一种多膜层共用的蚀刻液生产设备的制作方法

本发明涉及蚀刻液生产，具体地涉及一种多膜层共用的蚀刻液生产设备。

背景技术：

1、液晶面板制造是通过溅射法等成膜工艺在玻璃基板上形成多种膜层，比如铜钼合金膜层、igzo膜层、ito膜层等；每种膜层在蚀刻工艺都需要对应的蚀刻液。

2、由于蚀刻液的组成不同，传统生产中，不同膜层的蚀刻液分开在不同搅拌混合釜里生产，这是为了避免蚀刻液的成分干扰。在一个搅拌混合釜生产完成一膜层的蚀刻液后，必需将此搅拌混合釜清洗干净才能生产另一膜层的蚀刻液。传统的用水清洗搅拌混合釜后，人工难以确定是否清洗干净，清洗后还需要晾干的时间，清洗效率低下。

3、搅拌混合釜作为蚀刻液生产设备，企业根据实际的市场需求，会经常变更生产蚀刻液，需要多膜层的蚀刻液共用搅拌混合釜，以提高生产效率，节约成本。这就需要搅拌混合釜能快速地被清洗干净，再投入生产。

4、因此，如何高效率地清洗搅拌混合釜，是本领域亟待解决的一个技术问题。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题，在于提供一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，高效率地清洗搅拌混合釜。

2、本发明是这样实现的：一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，包括：

3、原料输送装置、搅拌混合釜、水洗装置和惰性气体烘干装置；

4、所述原料输送装置包括原料罐、输送泵、输料管、竖直管和第一电控阀门，所述原料罐的底部出口与所述输料管的入口连接，所述输料管的出口与所述输送泵的入口连接，所述输送泵的出口与所述竖直管的下端入口连接，所述竖直管的上端出口与所述搅拌混合釜的顶部入口连接，所述第一电控阀门安装在所述原料罐的底部出口；

5、所述原料输送装置有多个；

6、所述水洗装置包括水源供给组件、输水管、排水管、第二电控阀门、第三电控阀门和电导率仪，所述水源供给组件的出口与所述输水管的入口连接，所述输水管的出口与所述搅拌混合釜的顶部入口连接，所述第二电控阀门安装在所述输水管，所述搅拌混合釜的底部出口与所述排水管的入口连接，所述第三电控阀门、电导率仪都安装在所述排水管；

7、所述惰性气体烘干装置包括惰性气体供给组件、加热器、输气管、排气管、第四电控阀门和第五电控阀门，所述惰性气体供给组件的出口与所述加热器的入口连接，所述加热器的出口与所述输气管的入口连接，所述输气管的出口与所述搅拌混合釜的顶部入口连接，所述搅拌混合釜的顶部出口与所述排气管的入口连接，所述第四电控阀门安装在所述输气管，所述第五电控阀门安装在所述排气管。

8、进一步地，所述水洗装置还包括回收桶，所述排水管的出口与所述回收桶的入口连接。

9、进一步地，所述水洗装置还包括喷洒块，所述喷洒块的底部边缘具有多个圆周间隔分布的喷洒口，所述喷洒块的内部具有空腔，所述空腔与所述喷洒口相通，所述喷洒块安装在所述搅拌混合釜的顶部，所述输水管的出口与所述喷洒块的入水口连接，所述喷洒口对准所述搅拌混合釜的内壁。

10、进一步地，所述水洗装置还包括支座、环形块与密封圈，所述环形块的内圈侧壁具有环槽，所述环形块套住所述喷洒块的顶部并且旋转连接，所述环槽包围所述喷洒块的入水口，所述环形块与所述喷洒块之间安装有所述密封圈，所述喷洒块的中心是通孔，所述搅拌混合釜的搅拌轴穿过所述通孔并且固定连接，所述环形块通过所述支座与所述搅拌混合釜的外表面固定连接，所述喷洒块与所述搅拌混合釜的顶部旋转连接。

11、进一步地，所述惰性气体烘干装置还包括过滤器与干燥器，所述排气管的出口与所述过滤器的入口连接，所述过滤器的出口与所述干燥器的入口连接，所述干燥器的出口与所述惰性气体供给组件的回收口连接。

