一种涂布模头及涂布设备的制作方法

文档序号:37229001发布日期:2024-03-05 15:37阅读:28来源:国知局
一种涂布模头及涂布设备的制作方法

本发明涉及涂布领域,特别是一种涂布模头及涂布领域。


背景技术:

1、涂布模头可用于tft光刻、oled(有机电致发光二极管)显示器柔性基板、液晶显示器彩色滤光膜、薄膜太阳能电池等领域。以oled显示器柔性基板制作为例,在大气环境下,pi的液体反应物最终通过狭缝涂布设备的涂布模头涂布于玻璃基板表面,再将该基板传入真空加热室抽真空、加热,液体反应物反应后生成的固体形成pi薄膜。

2、但是,现有模头的液体供料通常为采用单个输入端进行供料,其难以确保模头的输出端所输出的液体均匀。若要使其输出端的可以均匀地输出液体,需有一个很大的缓冲腔体来蓄积液体,如此,模头的体积和重量会变得很大,导致生产和加工的难度提高,导致生产成本增大。

3、为此,也有部分采用多个输入端进行供料。然而,采用多个输入端进行供料,则需要精确地控制各个输入端的流速、流量,需要采用多个阀门进行控制,大大的提高了制造成本,而且涂布的衔接部分难以消除而影响产品均匀性,精准控制的难度也较高。


技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是:解决上述所提出的至少一个技术问题,提供一种可均匀供料的涂布模头。

2、本发明解决其技术问题的解决方案是:

3、一种涂布模头,包括模头组件、第一涂唇、第二涂唇和第二垫片,所述模头组件上设有输入管,所述模头组件内开设有二分流管路,所述输入管连通到所述二分流管路的输入端,所述第一涂唇固定在所述模头组件的下端,所述第二涂唇固定在所述模头组件的下端,所述第一涂唇和所述第二涂唇左右排布,所述第二垫片设置在所述第一涂唇和所述第二涂唇之间,所述第一涂唇、第二涂唇和所述第二垫片固定相连;所述第二垫片的中部开设有第二孔,所述第二孔延伸到所述第二垫片的下端,使得第一涂唇和所述第二涂唇在所述第二孔处形成第二间隙,所述第一涂唇内设有第二流道,所述二分流管路的所有输出端均连通到所述第二流道,所述第二流道连通到所述第二间隙,所述第二间隙的下端用于输出液体。

4、作为上述技术方案的进一步改进,所述二分流管路包括多个三通管,所有的所述三通管分成若多级的二分流管道,第一级的二分流管道设置一个所述三通管,第一级的所述三通管的输入端与所述输入管相连,每个所述三通管具有一个输入端和两个输出端;在相邻的两级二分流管道中,上一级的二分流管道中的三通管的输出端与下一级的二分流管道的输入端一一对应地连通。

5、作为上述技术方案的进一步改进,每个所述三通管的输入端的管径大于其单个输出端的管径。

6、作为上述技术方案的进一步改进,每个所述三通管的输入端的截面积等于其两个输出端的截面积之和。

7、作为上述技术方案的进一步改进,除第一级二分流管道之外的所述三通管的输入端和输出端的朝向相反。

8、作为上述技术方案的进一步改进,所述模头组件包括左右排布的第一模头部件和第二模头部件,所述第一涂唇设置在所述第一模头部件的下端,所述第二涂唇设置在所述第二模头部件的下端,涂布模头还包括第一垫片,所述第一垫片的每一条边上均排布有多个安装孔,所述第一模头部件上设有多个第一连接孔,所述第二模头部件上设有多个第二连接孔,所述安装孔、第一连接孔和所述第二连接孔一一对应地通过螺丝固定相连;所述第一垫片和所述第二垫片分体设置,或所述第一垫片和所述第二垫片连接在一起而形成同一块垫片;所述第一模头部件与所述第一涂唇一体设置或分体设置,所述第二模头部件与所述第二涂唇一体式设置或分体式设置。

