一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置的制作方法

本技术涉及半导体，具体为一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置。

背景技术：

1、半导体制造过程中会产生酸碱气体以及其他有机废气，这样的气体排放到空气中会污染空气，危害人体的健康，对于工业废气必须进行净化处理才可以排放，通常，经过高温处理、水处理、冷却处理的气体，在其排放至外界大气前，还需要对气体所含的粉尘过滤，以将该气体中所包含的水分子及粉尘除去。

2、经检索，现公开工业废气处理装置(公开号cn209549104u)，该工业废气处理装置，通过连续的废气处理结构，能对废气中的多种有害物质进行处理，最后进行燃烧，将废气有害降低到最小。废气通过进气管进入到吸收箱体中，废气经过吸收液的清洗，将溶于吸收液的有害物质除去，再到冷凝箱体中，使废气中的有害气体达到凝结点时，进行冷凝，变成冷凝水，被收集，在静电除尘箱体中，当电子奔向正极过程中遇到尘粒，使尘粒带负电吸附到阳极电极板被收集，除去废气中的细小颗粒物，再由第三引风机将废气通过第三连接管吸入到燃烧炉中进行燃烧。

3、然而上述的技术方案中虽然能够起到很好的处理废气里面多种有害物质的作用，但是由于处理后的废气在其排放至外界大气前，还需要对气体所含的粉尘过滤，以将该气体中所包含的水分子及粉尘除去，该装置的静电除尘箱内部除尘结构不便于拆卸和清洗，进而导致废气内部除尘效果不佳，为此我们提供了一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，解决了由于该装置的静电除尘箱内部除尘结构不便于拆卸和清洗，进而导致废气内部除尘效果不佳的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，活动盖，所述活动盖内部设置有滑板，所述滑板的一端滑动连接有滑块，所述滑块的一端活动连接有连接板，所述连接板的下端由左至右等距离分布有若干除尘网。

3、优选的，所述除尘网远离活动盖的一端设置有除尘箱，所述除尘箱的一端连接有第二连通管。

4、优选的，所述第二连通管的一端设置有冷凝箱，所述冷凝箱的一端中部连接有第一连通管。

5、优选的，所述第一连通管的一端设置有供气箱，所述供气箱的内部贯穿连接有进气管。

6、优选的，所述供气箱的一端外部设置有控制面板，所述控制面板远离除尘箱的一端连接有第三连通管。

7、优选的，所述第三连通管的一端连接有燃烧炉，所述燃烧炉的顶端中部设置有原料暂存箱。

8、优选的，所述冷凝箱的内部设置有半导体制冷片，所述半导体制冷片远离冷凝箱的下端设置有冷凝片。

9、优选的，所述第二连通管的内部设置有引风机，所述引风机远离除尘箱的内部设置有阴极电极板。

10、优选的，所述阴极电极板远离除尘箱的内部连接有阳极电极板。

11、本实用新型的工作原理及有益效果为：

12、本实用新型通过当该装置在正常使用过程中需要更换且清洗除尘网时，通过打开活动盖，然后向上拉动连接板，连接板通过滑块与滑板滑动相连接进而向上滑动，连接板在向上滑动的过程中进而带动除尘网向上滑动，直到连接板和除尘网通过滑块与滑板的滑动完全脱离滑板为止，将拆卸下来的除尘网进行清洗处理，将清理处理后的除尘网和连接板通过滑块进而卡入滑板的凹槽即可，进而起到便于拆卸清洗作用的同时还起到提高除尘网除尘效果的作用。

技术特征：

1.一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，包括活动盖(7)，其特征在于：所述活动盖(7)内部设置有滑板(19)，所述滑板(19)的一端滑动连接有滑块(14)，所述滑块(14)的一端活动连接有连接板(16)，所述连接板(16)的下端由左至右等距离分布有若干除尘网(20)。

2.根据权利要求1所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述除尘网(20)远离活动盖(7)的一端设置有除尘箱(10)，所述除尘箱(10)的一端连接有第二连通管(6)。

3.根据权利要求2所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述第二连通管(6)的一端设置有冷凝箱(11)，所述冷凝箱(11)的一端中部连接有第一连通管(4)。

4.根据权利要求3所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述第一连通管(4)的一端设置有供气箱(13)，所述供气箱(13)的内部贯穿连接有进气管(3)。

5.根据权利要求4所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述供气箱(13)的一端外部设置有控制面板(2)，所述控制面板(2)远离除尘箱(10)的一端连接有第三连通管(5)。

6.根据权利要求5所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述第三连通管(5)的一端连接有燃烧炉(12)，所述燃烧炉(12)的顶端中部设置有原料暂存箱(1)。

7.根据权利要求3所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述冷凝箱(11)的内部设置有半导体制冷片(9)，所述半导体制冷片(9)远离冷凝箱(11)的下端设置有冷凝片(8)。

8.根据权利要求2所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述第二连通管(6)的内部设置有引风机(17)，所述引风机(17)远离除尘箱(10)的内部设置有阴极电极板(15)。

9.根据权利要求8所述的一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，其特征在于：所述阴极电极板(15)远离除尘箱(10)的内部连接有阳极电极板(18)。

技术总结
本技术公开了一种可高效处理的半导体车间工业废气收集处理装置，涉及半导体技术领域，活动盖，活动盖内部设置有滑板，滑板的一端滑动连接有滑块，滑块的一端活动连接有连接板，连接板的下端由左至右等距离分布有若干除尘网，除尘网远离活动盖的一端设置有除尘箱，除尘箱的一端连接有第二连通管，第二连通管的一端设置有冷凝箱，冷凝箱的一端中部连接有第一连通管，第一连通管的一端设置有供气箱，供气箱的内部贯穿连接有进气管，供气箱的一端外部设置有控制面板，本技术通过将清理处理后的除尘网和连接板通过滑块进而卡入滑板的凹槽即可，进而起到便于拆卸清洗作用的同时还起到提高除尘网除尘效果的作用。

技术研发人员：卢新,杨智强,方杰敏,彭文峰,伍华丽
受保护的技术使用者：武汉蓝海智控科技有限公司
技术研发日：20230605
技术公布日：2024/1/15