减压干燥装置及减压干燥方法与流程

本发明涉及一种减压干燥装置及减压干燥方法。

背景技术：

1、以往，已知有对涂敷在各种基板上的光致抗蚀剂等涂敷膜进行减压干燥的减压干燥装置。各种基板例如包括用于形成各种器件的玻璃基板、陶瓷基板、半导体晶片、电子器件基板或印刷用的印刷版等各种基板。各种器件例如包括半导体装置、显示面板、太阳能电池面板、磁盘或光盘等。显示面板例如包括液晶显示面板、有机电致发光(el)显示面板、等离子体显示面板或场发射显示器等。

2、当使用减压干燥装置干燥涂敷膜时，例如，在复数个销在腔室内支撑基板的状态下，用真空泵经由腔室底部的排气口从腔室内排气。通过该排气降低腔室内的压力。若腔室内的压力降低，则涂敷膜的溶剂蒸发，所以能够干燥涂敷膜。并且，例如，若真空度达到规定值，则停止从腔室内排气，通过向腔室内供给气体，使腔室内恢复到大气压。气体例如采用氮气等非活性气体或空气等。

3、但是，在减压干燥装置中，若减压初期使腔室内的压力急剧降低，则基板上的涂敷膜可能发生爆沸。若发生爆沸，则可导致诸如涂敷膜的膜厚发生偏差。

4、专利文献1所述的减压干燥装置能够抑制这种爆沸的发生。在专利文献1所述的减压干燥装置中，设有使支撑基板的支撑销升降的升降部。在减压初期，升降部使支撑销上升，从而，缩小基板与腔室顶面之间的间隔。由此，能够使基板与顶面之间的压力的下降速度变小，并抑制爆沸的发生。

5、专利文献1：日本特开2022-086766号公报

6、但是，当基板与顶面的间隔缩小时，来自基板上的涂敷膜的溶剂蒸汽滞留在基板与顶面之间的空间。尤其，来自涂敷膜中央附近的溶剂蒸汽容易滞留。也就是说，虽然来自涂敷膜周缘附近的溶剂蒸汽能够通过浓度扩散在水平方向上向外侧流动，但在涂敷膜中央附近，因为浓度梯度小，所以溶剂蒸汽直接滞留。因此，相较于中央部分，涂敷膜的溶剂更易在周缘部分蒸发。也就是说，会导致涂敷膜的干燥不均。干燥不均例如会引发干燥后的涂敷膜发生膜厚偏差的问题。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，本发明人对冷却上述顶面来使其成为冷却面的技术进行了研究。根据该技术，通过凝聚于冷却面的液态溶剂的作用，能够抑制上述干燥不均。另一方面，本发明人发现，若仅将顶面作为冷却面，则会出现液态溶剂过度蓄积于冷却面这样的新问题。尤其，在工业用途中，通常，需要无较长时间间隔地使减压干燥装置反复动作，其结果，即便一次动作中的蓄积量少，但随着动作的反复，在冷却面上也容易过度蓄积液态溶剂。过度蓄积的液态溶剂在实施减压干燥的过程中会带来不良影响，例如，若其滴落至基板上，则会损害使用该基板的产品的质量。虽然通过充分延长减压条件下的干燥时间，能够去除过度蓄积的液态溶剂，但这样容易导致生产效率的过度降低。

2、本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种既能避免生产效率过度降低，又能避免液态溶剂过度蓄积于冷却部的冷却面的技术。

3、【解决课题的手段】

4、第一方式是一种减压干燥装置，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，具备：腔室，容纳所述基板；支撑部，在所述腔室内支撑所述基板；冷却部，对与所述支撑部所支撑的所述基板的所述上表面相对的冷却面进行冷却；减压机构，从所述腔室内吸引气体，使所述腔室内的压力降低；供气机构，向所述腔室内供给气体，使所述腔室内的压力上升；以及控制部，控制所述供气机构，以在从所述供气机构向处于减压状态的所述腔室内供给规定量的气体之后，从所述供气机构供给使所述腔室内的压力成为大气压的量的气体。

5、第二方式是根据第一方式的减压干燥装置，其中，所述供气机构包括：气体的供气源；第一缓冲部，位于所述腔室与所述供气源之间；第一供气阀，位于所述腔室与所述第一缓冲部之间；以及第二供气阀，位于所述第一缓冲部与所述供气源之间，为了供给所述规定量的气体，所述控制部控制所述供气机构，以使所述第二供气阀保持关闭状态，且所述第一供气阀从关闭状态切换为打开状态。