9、作为上述技术方案的进一步改进,所述模头组件包括第一模头部件和第二模头部件,涂布模头还包括第一垫片,所述第一垫片的每一条边上均排布有多个安装孔,所述第一模头部件上设有多个第一连接孔,所述第二模头部件上设有多个第二连接孔,所述安装孔、第一连接孔和所述第二连接孔一一对应地连通形成一条锁定通道,所述锁定通道锁定有螺丝,每相邻的所述二分流管路的输出端之间均设有一条锁定通道;

10、所述第一垫片和所述第二垫片分体设置,或所述第一垫片和所述第二垫片连接在一起而形成同一块垫片;所述第一模头部件与所述第一涂唇一体设置或分体设置,所述第二模头部件与所述第二涂唇一体式设置或分体式设置。

11、作为上述技术方案的进一步改进,所述第一涂唇内设有第一缓冲腔,所述第一缓冲腔设置在所述第二间隙和所述第二流道之间,所述第二流道通过所述第一缓冲腔与所述第二间隙连通。

12、作为上述技术方案的进一步改进,所述第一涂唇内开设有第二缓冲腔,所述第二缓冲腔通过所述第二间隙与所述第一缓冲腔相连通。

13、作为上述技术方案的进一步改进,所述模头组件包括上下排布的第一模头部件和第二模头部件,所述第一模头部件设置在所述第二模头部件的下方,所述第一涂唇和所述第二涂唇均设置在所述第一模头部件的下方,所述二分流管路设置在所述第一模头部件内,所述第二模头部件内设置所述输入管,所述输入管连通到所述二分流管路的输入端。

14、作为上述技术方案的进一步改进,所述第一模头部件和所述第二模头部件之间设有第一垫片,所述第一模头部件、所述第二模头部件和所述第一垫片以螺丝固定相连,所述第一垫片上开设有避让孔,输入管通过所述避让孔与所述二分流管路的输入端相连通。

15、作为上述技术方案的进一步改进,所述第一涂唇的顶面设有第一盲孔,所述第二涂唇的顶面设有第二盲孔,所述第一盲孔和所述第二盲孔相互连通而形成一个沉台,所述第一模头部件插接在所述沉台中。

16、作为上述技术方案的进一步改进,所述二分流管路沿横向延伸,使得所述二分流管路设置在一个水平面上,所述第一模头部件内设有第一流道,所述二分流管路的所有输出端连通到所述第一流道的输入端,所述第一流道的输出端与所述第二流道的输入端相连通。

17、作为上述技术方案的进一步改进,所述第一流道和/或第二流道的中部设有至少一个转角,以改变液体的流向。

18、本发明还提供了一种涂布设备,包括上述任意技术方案中的涂布模头。

19、本发明的有益效果是:用于涂布的液体从输入管的输入口输入,然后流进二分流管路当中,经过二分流管路对液体进行分流处理,使得液体被均匀地分成多股,多股的液体从二分流管路的输出端输出并流到第二流道当中,使得进入到第二流道当中的液体排布均匀,第二流道中的液体通过第二孔进入到第二间隙当中,液体从第二间隙的下端流出液体。通过二分流管路的设置,可使第二间隙当中流出的液体较为均匀。

20、此外,第一涂唇和第二涂唇通过第二垫片进行固定,可确保第一涂唇和第二涂唇之间的固定较为稳固,使得第二间隙处所形成的流道宽度均匀,最终使得流出的液体的流量较为均匀、稳定。



技术特征:

1.一种涂布模头,其特征在于,包括模头组件(1)、第一涂唇(3)、第二涂唇(4)和第二垫片(2),所述模头组件(1)上设有输入管,所述模头组件(1)内开设有二分流管路(111),所述输入管连通到所述二分流管路(111)的输入端,所述第一涂唇(3)固定在所述模头组件(1)的下端,所述第二涂唇(4)固定在所述模头组件(1)的下端,所述第一涂唇(3)和所述第二涂唇(4)左右排布,所述第二垫片(2)设置在所述第一涂唇(3)和所述第二涂唇(4)之间,所述第一涂唇(3)、第二涂唇(4)和所述第二垫片(2)固定相连;所述第二垫片(2)的中部开设有第二孔,所述第二孔延伸到所述第二垫片(2)的下端,使得第一涂唇(3)和所述第二涂唇(4)在所述第二孔处形成第二间隙,所述第一涂唇(3)内设有第二流道(32),所述二分流管路(111)的所有输出端均连通到所述第二流道(32),所述第二流道(32)连通到所述第二间隙,所述第二间隙的下端用于输出液体。