12、进一步地，还包括工业计算机，所述工业计算机与所述纯水检测仪、输送泵、第一电控阀门、第二电控阀门、第三电控阀门、第四电控阀门、第五电控阀门、加热器电连接。

13、进一步地，所述混合搅拌釜安装有温度传感器，所述温度传感器与所述工业计算机电连接。

14、进一步地，还包括支撑架和称重传感器，所述称重传感器固定设置在所述支撑架，所述反应釜放置在所述称重传感器的检测端，所述称重传感器与所述工业计算机电连接。

15、与背景技术相比，本发明的优点在于：在一膜层的蚀刻液生产完成后，先用水清洗搅拌混合釜，水从排水管流到电导率仪，电导率仪检测水的电导率以确认水的纯度，当水纯度符合要求，说明搅拌混合釜清洗干净，再输入加热后的惰性气体，烘干搅拌混合釜，惰性气体从排气管向外排出，高效率地清洗搅拌混合釜，搅拌混合釜在清洗干净后投入到下一膜层的蚀刻液生产。

技术特征：

1.一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，所述水洗装置还包括回收桶，所述排水管的出口与所述回收桶的入口连接。

3.根据权利要求1所述的一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，所述水洗装置还包括喷洒块，所述喷洒块的底部边缘具有多个圆周间隔分布的喷洒口，所述喷洒块的内部具有空腔，所述空腔与所述喷洒口相通，所述喷洒块安装在所述搅拌混合釜的顶部，所述输水管的出口与所述喷洒块的入水口连接，所述喷洒口对准所述搅拌混合釜的内壁。

4.根据权利要求3所述的一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，所述水洗装置还包括支座、环形块与密封圈，所述环形块的内圈侧壁具有环槽，所述环形块套住所述喷洒块的顶部并且旋转连接，所述环槽包围所述喷洒块的入水口，所述环形块与所述喷洒块之间安装有所述密封圈，所述喷洒块的中心是通孔，所述搅拌混合釜的搅拌轴穿过所述通孔并且固定连接，所述环形块通过所述支座与所述搅拌混合釜的外表面固定连接，所述喷洒块与所述搅拌混合釜的顶部旋转连接。

5.根据权利要求1所述的一种的多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，所述惰性气体烘干装置还包括过滤器与干燥器，所述排气管的出口与所述过滤器的入口连接，所述过滤器的出口与所述干燥器的入口连接，所述干燥器的出口与所述惰性气体供给组件的回收口连接。

6.根据权利要求1所述的一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，还包括工业计算机，所述工业计算机与所述纯水检测仪、输送泵、第一电控阀门、第二电控阀门、第三电控阀门、第四电控阀门、第五电控阀门、加热器电连接。

7.根据权利要求6所述的一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，所述混合搅拌釜安装有温度传感器，所述温度传感器与所述工业计算机电连接。

8.根据权利要求1所述的一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，其特征在于，还包括支撑架和称重传感器，所述称重传感器固定设置在所述支撑架，所述反应釜放置在所述称重传感器的检测端，所述称重传感器与所述工业计算机电连接。

技术总结
本发明涉及蚀刻液生产技术领域，提供一种多膜层共用的蚀刻液生产设备，包括：原料输送装置包括原料罐、输送泵、输料管、竖直管和第一电控阀门；原料输送装置有多个；水洗装置包括水源供给组件、输水管、排水管、第二电控阀门、第三电控阀门和电导率仪；惰性气体烘干装置包括惰性气体供给组件、加热器、输气管、排气管、第四电控阀门和第五电控阀门。本发明的优点在于：在一膜层的蚀刻液生产完成后，先用水清洗搅拌混合釜，水从排水管流到电导率仪，电导率仪检测水的电导率以确认水的纯度，再输入加热后的惰性气体，烘干搅拌混合釜，惰性气体从排气管向外排出，高效率地清洗搅拌混合釜，搅拌混合釜在清洗干净后投入到下一膜层的蚀刻液生产。

技术研发人员：林秋玉,崔文涛,邵振
受保护的技术使用者：福建钰融科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/17