6、第三方式是根据第二方式的减压干燥装置，其中，所述供气机构包括：第二缓冲部，位于所述第二供气阀与所述供气源之间；以及第三供气阀，位于所述第二缓冲部与所述供气源之间，为了供给所述规定量的气体，所述控制部在控制所述供气机构以使所述第二供气阀保持关闭状态且所述第一供气阀从关闭状态切换为打开状态之后，控制所述供气机构以使所述第二供气阀从关闭状态切换为打开状态。

7、第四方式是根据第一至第三方式中任一方式的减压干燥装置，其中，所述减压机构包括：真空泵；以及至少一个真空阀，位于所述腔室与所述真空泵之间，当供给所述规定量的气体时，所述控制部控制至少一个所述真空阀，以使所述真空泵对所述腔室进行排气。

8、第五方式是根据第一至第三方式中任一方式的减压干燥装置，其中，所述减压机构包括：真空泵；以及至少一个真空阀，位于所述腔室与所述真空泵之间，当供给所述规定量的气体时，所述控制部控制至少一个所述真空阀，以将所述真空泵与所述腔室之间断开。

9、第六方式是根据第五方式的减压干燥装置，其中，在供给所述规定量的气体之后，且从所述供气机构供给使所述腔室内的压力成为大气压的量的气体之前，所述控制部控制至少一个所述真空阀，以使所述真空泵对所述腔室进行排气。

10、第七方式是一种减压干燥方法，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，包括：第一工序，在对与腔室内的支撑部所支撑的所述基板的所述上表面隔开间隔相对的冷却面进行冷却的状态下，通过从所述腔室吸引气体来降低所述腔室内的压力，使溶剂从所述基板上的所述涂敷膜蒸发，并在所述冷却面冷凝；第二工序，在所述第一工序之后，通过向所述腔室内供给规定量的气体来增大所述腔室内的压力，使所述冷却面的溶剂蒸发，来使所述冷却面干燥；以及第三工序，在所述第二工序之后，供给使所述腔室内的压力形成大气压的量的气体。

11、【发明效果】

12、根据上述各方式，第一，在供给可使腔室内的压力变为大气压的量的气体之前，向处于减压状态的腔室内供给气体。由此，能够促进冷凝于冷却部的冷却面的溶剂蒸发。因此，能够避免液态溶剂过度蓄积于冷却部的冷却面。第二，将所供给的气体的量设定为规定量。由此，能够将所供给的气体的量控制为促进上述蒸发所需的充分的量。因此，能够避免因所供给的气体的量过剩而导致生产效率过度降低。综上所述，既能够避免生产效率的过度降低，又能避免液态溶剂过度蓄积于冷却部的冷却面。

技术特征：

1.一种减压干燥装置，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，具备：

2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其中，

3.根据权利要求2所述的减压干燥装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的减压干燥装置，其中，

5.根据权利要求1至3中任一项所述的减压干燥装置，其中，

6.根据权利要求5所述的减压干燥装置，其中，

7.一种减压干燥方法，使涂敷于基板的上表面的涂敷膜干燥，其中，包括：

技术总结
本发明提供一种既能避免过度降低生产效率，又能避免在冷却部的冷却面过度蓄积液态溶剂的减压干燥装置及减压干燥方法。减压干燥装置(1)用于使涂敷于基板(9)的上表面的涂敷膜(90)干燥。腔室(10)容纳基板。支撑部(20)在腔室(10)内支撑基板。冷却部(40)对与支撑部(20)所支撑的基板的上表面相对的冷却面(40a)进行冷却。减压机构(30)从腔室吸引气体，使腔室(10)内的压力降低。供气机构(60)向腔室(10)内供给气体，使腔室(10)内的压力上升。控制部(80)控制供气机构(60)，以在从供气机构(60)向处于减压状态的腔室(10)内供给规定量的气体之后，从供气机构(60)供给使腔室(10)内的压力成为大气压的量的气体。

技术研发人员：安陪裕滋,秋冈知辉
受保护的技术使用者：株式会社斯库林集团
技术研发日：
技术公布日：2024/6/23