用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构及方法与流程

本发明涉及通风除尘技术及通风除尘装备，具体的，是一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构及方法。

背景技术：

1、在线cvd法镀膜技术，是在浮法玻璃生产过程中，连续沉积化合物薄膜的cvd工艺技术，在其生产中cvd反应釜会积聚大量的内腔积尘。

2、在玻璃生产线中cvd反应釜工作一个周期后需要进行人工清理其内腔积尘，在清理过程中会产生大量可燃爆粉尘；现阶段一般通过湿式除尘系统进行收集过滤积尘；存在需要解决问题：

3、1、传统的湿式除尘系统很难满足环保排放要求且伴有污水废弃物；

4、2、所处理的粉尘具有自燃和可燃爆性，当该粉尘在过滤器和管道积聚到一定程度时经常发生火灾和爆炸事故，普通的袋式过滤器难以驾驭；

5、3、火灾或者爆炸事故发生时车间不能进行生产，需要更换整套除尘系统，造成时间及经济巨大损失；

6、4、如用普通的干式过滤器则会发生不可控的火灾和爆炸事故，此类事故属于安全生产事故。

7、同时，cvd反应釜腔体内积尘非常细微且具有极强的自燃及可燃爆性，成为安全生产中的一大隐患。为此需要开发一种低成本且高效过滤方案，同时亦能能对除尘系统进行爆炸保护的解决方案显得尤为必要。

8、因此，有必要提供一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构及方法来解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构及方法。

2、技术方案一如下：

3、一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构，包括褶式滤筒过滤器，褶式滤筒过滤器对应连接进气管和主出气管道；

4、进气管上设置有定量给料加粉装置；

5、过滤器用做cvd反应釜积尘的容纳仓，定量给料加粉装置用做对应容纳仓喷入超细氢氧化钙粉尘的加料部，加料部对应进行超细氢氧化钙粉尘喷入使cvd反应釜积尘惰化，形成用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘装备。

6、进一步的，褶式滤筒过滤器包括过滤器本体泄爆膜，泄爆膜上设置有泄爆传感器，褶式滤筒过滤器的过滤器料斗上设置有温度变送器a。

7、进一步的，褶式滤筒过滤器上还设置有压差变送器，进气管上设置有温度变送器b和机械隔爆装置，且褶式滤筒过滤器还对应设置有清灰控制器和plc中央控制柜。

8、进一步的，褶式滤筒过滤器包括浸碳工艺防静电处理过的褶式滤筒，褶式滤筒对应设置有静电跨接。

9、进一步的，褶式滤筒过滤器的料斗安装有锁气卸灰装置，锁气卸灰装置阀体装有防静电跨接。

10、进一步的，定量给料加粉装置包括60l容量的给料容器，给料容器上端有防护盖板，下端有螺旋送料机构，螺旋送料机构通过齿轮电机进行驱动送料，螺旋送料机构末端连接喷吹风机、喷吹风机把螺旋送料机构运送的定量超细氢氧化钙粉尘通过进气风管道送入容纳仓。

11、技术方案二如下：

12、一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘方法，步骤为：

13、1)含有cvd反应釜积尘的粉尘通过主进气管道穿过机械式隔爆装置进入褶式滤筒过滤器；

14、1-1)plc控制柜通过控制定量给料加粉装置对喷入超细氢氧化钙粉尘，cvd反应釜积尘和氢氧化钙粉尘按比例混合后在褶式滤筒的外壁上积聚；

15、1-2)随着压差变送器的压差逐渐升高，达到设定清灰值时，清灰控制器控制脉冲清灰阀对褶式滤筒进行脉冲气流清灰；

16、1-3)灰尘被脉冲气流吹落到过滤器料斗上的锁气卸灰装置排放到灰桶或者吨袋中；

17、1-4)含尘气体经过褶式滤筒过滤后进入风机和烟囱高空排放；

18、2)随着混合粉尘在褶式滤筒外壁上不断积聚，褶式滤筒通过静电跨接把粉尘摩擦产生的静电直接导入大地进行消散；

19、3)定量给料加粉装置喷入的超细氢氧化钙粉尘与cvd反应釜积尘进行混合后不能直接判断该混合粉尘已经进行完全惰化，需要锁气卸灰装置产生的混合粉尘进行可燃爆测试，如果测试混合粉尘仍然具备可燃爆或自燃的能力，需要通过plc控制柜控制定量给料加粉装置喷粉量进行调整，直到混合粉尘失去燃烧或者爆炸的能力；一般先按照5:1的比例进行氢氧化钙粉尘喷入。

