一种PVD薄膜加工设备的制作方法

本发明涉及镀膜设备，具体为一种pvd薄膜加工设备。

背景技术：

1、物理气相沉积(pvd)技术：表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源-固体或液体表面气化成气体原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有特殊功能薄膜的技术，物理气相沉积镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀。

2、经检索，中国专利公布号：cn216826772u公开了一种pvd工具真空镀膜机，涉及真空镀膜机领域，包括镀膜箱，所述镀膜箱正面转动连接有箱门，且箱门正面底端滑动连接有另一端与镀膜箱正面底端滑动连接的支撑板，所述镀膜箱顶部安装有输入端与镀膜箱连接的真空泵，且镀膜箱背面安装有新风泵组，所述镀膜箱内部地面设置有储液箱，且储液箱内部安装有多根电压发射。

3、上述专利通过第一喷头对工具侧面进行喷涂镀层，第二喷头可通过微型气泵对工具两端进行喷涂，镀层更加均匀，但是还存在一些不足之处，其待镀膜件是通过夹具对其两端夹持固定，夹具与待镀膜件之间会有部分的夹持区域，在镀膜时会导致夹持区域内的部分待镀膜件不会被镀膜，影响整个待镀膜件的镀膜效果，影响产品质量。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供半一种pvd薄膜加工设备，该装置旨在解决现有技术下会导致夹持区域内的部分待镀膜件不会被镀膜，影响整个待镀膜件的镀膜效果，影响产品质量的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种pvd薄膜加工设备，包括镀膜箱，所述镀膜箱前端设置有对开式密闭门，所述镀膜箱一侧安装有控制器，所述镀膜箱内部顶端设置有镀膜件固定机构，所述镀膜箱内部底端设置有储液箱，所述储液箱内设置有多个电压发射器，所述储液箱顶部设置有镀膜机构，所述镀膜机构与镀膜件固定机构对应设置，所述镀膜箱底部设置有设备箱，所述设备箱内设置有抽真空机构；

4、所述镀膜件固定机构包括固定架，所述固定架为十字型结构，所述固定架的四个支杆底部均设置有真空吸盘，所述镀膜件固定机构还包括安装在镀膜箱顶部的第一真空泵，所述第一真空泵上连接有延伸至镀膜箱内的气管，所述气管与四个真空吸盘连接，所述固定架内设置有用于调节四个真空吸盘位置的调节组件。

5、在一个优选的实施方式中，所述调节组件包括第一电机、第一锥齿轮、丝杆、第二锥齿轮和移动块，所述固定架顶部中心处设置有驱动箱，所述第一电机安装于驱动箱内，所述第一电机底部的输出端上安装有第一锥齿轮，所述固定架的四个支杆内部均设置有丝杆，任何相邻的两个所述丝杆为垂直设置，所述丝杆通过轴承座固定于固定架内部，所述丝杆靠近第一锥齿轮的一端固定连接有第二锥齿轮，所述第一锥齿轮与四个第二锥齿轮啮合连接，每根所述丝杆上均螺纹连接有移动块。

6、在一个优选的实施方式中，所述固定架的四个支杆底部均沿丝杆轴向开设有通槽，所述移动块的底部穿过通槽，所述真空吸盘安装于移动块底部。

7、在一个优选的实施方式中，所述通槽内部的两侧均沿长度方向设置有滑槽，所述移动块两侧均设置有滑动连接于滑槽内的滑块。

8、在一个优选的实施方式中，所述抽真空机构包括第二真空泵、三通管件、抽气管和吸气罩，所述第二真空泵安装于设备箱内，所述第二真空泵的抽气口连接有三通管件，所述三通管件剩余的两端分别连接有抽气管，所述抽气管远离三通管件的一端延伸镀膜箱内并连接有吸气罩，两个吸气罩分别置于储液箱的两侧。

9、在一个优选的实施方式中，所述镀膜机构包括安装框、第二电机、圆形板、移动板、喷管和喷头，所述安装框安装于储液箱的顶部，所述安装框的内部底端中心处安装有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有圆形板，所述圆形板顶部设置有移动板，所述移动板顶部沿长度方向设置有喷管，所述喷管与移动板通过管夹固定连接，所述喷管上沿长度方向等间距连接有若干个喷头，所述喷管与储液箱之间通过输液管连接，所述输液管上设置有抽液泵，所述喷头的出液方向朝向镀膜件固定机构。

