本技术涉及洁净室气流,涉及一种洁净室干冰气流流型发生装置。
背景技术:
1、洁净室(clean room),亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,容易发生污染敏感零件的情况,降低产品的合格率。
2、而在洁净室中,需要进行空气流动,从而保证各处的颗粒物密度基本相当。而对于现有的洁净室气体流型,洁净室气流形式可以分为单向流或非单向流两种,气流的形态应从该空间洁净度高的一端流向洁净度低的一端,以避免污染风险。
3、洁净室气流形式可以分为单向流或非单向流两种。如果综合利用两种气流,通常叫做混合气流。单向流可以是垂直的或水平的。两种单向流都以最终过滤的送风和回风入口,它们几乎是相对设置,这样才能使气流的流动形式保持尽可能的呈直线状。两种设计都具有一个重要特性,即保证在工艺核心处气流形式尽可能不受到干扰。根据iso14644-3及gmu对洁净室或层流罩需要对气流方向进行评价。
4、现有技术中使用超纯水的超纯喷雾器、使用超声雾化器的di水喷雾器。但是却具有一定的缺点:
5、超纯喷雾器:设备价格非常贵,在使用中约4小时就要加一次液氮,使用的成本高;
6、di水喷雾器:设备价格非常贵,需要有线连电使用,维修需返厂。
技术实现思路
1、有鉴于此,本实用新型提供了一种洁净室干冰气流流型发生装置,成本低,体积小移动方便,发生快速,无污染和残留,结构简单维修简单。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
3、一种洁净室干冰气流流型发生装置,包括发生器主体、设置在所述发生器主体的加热结构、设置在所述发生器主体的输出端且与所述输出端连接的输出管道以及设置在所述输出管道末端的喷雾口,其中,所述发生器主体内放置有干冰和水,所述加热结构用于对所述发生器主体内的干冰和水进行加热,使得所述干冰和水吸热升华后产生的水雾依次通过所述输出端、所述输出管道以及所述喷雾口输出。
4、其中,还包括设置在所述发生器主体的温控器,用于检测以及控制所述发生腔内的温度。
5、其中,还包括设置在所述输出端的轴流风机。
6、其中,所述输出管道包括软管和手柄硬管,所述软管的一端与所述输出端连接,另一端与所述手柄硬管连接,所述手柄硬管的输出口与所述喷雾口连接。
7、其中,还包括设置在所述手柄硬管与所述喷雾口之间的带有分气格的喷雾横杆。
8、其中,还包括设置在所述发生器主体的顶部的上盖以及侧部的进水管道,所述上盖用于干冰的加入,所述上盖与所述发生器主体形成发生腔结构。
9、其中,还包括设置在所述进水管道的逆止阀。
10、其中,还包括设置在所述加热结构侧部的电源结构,用于为所述加热结构、所述轴流风机进行供电。
11、其中,还包括设置在所述发生器主体的内侧壁的保温层。
12、其中,所述加热结构设置在所述发生器主体的底部。
13、相比于现有技术介绍内容,上述洁净室干冰气流流型发生装置具有以下优点:
14、所述洁净室干冰气流流型发生装置,通过采用加热结构对于发生器主体中的冰和水进行加热,使得所述干冰和水吸热升华后产生的水雾通过所述输出端、所述输出管道以及所述喷雾口输出,价格低廉、添加内容物干冰和水,体积小移动方便,发生快速,无污染和残留,结构简单维修简单。
1.一种洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,包括发生器主体、设置在所述发生器主体的加热结构、设置在所述发生器主体的输出端且与所述输出端连接的输出管道以及设置在所述输出管道末端的喷雾口,其中,所述发生器主体内放置有干冰和水,所述加热结构用于对所述发生器主体内的干冰和水进行加热,使得所述干冰和水吸热升华后产生的水雾依次通过所述输出端、所述输出管道以及所述喷雾口输出。
2.如权利要求1所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,还包括设置在所述发生器主体的温控器,用于检测以及控制所述发生器主体内的温度。
3.如权利要求2所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,还包括设置在所述输出端的轴流风机。
4.如权利要求3所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,所述输出管道包括软管和手柄硬管,所述软管的一端与所述输出端连接,另一端与所述手柄硬管连接,所述手柄硬管的输出口与所述喷雾口连接。
5.如权利要求4所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,还包括设置在所述手柄硬管与所述喷雾口之间的带有分气格的喷雾横杆。
6.如权利要求5所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,还包括设置在所述发生器主体的顶部的上盖以及侧部的进水管道,所述上盖用于干冰的加入,所述上盖与所述发生器主体形成发生腔结构。
7.如权利要求6所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,还包括设置在所述进水管道的逆止阀。
8.如权利要求7所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,还包括设置在所述加热结构侧部的电源结构,用于为所述加热结构、所述轴流风机进行供电。
9.如权利要求8所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,还包括设置在所述发生器主体的内侧壁的保温层。
10.如权利要求9所述洁净室干冰气流流型发生装置,其特征在于,所述加热结构设置在所述发生器主体的底部。