一种真空除泡设备的有机挥发物收集装置的制作方法

本技术涉及芯片制造设备，具体涉及一种真空除泡设备的有机挥发物收集装置。

背景技术：

1、真空除泡设备又被称为真空压力烤箱，通过热流与压力配合，去除芯片填充材料中的气泡。主要包括底部填胶，银胶烧结，铟片焊接等；其中胶材中含有大量具有挥发性的有机溶剂，这些挥发物在温度和压力作用下会释放到容器内部，在除泡设备中大量积存，易形成油状物残留，常见的除泡设备中，残留物经常存在于箱门密封圈，舱体内部电加热线圈，排气阀门等部位，造成除泡设备老化、除泡效率降低的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。通过在除泡设备外增加一循环结构，利用冷凝管将溶媒收集于收集罐中，通过收集手阀收集有机挥发物质的溶媒残留，避免有机挥发物沉积在真空除泡设备内部，造成产品污染，或关键部件堵塞。为此，本实用新型的目的在于提出一种真空除泡设备的有机挥发物收集装置。

2、为实现上述目的，本实用新型主要采用以下技术方案：本申请实施例提供一种真空除泡设备的有机挥发物收集装置，所述装置为一循环系统，所述装置中包括：用于真空除泡的除泡舱体；风机，所述风机用于使所述循环系统的空气流动；收集罐，所述收集罐两端通过管线与除泡舱体连接，形成循环系统，所述收集罐内分布有盘管；收集手阀，设置在所述收集罐的底部，用于将所述收集罐内的冷凝物质释放至外部；切换阀，设置于所述收集罐第二端的管线上，用于控制所述循环系统的连通或关闭。

3、优选的，所述收集手阀为隔膜阀。

4、优选的，所述装置中还包括：第一温度探头和第二温度探头，分别设置于所述收集罐两端的管线上，用于测量收集罐第一端和第二端的温差；温度补偿器，用于基于所述第一端和第二端的温差进行温度补偿。

5、优选的，所述收集罐上还包括：进气阀，用于所述盘管进气；安全阀，用于调整所述收集罐的内部压力。

6、优选的，所述收集罐外还设置有加热套，用于加热所述收集罐。

7、优选的，所述收集罐第一端的管线上还包括一隔离阀。

8、优选的，所述风机位于所述除泡舱体中。

9、优选的，所述风机通过所述管线设置于所述收集罐和所述切换阀之间。

10、优选的，所述装置的管线中还包括设置有多孔吸附材料的过滤层。

11、本实用新型提供的有机挥发物收集装置，利用挥发物在低温物体表面的凝结，对挥发物进行收集。

技术特征：

1.一种真空除泡设备的有机挥发物收集装置，所述装置为一循环系统，其特征在于，所述装置中包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述收集手阀为隔膜阀。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述装置中还包括：

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述收集罐上还包括：

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述收集罐外还设置有加热套，用于加热所述收集罐。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述收集罐第一端的管线上还包括一隔离阀。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述风机位于所述除泡舱体中。

8.根据权利要求6所述装置，其特征在于，所述风机通过所述管线设置于所述收集罐和所述切换阀之间。

9.根据权利要求7或8所述装置，其特征在于，所述装置的管线中还包括设置有多孔吸附材料的过滤层。

技术总结
本技术涉及芯片制造设备，公开了一种真空除泡设备的有机挥发物收集装置，所述装置为一循环系统，包括：用于真空除泡的除泡舱体；风机，所述风机用于使所述循环系统的空气流动；收集罐，所述收集罐两端通过管线与除泡舱体连接，形成循环系统，所述收集罐内分布有盘管；收集手阀，设置在所述收集罐的底部，用于将所述收集罐内的冷凝物质释放至外部；切换阀，设置于所述收集罐第二端的管线上，用于控制所述循环系统的连通或关闭。通过在真空除泡设备外设置收集罐收集气体中的有机挥发物，避免有机挥发物沉积在真空除泡设备内部，造成产品污染。

技术研发人员：张景南,陈明展,程翔
受保护的技术使用者：南京屹立芯创半导体科技有限公司
技术研发日：20230523
技术公布日：2024/1/13