一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置的制作方法

文档序号:36019247发布日期:2023-11-17 13:52阅读:46来源:国知局
一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置的制作方法

本技术涉及石英坩埚生产,具体为一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置。


背景技术:

1、石英坩埚主要用于切克拉斯基法单晶硅的拉制,即高温加热多晶硅,使其融化在石英坩埚中,然后采用拉晶机通过抽拉来生长单晶,由于拉制单晶时间较长,石英坩埚通常都是承受长时间的热应力,容易发生变形,从而影响拉晶的结果,为解决坩埚易发生变形的问题,在坩埚内表面喷涂上一层耐高温涂层,能够有效的提高石英坩埚的抗热变形能力,增长坩埚的使用时间,因此在石英坩埚生产出来后需要使用到喷涂装置。

2、目前在对石英坩埚内表面喷涂时,需要先对石英坩埚进行固定,避免喷涂时造成喷歪的情况,接着通过可升降的喷头对石英坩埚内表面进行喷涂,为了能够均匀喷涂,还需要带动固定好的石英坩埚进行转动,但是申请人发现在喷涂前需要先对石英坩埚进行固定,喷涂后还需要人工进行解除固定,影响喷涂效率,为此,我们提出一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置。


技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,包括,安装架和设置在安装架上的涂料输送组件;

3、所述安装架上设置有气缸,且气缸的活塞杆上设置有喷头,所述喷头的外部和底部均匀设置有喷孔;

4、所述喷头的顶部前侧两端均设置有安装杆,且安装杆上均转动设置有滚轮;

5、所述安装架上设置有电机,所述电机的输出端设置有放置板,所述放置板的顶部两侧均滑动连接有夹紧杆,且两组夹紧杆相互远离的一端均设置有与放置板连接的支撑弹簧;

6、两组夹紧杆的顶部均设置有连接杆,且连接杆的顶部设置有连接板,且连接板的底部设置有斜面,所述连接板的斜面位于滚轮的正上方。

7、作为本实用新型所述一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置的一种优选方案,其中:所述涂料输送组件包括设置在安装架上的涂料储罐和输送泵,所述输送泵上连通有与涂料储罐连通的抽取管,所述输送泵上连通有排出管,所述排出管上连通有与喷头连通的软管。

8、作为本实用新型所述一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置的一种优选方案,其中:所述安装架上设置有控制面板。

9、作为本实用新型所述一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置的一种优选方案,其中:所述安装架呈侧u型结构。

10、作为本实用新型所述一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置的一种优选方案,其中:所述控制面板设置在安装架的左侧内壁上,所述气缸设置在安装架的顶部内壁上。

11、作为本实用新型所述一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置的一种优选方案,其中:所述涂料储罐、输送泵和电机均设置在安装架的底部内壁上。

12、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

13、1、在放入石英坩埚之前,喷头上的滚轮高于石英坩埚,进而可以挤压连接板的斜面,使得两侧夹紧杆分别挤压两侧的支撑弹簧,给石英坩埚的放置腾出空间,在喷涂时,喷头向下移动,使得滚轮脱离连接板的斜面,即可在支撑弹簧的弹力下自动固定住石英坩埚,在喷涂完成后,使得喷头向上移动到高于石英坩埚的位置,即可再次撑开两侧夹紧杆,对石英坩埚解除固定,进而在喷涂前不需要人工先对石英坩埚进行固定,喷涂后也不需要人工解除固定,从而能够提高喷涂效率;

14、2、通过设置软管,能够避免影响喷头的升降使用。



技术特征:

1.一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,其特征在于:包括,

2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,其特征在于:所述涂料输送组件包括设置在安装架(1)上的涂料储罐(3)和输送泵(4),所述输送泵(4)上连通有与涂料储罐(3)连通的抽取管(5),所述输送泵(4)上连通有排出管(6),所述排出管(6)上连通有与喷头(9)连通的软管(7)。

3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,其特征在于:所述安装架(1)上设置有控制面板(2)。

4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,其特征在于:所述安装架(1)呈侧u型结构。

5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,其特征在于:所述控制面板(2)设置在安装架(1)的左侧内壁上,所述气缸(8)设置在安装架(1)的顶部内壁上。

6.根据权利要求4所述的一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,其特征在于:所述涂料储罐(3)、输送泵(4)和电机(13)均设置在安装架(1)的底部内壁上。


技术总结
本技术公开了石英坩埚生产技术领域的一种石英坩埚耐高温涂层喷涂装置,包括,安装架和设置在安装架上的涂料输送组件;所述安装架上设置有气缸,且气缸的活塞杆上设置有喷头,所述喷头的外部和底部均匀设置有喷孔;所述喷头的顶部前侧两端均设置有安装杆,且安装杆上均转动设置有滚轮;所述安装架上设置有电机,在喷涂时,喷头向下移动,使得滚轮脱离连接板的斜面,即可在支撑弹簧的弹力下自动固定住石英坩埚,在喷涂完成后,使得喷头向上移动到高于石英坩埚的位置,即可再次撑开两侧夹紧杆,对石英坩埚解除固定,进而在喷涂前不需要人工先对石英坩埚进行固定,喷涂后也不需要人工解除固定,从而能够提高喷涂效率。

技术研发人员:陈宝昌,孙智亮
受保护的技术使用者:江苏华尔盛石英制品有限公司
技术研发日:20230425
技术公布日:2024/1/15
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