10、在一个优选的实施方式中，所述移动板的底部沿长度方向开设有限位槽，所述圆形板的顶部靠近边缘处设置有限位块，所述限位块滑动连接于限位槽内。

11、在一个优选的实施方式中，所述安装框内部顶端的两侧均固定连接有导向滑杆，所述导向滑杆与移动板垂直设置，两根所述导向滑杆之间的间距大于限位槽的长度，所述移动板的两端均滑动套接于导向滑杆上。

12、在一个优选的实施方式中，所述圆形板底端的边缘处与安装框的内部底端之间设置有支撑筒，所述支撑筒底端固定连接于安装框上，所述支撑筒顶端与圆形板之间存有间隙，所述支撑筒的顶端环形设置有下滚珠槽，所述圆形板底部与下滚珠槽位置对应处设置有上滚珠槽，所述下滚珠槽与上滚珠槽之间设置有若干个滚珠。

13、在一个优选的实施方式中，所述镀膜箱一侧靠近镀膜件固定机构处安装有薄膜厚度监测仪，所述薄膜厚度监测仪的检测探头置于镀膜箱内部并与真空吸盘位置对应。

14、有益效果

15、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

16、1、本发明通过设置的pvd薄膜加工设备，通过设置的镀膜件固定机构，将待镀膜件置于四个真空吸盘下方，然后通过第一真空泵工作，将四个真空吸盘内抽真空，从而产生吸附力，将待镀膜件吸附固定，固定闹固，不会对待镀膜件表面造成划伤，且待镀膜件的边角处也不会被遮挡，使得待镀膜件能够全部被覆盖镀膜，提高镀膜效果，提高产品质量。

17、2、本发明通过设置的pvd薄膜加工设备，通过设置的调节组件能够用于同时调节四个真空吸盘的位置，从而改变四个真空吸盘与待镀膜件的吸附固定点，使得能够用于固定不同尺寸的待镀膜件，实用性较高。

18、3、本发明通过设置的pvd薄膜加工设备，通过设置的镀膜机构，通过抽液泵和输液管将储液箱内雾化的镀膜液输送到喷管内，通过喷头进行喷出镀膜，同时，通过第二电机驱动圆形板转动，使得圆形板带动限位块做圆周运动，限位块在移动板的限位槽内滑动，从而带动移动板做往复的左右移动，使得能够将待镀膜件均匀镀膜，提高产品质量。

技术特征：

1.一种pvd薄膜加工设备，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)前端设置有对开式密闭门(4)，所述镀膜箱(1)一侧安装有控制器(3)，所述镀膜箱(1)内部顶端设置有镀膜件固定机构(6)，所述镀膜箱(1)内部底端设置有储液箱(7)，所述储液箱(7)内设置有多个电压发射器(8)，所述储液箱(7)顶部设置有镀膜机构(9)，所述镀膜机构(9)与镀膜件固定机构(6)对应设置，所述镀膜箱(1)底部设置有设备箱(2)，所述设备箱(2)内设置有抽真空机构(10)；

2.根据权利要求1所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述调节组件包括第一电机(605)、第一锥齿轮(606)、丝杆(607)、第二锥齿轮(608)和移动块(603)，所述固定架(601)顶部中心处设置有驱动箱(602)，所述第一电机(605)安装于驱动箱(602)内，所述第一电机(605)底部的输出端上安装有第一锥齿轮(606)，所述固定架(601)的四个支杆内部均设置有丝杆(607)，任何相邻的两个所述丝杆(607)为垂直设置，所述丝杆(607)通过轴承座(609)固定于固定架(601)内部，所述丝杆(607)靠近第一锥齿轮(606)的一端固定连接有第二锥齿轮(608)，所述第一锥齿轮(606)与四个第二锥齿轮(608)啮合连接，每根所述丝杆(607)上均螺纹连接有移动块(603)。