20、进一步的，步骤3)中，混合惰化粉尘的比例达不到惰化的功能，褶式滤筒过滤器中的粉尘趋向阴燃或者发生爆炸，温度变送器a和温度变送器b探测到温度异常会发出报警信号给plc控制柜，plc控制柜会及时发出报警信号并对风机强制停机；如发生爆炸，褶式滤筒过滤器的泄爆传感器会发出停机信号给风机和定量给料加粉装置，机械隔爆装置会阻隔火焰在管道上逆向传播，锁气卸灰会隔离火焰向灰桶/吨袋传播，同时泄爆膜进行泄爆的同时把火焰导向指定的区域。

21、与现有技术相比，本发明的有益效果为：

22、1)可以大幅提高净化cvd反应釜积尘的过滤效率，满足苛刻的环保要求；

23、2)可以有效的杜绝过滤净化cvd反应釜粉尘时发生自燃和粉尘爆炸发生；

24、3)如果粉尘发生爆炸时可以对其爆炸产生的危害进行有效控制，做到安全泄爆，减少经济损失和避免人员伤害；

25、4)相比传统的除尘系统如发生火灾或者粉尘爆炸，可减少重新投入；

26、5)可以把除尘系统不可控的火灾和爆炸进行有效控制，做到隐患消除、危害可控，积极的对生产进行保驾护航，提供一个安全可靠的生产环境。

技术特征：

1.一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：包括褶式滤筒过滤器，褶式滤筒过滤器对应连接进气管和主出气管道；

2.根据权利要求1所述的一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器包括过滤器本体泄爆膜，泄爆膜上设置有泄爆传感器，褶式滤筒过滤器的过滤器料斗上设置有温度变送器a。

3.根据权利要求2所述的一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器上还设置有压差变送器，进气管上设置有温度变送器b和机械隔爆装置，且褶式滤筒过滤器还对应设置有清灰控制器和plc中央控制柜。

4.根据权利要求3所述的一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器包括浸碳工艺防静电处理过的褶式滤筒，褶式滤筒对应设置有静电跨接。

5.根据权利要求4所述的一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：褶式滤筒过滤器的料斗安装有锁气卸灰装置，锁气卸灰装置阀体装有防静电跨接。

6.根据权利要求5所述的一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘结构，其特征在于：定量给料加粉装置包括60l容量的给料容器，给料容器上端有防护盖板，下端有螺旋送料机构，螺旋送料机构通过齿轮电机进行驱动送料，螺旋送料机构末端连接喷吹风机、喷吹风机把螺旋送料机构运送的定量超细氢氧化钙粉尘通过进气风管道送入容纳仓。

7.一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘方法，其特征在于：步骤为：

8.根据权利要求7所述的一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘方法，其特征在于：还包括步骤3)：定量给料加粉装置喷入的超细氢氧化钙粉尘与cvd反应釜积尘进行混合后不能直接判断该混合粉尘已经进行完全惰化，需要锁气卸灰装置产生的混合粉尘进行可燃爆测试，如果测试混合粉尘仍然具备可燃爆或自燃的能力，需要通过plc控制柜控制定量给料加粉装置喷粉量进行调整，直到混合粉尘失去燃烧或者爆炸的能力；一般先按照5:1的比例进行氢氧化钙粉尘喷入。

9.根据权利要求8所述的一种用于净化cvd反应釜粉尘的防爆除尘方法，其特征在于：步骤3)中，混合惰化粉尘的比例达不到惰化的功能，褶式滤筒过滤器中的粉尘趋向阴燃或者发生爆炸，温度变送器a和温度变送器b探测到温度异常会发出报警信号给plc控制柜，plc控制柜会及时发出报警信号并对风机强制停机；如发生爆炸，褶式滤筒过滤器的泄爆传感器会发出停机信号给风机和定量给料加粉装置，机械隔爆装置会阻隔火焰在管道上逆向传播，锁气卸灰会隔离火焰向灰桶/吨袋传播，同时泄爆膜进行泄爆的同时把火焰导向指定的区域。

技术总结
本发明用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘结构及方法，包括褶式滤筒过滤器，褶式滤筒过滤器对应连接进气管和主出气管道；进气管上设置有定量给料加粉装置；过滤器用做CVD反应釜积尘的容纳仓，定量给料加粉装置用做对应容纳仓喷入超细氢氧化钙粉尘的加料部，加料部对应进行超细氢氧化钙粉尘喷入使CVD反应釜积尘惰化，形成用于净化CVD反应釜粉尘的防爆除尘装备。

技术研发人员：高学曦,蔡红梅,朱慧,刘佳愉,杨小平,王博
受保护的技术使用者：鑫晨晖科技（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16