一种可抽出式胶泵系统的制作方法

本发明涉及半导体加工，具体而言，涉及一种可抽出式胶泵系统。

背景技术：

1、在半导体加工领域，通过光刻工艺将掩膜图形转移到晶圆上，但在维修与维护的过程中，涂胶装置设在支架的底部，这使得维修与维护非常不便，因此优化涂胶装置的固定方式，便于维修与维护，是十分必要的。

技术实现思路

1、因此，本发明实施例提供一种可抽出式胶泵系统，解决涂胶装置的固定方式，便于胶泵系统的维修与维护。

2、为实现本发明的目的，本发明提供了一种可抽出式胶泵系统，包括：胶泵支架，胶泵支架包括：滑轨，滑轨设有多个，滑轨设于胶泵支架；安装板，安装板设于滑轨；涂胶装置，涂胶装置包括：胶泵，胶泵设有多个，胶泵设于安装板，阀门组件，阀门组件设于安装板；其中，涂胶装置固定在安装板上，涂胶装置随着滑轨滑动抽拉。

3、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：胶泵支架设有滑轨，涂胶装置设置在滑轨上，使得涂胶装置依靠滑轨滑动，便于涂胶装置的维修与维护，阀门组件控制涂胶装置的通断，操作更加安全。

4、在本发明的一个技术方案中，涂胶装置包括：保护壳，保护壳与胶泵对应设置，其中，胶泵设有胶泵框架，定位销固定在胶泵框架上。

5、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：保护壳用于保护胶泵，防止操作人员的手伸进缝隙中发生危险，同时也保护胶泵，防止胶泵受到撞击而损坏。

6、在本发明的一个技术方案中，保护壳包括：至少一个滑道，至少一个滑道设于保护壳的侧面。

7、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：保护壳的侧面设有至少一个滑道，保护壳沿着滑道的方向滑动，便于操作人员进行维修和维护。

8、在本发明的一个技术方案中，保护壳还包括：定位销，定位销穿过滑道固定在胶泵上，并使保护壳沿着滑道滑动。

9、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：保护壳通过定位销固定在胶泵上，保护壳滑动时，定位销设于滑道中，防止保护壳脱离胶泵，操作时更加安全。

10、在本发明的一个技术方案中，阀门组件包括：第一阀门，第一阀门与胶泵对应设置，用于控制胶泵的通断，第一阀门固定在胶泵支架上；和/或第二阀门，第二阀门与胶泵对应设置，用于控制胶泵的流速。

11、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：设置第一阀门和第二阀门，分别对胶泵中胶液的通断和流速进行控制，便于员工的操作，对流速进行控制，防止在喷涂胶液时，喷涂不均。

12、在本发明的一个技术方案中，阀门组件还包括：至少一个第三阀门，至少一个第三阀门与胶泵对应设置，第三阀门与胶泵相连，并设于胶泵支架的端部；第三阀门设于进气口和出气口；胶泵设有吸入口和流出口；其中，进气口与吸入口通过气管相连，出气口与流出口通过气管相连。

13、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：至少一个第三阀门的进气口和出气口控制胶泵中的胶液吸入和流出，能够调整胶液的流动方向和流速，控制的精度更高。

14、在本发明的一个技术方案中，还包括：过滤器，过滤器设于安装板，用于过滤胶泵中的杂质。

15、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：过滤器过滤从胶泵中流出的胶液，去除胶液中的杂质，避免堵塞或腐蚀阀门组件，提高了阀门组件的使用寿命和效果，使得喷涂的效果更好。

16、在本发明的一个技术方案中，还包括：减压阀，减压阀设于胶泵支架的端部，与胶泵相连，用于控制胶泵的压力。

17、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：减压阀调节胶泵压力，胶泵内部压力过大时，胶泵发生爆裂，使胶液泄露，因此安装减压阀，调节胶泵内部的压力，防止胶液泄露，操作时更加安全。

18、在本发明的一个技术方案中，胶泵支架还包括：漏液托盘，漏液托盘设于胶泵支架底部，用于收集胶泵的漏液。

19、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：将泄露的胶液进行收集，便于将胶液进行无害处理，同时，胶液具有一定的腐蚀性，将泄露的胶液收集，保护了操作人员的安全。

20、在本发明的一个技术方案中，还包括：拖链，拖链设于胶泵支架的顶部，用于容纳胶泵的气管和导线。

21、与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：拖链具有良好的韧性，对内部的气管和导线起到牵引的作用，也使得胶泵系统更加整齐，拖链的防腐性突出，防止导线和气管被腐蚀，延长了导线和气管的使用寿命。

22、采用本发明的技术方案后，能够达到如下技术效果：

23、(1)胶泵支架设有滑轨，涂胶装置设置在滑轨上，使得涂胶装置依靠滑轨滑动，便于涂胶装置的维修与维护；

24、(2)保护壳通过定位销固定在胶泵上，保护壳滑动时，定位销设于滑道中，防止保护壳脱离胶泵，操作时更加安全；

25、(3)过滤器过滤从胶泵中流出的胶液，去除胶液中的杂质，避免堵塞或腐蚀阀门组件，提高了喷涂的效果。

技术特征：

1.一种可抽出式胶泵系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，所述涂胶装置(200)包括：

3.根据权利要求2所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，所述保护壳(240)包括：

4.根据权利要求3所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，所述保护壳(240)还包括：

5.根据权利要求1所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，所述阀门组件(220)包括：

6.根据权利要求1所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，所述阀门组件(220)还包括：

7.根据权利要求1所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，所述涂胶装置(200)还包括：

8.根据权利要求1所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，还包括：减压阀(140)，所述减压阀(140)设于所述胶泵支架(100)的端部，与所述胶泵(210)相连，用于调节所述胶泵(210)的压力。

9.根据权利要求1所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，所述胶泵支架(100)包括：

10.根据权利要求1所述的可抽出式胶泵系统，其特征在于，还包括：拖链(150)，所述拖链(150)设于所述胶泵支架(100)顶部，用于容纳所述胶泵(210)的气管和导线。

技术总结
本发明提供了一种可抽出式胶泵系统。一种可抽出式胶泵系统，包括：胶泵支架，胶泵支架包括：滑轨，滑轨设有多个，滑轨设于胶泵支架；安装板，安装板设于滑轨；涂胶装置，涂胶装置包括：胶泵，胶泵设有多个，胶泵设于安装板；阀门组件，阀门组件设于安装板；其中，涂胶装置固定在安装板上，涂胶装置随着滑轨滑动抽拉。涂胶装置依靠滑轨滑动，便于涂胶装置的维修与维护，阀门组件控制涂胶装置的通断，操作更加安全。

技术研发人员：姜岩松,周鹏,陈胜华,于江忠
受保护的技术使用者：宁波润华全芯微电子设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14