3.根据权利要求2所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述固定架(601)的四个支杆底部均沿丝杆(607)轴向开设有通槽(6011)，所述移动块(603)的底部穿过通槽(6011)，所述真空吸盘(604)安装于移动块(603)底部。

4.根据权利要求3所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述通槽(6011)内部的两侧均沿长度方向设置有滑槽(6012)，所述移动块(603)两侧均设置有滑动连接于滑槽(6012)内的滑块(6031)。

5.根据权利要求1所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述抽真空机构(10)包括第二真空泵(1001)、三通管件(1002)、抽气管(1003)和吸气罩(1004)，所述第二真空泵(1001)安装于设备箱(2)内，所述第二真空泵(1001)的抽气口连接有三通管件(1002)，所述三通管件(1002)剩余的两端分别连接有抽气管(1003)，所述抽气管(1003)远离三通管件(1002)的一端延伸镀膜箱(1)内并连接有吸气罩(1004)，两个吸气罩(1004)分别置于储液箱(7)的两侧。

6.根据权利要求1所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述镀膜机构(9)包括安装框(901)、第二电机(902)、圆形板(903)、移动板(904)、喷管(905)和喷头(906)，所述安装框(901)安装于储液箱(7)的顶部，所述安装框(901)的内部底端中心处安装有第二电机(902)，所述第二电机(902)的输出端固定连接有圆形板(903)，所述圆形板(903)顶部设置有移动板(904)，所述移动板(904)顶部沿长度方向设置有喷管(905)，所述喷管(905)与移动板(904)通过管夹固定连接，所述喷管(905)上沿长度方向等间距连接有若干个喷头(906)，所述喷管(905)与储液箱(7)之间通过输液管连接，所述输液管上设置有抽液泵，所述喷头(906)的出液方向朝向镀膜件固定机构(6)。

7.根据权利要求6所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述移动板(904)的底部沿长度方向开设有限位槽(9041)，所述圆形板(903)的顶部靠近边缘处设置有限位块(9031)，所述限位块(9031)滑动连接于限位槽(9041)内。

8.根据权利要求7所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述安装框(901)内部顶端的两侧均固定连接有导向滑杆(907)，所述导向滑杆(907)与移动板(904)垂直设置，两根所述导向滑杆(907)之间的间距大于限位槽(9041)的长度，所述移动板(904)的两端均滑动套接于导向滑杆(907)上。

9.根据权利要求6所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述圆形板(903)底端的边缘处与安装框(901)的内部底端之间设置有支撑筒(908)，所述支撑筒(908)底端固定连接于安装框(901)上，所述支撑筒(908)顶端与圆形板(903)之间存有间隙，所述支撑筒(908)的顶端环形设置有下滚珠槽(9081)，所述圆形板(903)底部与下滚珠槽(9081)位置对应处设置有上滚珠槽(9032)，所述下滚珠槽(9081)与上滚珠槽(9032)之间设置有若干个滚珠(909)。

10.根据权利要求1所述的一种pvd薄膜加工设备，其特征在于：所述镀膜箱(1)一侧靠近镀膜件固定机构(6)处安装有薄膜厚度监测仪(11)，所述薄膜厚度监测仪(11)的检测探头(12)置于镀膜箱(1)内部并与真空吸盘(604)位置对应。

技术总结
本发明公开了一种PVD薄膜加工设备，包括镀膜箱，镀膜箱前端设置有对开式密闭门，镀膜箱一侧安装有控制器，镀膜箱内部顶端设置有镀膜件固定机构，镀膜箱内部底端设置有储液箱，储液箱内设置有多个电压发射器，储液箱顶部设置有镀膜机构，镀膜机构与镀膜件固定机构对应设置，镀膜箱底部设置有设备箱，设备箱内设置有抽真空机构，本发明通过设置的镀膜件固定机构，将待镀膜件置于四个真空吸盘下方，然后通过第一真空泵工作，将四个真空吸盘内抽真空，从而产生吸附力，将待镀膜件吸附固定，固定闹固，不会对待镀膜件表面造成划伤，且待镀膜件的边角处也不会被遮挡，使得待镀膜件能够全部被覆盖镀膜，提高镀膜效果，提高产品质量。

技术研发人员：彭苏红
受保护的技术使用者：浙江海量纳米科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13