嵌入式高低温灌流风机装置的制作方法

本技术属于半导体行业浸入式高低温腔体温度控制执行机构领域，尤其是涉及一种嵌入式高低温灌流风机装置。

背景技术：

1、在记忆电子元件高低温测试作业时，由于记忆电子元件温度必须达到至预设测试温度，方可进行高低温测试工作。由于记忆电子元件测试的特殊性，通常测试数量为128,256甚至更多同时并测，由于数量比较大，无法进行一颗或者多颗预温测试，故使用浸入式腔体进行温度控温测试。在ic封装领域，ic捡置式自动测试分选机是用于检测流水线上生产出的微小的卡类零件(即待检工件)。随着工业发展，ic封测的要求也与之更新，对ic产品所在的环境测试需求也日益明显，故出现了高低温ic捡置式自动测试分选机。在高低温ic捡置式自动测试分选机中多处与ic接触的工位要进行预温，回温测试。现有市场测试主要是使用流道板进行温度控制，无法实现电子元件对多种环境温度要求。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型旨在提出一种嵌入式高低温灌流风机装置，以解决现有测试过程无法满足多种测试工况需求的问题。

2、为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

3、一种嵌入式高低温灌流风机装置，包括风轮温控组件和保温驱动组件，风轮温控组件包括依次首尾固定连接形成矩形框架的后挡风导向板、一号侧固定板、前挡风导向板、二号侧固定板，矩形框架上方固定安装隔温顶板，下方固定安装底部出风板，底部出风板下方安装温度传感器，矩形框架内部安装灌流风轮、翅片加热器、液氮喷管和干燥空气喷管；灌流风轮一端由保温驱动组件驱动，保温驱动组件的电机、翅片加热器、液氮喷管、干燥空气喷管和温度传感器分别信号连接至控制系统。

4、进一步的，所述保温驱动组件包括主动轮、电机固定板、电机、保温隔热密封组件，保温隔热密封组件下方固定连接至隔温顶板，上方固定安装电机固定板，电机固定板一侧安装电机，电机的活动端固定安装主动轮，灌流风轮中部设有灌流风轮轴，灌流风轮轴的一端固定安装从动轮，从动轮外部套接耐高低温传送带；主动轮和从动轮、耐高低温传送带组成传动结构；电机信号连接至控制系统

5、进一步的，所述液氮喷管管路连接至外部液氮源，且管路上安装液氮控制泵，液氮控制泵信号连接至控制系统；干燥空气喷管管路连接至外部干燥空气源，且管路上安装干燥空气泵，干燥空气泵信号连接至控制系统。

6、进一步的，所述二号侧固定板外侧固定安装端盖罩，端盖罩用于罩住从动轮。

7、进一步的，所述一号侧固定板和二号侧固定板之间安装灌流风轮，灌流风轮中心处固定安装灌流风轮轴，灌流风轮轴的两侧分别通过一个耐高低温轴承固定连接至一号侧固定板、二号侧固定板，灌流风轮轴一端固定安装从动轮。

8、进一步的，所述翅片加热器通过翅片加热器固定件固定在隔温顶板下部。

9、进一步的，所述一号侧固定板和二号侧固定板之间还安装液氮喷管干燥空气喷管，液氮喷管、干燥空气喷管均与灌流风轮平行设置。

10、进一步的，所述保温隔热密封组件为xps挤塑保温板。

11、相对于现有技术，本实用新型所述的嵌入式高低温灌流风机装置具有以下优势：

12、(1)本实用新型所述的嵌入式高低温灌流风机装置，根据工况需求，可满足高温测试，低温测试，温度快速回温响应，温度慢速回温响应等多种工况选择。

13、(2)本实用新型所述的嵌入式高低温灌流风机装置，可控制腔体环境温度均匀型，温度控制精度高，保温隔热性能好，避免低温结霜结露，高温热传导；使用温度范围广，可满足-55℃～155℃下工作。

技术特征：

1.嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：包括风轮温控组件和保温驱动组件，风轮温控组件包括依次首尾固定连接形成矩形框架的后挡风导向板、一号侧固定板、前挡风导向板、二号侧固定板，矩形框架上方固定安装隔温顶板，下方固定安装底部出风板，底部出风板下方安装温度传感器，矩形框架内部安装灌流风轮、翅片加热器、液氮喷管和干燥空气喷管；灌流风轮一端由保温驱动组件驱动，保温驱动组件的电机、翅片加热器、液氮喷管、干燥空气喷管和温度传感器分别信号连接至控制系统。

2.根据权利要求1所述的嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：保温驱动组件包括主动轮、电机固定板、电机、保温隔热密封组件，保温隔热密封组件下方固定连接至隔温顶板，上方固定安装电机固定板，电机固定板一侧安装电机，电机的活动端固定安装主动轮，灌流风轮中部设有灌流风轮轴，灌流风轮轴的一端固定安装从动轮，从动轮外部套接耐高低温传送带；主动轮和从动轮、耐高低温传送带组成传动结构；电机信号连接至控制系统。

3.根据权利要求1所述的嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：液氮喷管管路连接至外部液氮源，且管路上安装液氮控制泵，液氮控制泵信号连接至控制系统；干燥空气喷管管路连接至外部干燥空气源，且管路上安装干燥空气泵，干燥空气泵信号连接至控制系统。

4.根据权利要求1所述的嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：二号侧固定板外侧固定安装端盖罩，端盖罩用于罩住从动轮。

5.根据权利要求1所述的嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：一号侧固定板和二号侧固定板之间安装灌流风轮，灌流风轮中心处固定安装灌流风轮轴，灌流风轮轴的两侧分别通过一个耐高低温轴承固定连接至一号侧固定板、二号侧固定板，灌流风轮轴一端固定安装从动轮。

6.根据权利要求1所述的嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：翅片加热器通过翅片加热器固定件固定在隔温顶板下部。

7.根据权利要求1所述的嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：一号侧固定板和二号侧固定板之间还安装液氮喷管干燥空气喷管，液氮喷管、干燥空气喷管均与灌流风轮平行设置。

8.根据权利要求2所述的嵌入式高低温灌流风机装置，其特征在于：保温隔热密封组件为xps挤塑保温板。

技术总结
本技术提供了一种嵌入式高低温灌流风机装置，包括风轮温控组件和保温驱动组件，风轮温控组件包括依次首尾固定连接形成矩形框架的后挡风导向板、一号侧固定板、前挡风导向板、二号侧固定板，矩形框架上方固定安装隔温顶板，下方固定安装底部出风板，底部出风板下方安装温度传感器，矩形框架内部安装灌流风轮、翅片加热器、液氮喷管和干燥空气喷管；灌流风轮一端由保温驱动组件驱动，保温驱动组件的电机、翅片加热器、液氮喷管、干燥空气喷管和温度传感器分别信号连接至控制系统。本技术所述的嵌入式高低温灌流风机装置，根据工况需求，可满足高温测试，低温测试，温度快速回温响应，温度慢速回温响应等多种工况选择。

技术研发人员：杨文宝,贺怀珍,仇葳,任彬,郭义星,陶元真,应志良
受保护的技术使用者：天津金海通半导体设备股份有限公司
技术研发日：20230110
技术公布日：2024/1/12