清洁装置和单晶炉过滤除尘系统的制作方法

本发明涉及半导体产品制作，尤其涉及一种清洁装置和单晶炉过滤除尘系统。

背景技术：

1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生产无错位单晶的设备。目前的单晶炉在拉晶过程中通入氮气时，炉内的会产生粉尘。为了保证单晶炉内真空，需要接入真空泵不停的抽真空，产生的尾气接入油雾分离器过滤之后排入大气中。在真空泵抽真空过程中，炉内气体中大量粉尘会直接吸入真空泵内，粉尘与真空泵内的润滑油混合，导致真空泵润滑失效，如若润滑油更换不及时，会导致真空泵损坏，但润滑油更换频繁，不仅大大加大了拉晶成本，而且资源浪费严重。当前的解决方式是在真空泵体与单晶炉之间连接一个除尘过滤罐。

2、除尘过滤罐内含滤芯，气体通过滤芯能过滤大量粉尘。但同时粉尘会附着在滤芯上，很快会使滤芯堵塞导致单晶炉内压力急剧升高，从而影响生产。并且在单晶炉初始准备阶段，单晶炉内部压强小于除尘过滤罐内部的压强，容易发生气体倒吸现象，使除尘过滤罐内部的气体吸入单晶炉内部，而除尘过滤罐的滤芯和罐体内部若长时间不清理粉尘，会在倒吸时将大量粉尘也吸入单晶炉，严重影响炉内洁净度，尤其在抽真空阶段，如有倒吸现象发生，则单晶炉内部多晶硅料将受到污染无法使用，如未及时发现，则在拉晶过程中会由于杂质含量过多而影响生产的晶棒的单晶率和单晶品质。因此，工人会经常手动打开过除尘过滤罐，取出滤芯以清理附着在滤芯上的粉尘。这个过程需要人工操作,不仅耗时且影响工作效率。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提供一种清洁装置和单晶炉过滤除尘系统，解决除尘罐内的滤芯上的粉尘清理效率低的问题。

2、为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种清洁装置，用于单晶炉除尘罐的清洁，所述除尘罐包括筒体和位于筒体内的多个滤芯，多个所述滤芯包括位于所述筒体的中心的中心滤芯和位于所述中心滤芯的外围的多个边缘滤芯，沿着所述筒体的径向方向，多个所述边缘滤芯环绕所述中心滤芯形成至少一个环形结构；

3、所述清洁装置包括毛刷支架，所述毛刷支架包括至少两层套设的环形支架，每一层环形支架上设置有毛刷，所述毛刷能够与对应的滤芯的表面抵接。

4、所述清洁装置还包括升降结构，被配置为控制所述毛刷支架在所述筒体的轴向方向上进行升降运动。

5、可选的，在所述环形支架的径向方向上，所述环形支架的相对的两侧均设置有毛刷。

6、可选的，多个所述边缘滤芯环绕所述中心滤芯形成至第一环形结构和第二环形结构，所述毛刷支架包括套设在一起的第一环形支架、第二环形支架和第三环形支架，所述第一环形支架位于所述中心滤芯和所述第一环形结构之间，所述第二环形支架位于所述第一环形结构和所述第二环形结构之间，所述第三环形支架位于所述第三环形结构和所述筒体的内壁之间。

7、可选的，相邻两层所述环形支架之间连接有连接杆，所述连接杆上设置有毛刷，且所述连接杆能够位于相邻的两个滤芯之间，以使得所述连接杆上的毛刷与对应的滤芯的表面抵接。

8、可选的，所述连接杆为与所述滤芯的外表面的形状相符的弧形结构。

9、可选的，所述连接杆包括第一子连接杆和第二子连接杆，所述第一子连接杆和所述第二子连接杆均与所述滤芯的外表面的形状相符的弧形结构，且所述第一子连接杆和所述第二子连接杆的凹面相背设置。

