述导向套套设在所述导向杆的外侧，所述导向套与所述固定吊架连接，所述导向杆与所述活动吊架连接。

9.根据权利要求1所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述第一氧化气包上设置有第二手动球阀、第三手动球阀和第三电磁阀，所述第三电磁阀位于所述第二手动球阀的外侧。

10.根据权利要求1所述的集灰氧化除尘系统，其特征在于：所述排灰除尘器还包括气控箱和电控箱，所述气控箱和所述电控箱均位于所述壳体的外侧，且所述气控箱和所述电控箱位于同一侧。

技术总结
本发明公开了一种集灰氧化除尘系统，涉及半导体制备技术领域，包括排灰除尘器、输灰管路和集灰罐；排灰除尘器的壳体设有第一出风口、第一进风口和清灰口，壳体中的第一净气室设有第一过滤结构和振打结构，振打结构对第一过滤结构进行振打，壳体的第一浊气室设有吹扫结构，吹扫结构将第一过滤结构过滤出的灰尘吹扫至清灰口，排灰除尘器的第一氧化气包与第一浊气室连通；集灰罐的筒体设有第二进风口和第二出风口，集灰罐的清灰口与第二进风口通过输灰管路连通，筒体中的第二浊气室内设有第二过滤结构，灰仓与第二浊气室连通，集灰罐的第二氧化气包与筒体的第二浊气室连通。本发明解决了人工清理灰仓效率低，容易造成二次污染的问题。

技术研发人员：刘峰岳,单海涛,师洋,王磊,王刚
受保护的技术使用者：北京中兴汇融节能科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13