2.根据权利要求1所述的涂布模头,其特征在于,所述二分流管路(111)包括多个三通管(1111),所有的所述三通管(1111)分成若多级的二分流管道,第一级的二分流管道设置一个所述三通管(1111),第一级的所述三通管(1111)的输入端与所述输入管相连,每个所述三通管(1111)具有一个输入端和两个输出端;在相邻的两级二分流管道中,上一级的二分流管道中的三通管(1111)的输出端与下一级的二分流管道的输入端一一对应地连通。

3.根据权利要求2所述的涂布模头,其特征在于,每个所述三通管(1111)的输入端的截面积等于其两个输出端的截面积之和。

4.根据权利要求2所述的涂布模头,其特征在于,除第一级二分流管道之外的所述三通管(1111)的输入端和输出端的朝向相反。

5.根据权利要求1所述的涂布模头,其特征在于,所述模头组件(1)包括第一模头部件(11)和第二模头部件(12),涂布模头还包括第一垫片(5),所述第一垫片(5)的每一条边上均排布有多个安装孔,所述第一模头部件(11)上设有多个第一连接孔,所述第二模头部件(12)上设有多个第二连接孔,所述安装孔、第一连接孔和所述第二连接孔一一对应地连通形成一条锁定通道,所述锁定通道锁定有螺丝,每相邻的所述二分流管路的输出端之间均设有一条锁定通道;

6.根据权利要求1所述的涂布模头,其特征在于,所述第一涂唇(3)内设有第一缓冲腔(31),所述第一缓冲腔(31)设置在所述第二间隙和所述第二流道(32)之间,所述第二流道(32)通过所述第一缓冲腔(31)与所述第二间隙连通。

7.根据权利要求6所述的涂布模头,其特征在于,所述第一涂唇(3)内开设有第二缓冲腔(41),所述第二缓冲腔(41)通过所述第二间隙与所述第一缓冲腔(31)相连通。

8.根据权利要求1所述的涂布模头,其特征在于,所述模头组件(1)包括上下排布的第一模头部件(11)和第二模头部件(12),所述第一模头部件(11)设置在所述第二模头部件(12)的下方,所述第一涂唇(3)和所述第二涂唇(4)均设置在所述第一模头部件(11)的下方,所述二分流管路(111)设置在所述第一模头部件(11)内,所述第二模头部件(12)内设置所述输入管,所述输入管连通到所述二分流管路(111)的输入端。

9.根据权利要求8所述的涂布模头,其特征在于,所述二分流管路(111)沿横向延伸,使得所述二分流管路(111)设置在一个水平面上,所述第一模头部件(11)内设有第一流道(10),所述二分流管路(111)的所有输出端连通到所述第一流道(10)的输入端,所述第一流道(10)的输出端与所述第二流道(32)的输入端相连通。

10.一种涂布设备,其特征在于,包括如权利要求1-13任一项所述的涂布模头。


技术总结
本发明涉及涂布领域,本发明公开了一种涂布模头及涂布设备,其中,涂布模头包括模头组件、第一涂唇、第二涂唇和第二垫片,模头组件上设有输入管,模头组件内开设有二分流管路,输入管连通到二分流管路的输入端,第一涂唇固定在模头组件的下端,第二涂唇固定在模头组件的下端,第一涂唇和第二涂唇左右排布,第二垫片设置在第一涂唇和第二涂唇之间,第一涂唇、第二涂唇和第二垫片固定相连;第二垫片的中部开设有第二孔,第二孔延伸到第二垫片的下端,使得第一涂唇和第二涂唇在第二孔处形成第二间隙,第一涂唇内设有第二流道,二分流管路的所有输出端均连通到第二流道,第二流道连通到第二间隙。此外,涂布设备包括上述的涂布模头。

技术研发人员:杨一新,蔡炜,郭汝海
受保护的技术使用者:季华实验室
技术研发日:
技术公布日:2024/3/4
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1