10、可选的，所述升降结构包括与所述毛刷支架连接的传动杆和用于驱动所述传动杆进行升降的驱动电机。

11、可选的，所述传动杆包括连接管和位于所述连接管内的丝杠，所述丝杠的一端与所述驱动电机传动连接，所述丝杠的另一端连接有伸缩杆，所述伸缩杆与所述毛刷支架连接。

12、可选的，还包括抽真空结构，所述抽真空结构包括真空泵，所述真空泵通过管道与所述筒体的底部的出口连通。

13、本发明实施例还提供一种单晶炉过滤除尘系统，包括与单晶炉连通的除尘罐和上述的清洁装置。

14、本发明的有益效果是：对应于多圈分布的滤芯，本发明实施例中的毛刷支架包括至少两层套设在一起的环形支架，以对每个滤芯的外表面进行清洁，且通过升降结构控制所述毛刷支架进行升降运动，以实现滤芯的外表面的自动清洁，提高清洁效率。

技术特征：

1.一种清洁装置，用于单晶炉除尘罐的清洁，其特征在于，所述除尘罐包括筒体和位于筒体内的多个滤芯，多个所述滤芯包括位于所述筒体的中心的中心滤芯和位于所述中心滤芯的外围的多个边缘滤芯，沿着所述筒体的径向方向，多个所述边缘滤芯环绕所述中心滤芯形成至少一个环形结构；

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，在所述环形支架的径向方向上，所述环形支架的相对的两侧均设置有毛刷。

3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，多个所述边缘滤芯环绕所述中心滤芯形成至第一环形结构和第二环形结构，所述毛刷支架包括套设在一起的第一环形支架、第二环形支架和第三环形支架，所述第一环形支架位于所述中心滤芯和所述第一环形结构之间，所述第二环形支架位于所述第一环形结构和所述第二环形结构之间，所述第三环形支架位于所述第三环形结构和所述筒体的内壁之间。

4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，相邻两层所述环形支架之间连接有连接杆，所述连接杆上设置有毛刷，且所述连接杆能够位于相邻的两个滤芯之间，以使得所述连接杆上的毛刷与对应的滤芯的表面抵接。

5.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，所述连接杆为与所述滤芯的外表面的形状相符的弧形结构。

6.根据权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述连接杆包括第一子连接杆和第二子连接杆，所述第一子连接杆和所述第二子连接杆均与所述滤芯的外表面的形状相符的弧形结构，且所述第一子连接杆和所述第二子连接杆的凹面相背设置。

7.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述升降结构包括与所述毛刷支架连接的传动杆和用于驱动所述传动杆进行升降的驱动电机。

8.根据权利要求7所述的清洁装置，其特征在于，所述传动杆包括连接管和位于所述连接管内的丝杠，所述丝杠的一端与所述驱动电机传动连接，所述丝杠的另一端连接有伸缩杆，所述伸缩杆与所述毛刷支架连接。

9.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，还包括抽真空结构，所述抽真空结构包括真空泵，所述真空泵通过管道与所述筒体的底部的出口连通。

10.一种单晶炉过滤除尘系统，其特征在于，包括与单晶炉连通的除尘罐和权利要求1-9任一项所述的清洁装置。

技术总结
本发明涉及一种清洁装置，用于单晶炉除尘罐的清洁，除尘罐包括筒体和位于筒体内的多个滤芯，多个滤芯包括位于筒体的中心的中心滤芯和位于中心滤芯的外围的多个边缘滤芯，沿着筒体的径向方向，多个边缘滤芯环绕中心滤芯形成至少一个环形结构；清洁装置包括毛刷支架，毛刷支架包括至少两层套设的环形支架，每一层环形支架上设置有毛刷，毛刷能够与对应的滤芯的表面抵接。清洁装置还包括升降结构，被配置为控制毛刷支架在筒体的轴向方向上进行升降运动。本发明还涉及一种单晶炉过滤除尘系统。对应于多圈分布的滤芯，本发明实施例中的毛刷支架包括至少两层套设在一起的环形支架，以对每个滤芯的外表面进行清洁，且通过升降结构控制毛刷支架进行升降运动，以实现滤芯的外表面的自动清洁，提高清洁效率。

技术研发人员：赵嘉诚
受保护的技术使用者：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/6