集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置的制作方法

本技术涉及一种集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置。

背景技术：

1、激光切割晶圆之前需要先涂激光切割保护胶，切割完之后再对晶圆进行清洗。目前做法是涂胶工位和清洗工位单独设置作业，涂胶摆臂工位作业于涂胶工位，清洗摆臂工位作业于清洗工位，这样的设计不仅大大增大了设备的空间尺寸，还增加了设备的制造成本，而且降低了晶圆加工车间的利用率，晶圆加工车间的建设成本极高。同时，增加了晶圆搬运的行程，机械手需要从涂胶工位搬运至切割主机，再从切割主机搬运至清洗工位，晶圆在机械手多次搬运至涂胶与清洗工位的过程中，受损的风险也大大增加，晶圆的成本很高，一旦因搬运造成的晶圆损坏则会付出巨大的代价。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置。

2、本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

3、集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，特点：包含伺服电机、支撑杆、水气喷嘴组件和涂胶喷嘴组件，减速机安装板和防水组件安装板均连接于摆臂组件固定板上，减速机固定在减速机安装板上，伺服电机安装在减速机上，其主轴与减速机的输入轴连接，防水组件固定在防水组件安装板上，支撑杆穿过防水组件且旋转自如地支撑于防水组件上，支撑杆的一端与减速机输出轴连接，支撑杆为中空结构，其内具有供水通道，支撑杆上安装水路接头一，支撑杆的另一端连接卡套弯头，卡套弯头连接气管固定块一，支撑杆的供水通道经过卡套弯头的内腔与气管固定块一的内腔相连通，气管固定块一上连接一水路接头二，气管固定块一上固定一摆臂钣金件，水气喷嘴组件和涂胶喷嘴组件固定于摆臂钣金件上，水气喷嘴组件的进水口通过水管连接至水路接头二，进气口通过气管连接至供气单元，涂胶喷嘴组件的进胶口通过管路连接至供胶单元。

4、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，支撑杆上套置一防水盖板，其内孔与支撑杆过盈配合，位于防水组件之上。

5、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，水气喷嘴组件包含喷嘴座以及连接于其上的二流体气水混合喷嘴，喷嘴座上还连接有气单向阀接头和水单向阀接头，气单向阀接头通过气管连接至供气单元，水单向阀接头通过水管连接至水路接头二。

6、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，涂胶喷嘴组件包含涂胶喷嘴底座以及连接于其上的涂胶喷嘴，涂胶喷嘴底座上还连接有胶单向阀接头，胶单向阀接头通过管路连接至供胶单元。

7、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，摆臂组件固定板上安装一光电传感器。

8、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，卡套弯头一端通过螺母与支撑杆相锁接，另一端通过螺母与气管固定块一相锁接。

9、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，摆臂钣金件上固定气管固定块二，气管固定块二上连接清洁载台喷嘴，气管固定块二的进气口通过管路连接至供气单元。

10、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，气管固定块二上设有用于收纳管线的纳置槽。

11、进一步地，上述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其中，水气喷嘴组件和涂胶喷嘴组件的运动轨迹下方布置用于承载晶圆的载台，载台的四周设有真空吸附装置。

12、本实用新型与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：

13、本实用新型装置实现对晶圆涂胶、晶圆清洗及载台清洁等多功能于一体，由伺服电机驱动涂胶喷嘴组件、水气喷嘴组件以及清洁载台喷嘴作往复摆动，涂胶喷嘴组件对晶圆表面进行涂胶，水气喷嘴组件对切割后的晶圆进行清洗，清洁载台喷嘴对放置晶圆的载台进行清洁。将涂胶和清洗集成，不仅减小了设备尺寸，降低了晶圆加工车间的占地空间，而且还大大降低了设备的制造成本；并且减少了晶圆的搬运行程，显著降低晶圆因外力接触而受损的风险。

14、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型具体实施方式了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

技术特征：

1.集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：包含伺服电机(1)、支撑杆(10)、水气喷嘴组件(17)和涂胶喷嘴组件(18)，减速机安装板(3)和防水组件安装板均连接于摆臂组件固定板(7)上，减速机(2)固定在减速机安装板(3)上，伺服电机(1)安装在减速机(2)上，其主轴与减速机(2)的输入轴连接，防水组件(8)固定在防水组件安装板上，支撑杆(10)穿过防水组件(8)且旋转自如地支撑于防水组件(8)上，支撑杆(10)的一端与减速机(2)输出轴连接，支撑杆(10)为中空结构，其内具有供水通道，支撑杆(10)上安装水路接头一(5)，支撑杆(10)的另一端连接卡套弯头(11)，卡套弯头(11)连接气管固定块一(12)，支撑杆(10)的供水通道经过卡套弯头(11)的内腔与气管固定块一(12)的内腔相连通，气管固定块一(12)上连接一水路接头二(13)，气管固定块一(12)上固定一摆臂钣金件(14)，水气喷嘴组件(17)和涂胶喷嘴组件(18)固定于摆臂钣金件(14)上，水气喷嘴组件(17)的进水口通过水管连接至水路接头二(13)，进气口通过气管连接至供气单元，涂胶喷嘴组件(18)的进胶口通过管路连接至供胶单元。

2.根据权利要求1所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：支撑杆(10)上套置一防水盖板(9)，其内孔与支撑杆(10)过盈配合，位于防水组件(8)之上。

3.根据权利要求1所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：水气喷嘴组件(17)包含喷嘴座(172)以及连接于其上的二流体气水混合喷嘴(171)，喷嘴座(172)上还连接有气单向阀接头(173)和水单向阀接头(174)，气单向阀接头(173)通过气管连接至供气单元，水单向阀接头(174)通过水管连接至水路接头二(13)。

4.根据权利要求1所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：涂胶喷嘴组件(18)包含涂胶喷嘴底座(182)以及连接于其上的涂胶喷嘴(181)，涂胶喷嘴底座(182)上还连接有胶单向阀接头(183)，胶单向阀接头(183)通过管路连接至供胶单元。

5.根据权利要求1所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：摆臂组件固定板(7)上安装一光电传感器(6)。

6.根据权利要求1所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：卡套弯头(11)一端通过螺母与支撑杆(10)相锁接，另一端通过螺母与气管固定块一(12)相锁接。

7.根据权利要求1所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：摆臂钣金件(14)上固定气管固定块二(15)，气管固定块二(15)上连接清洁载台喷嘴(16)，气管固定块二(15)的进气口通过管路连接至供气单元。

8.根据权利要求7所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：气管固定块二(15)上设有用于收纳约束管线的纳置槽。

9.根据权利要求1所述的集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，其特征在于：水气喷嘴组件(17)和涂胶喷嘴组件(18)的运动轨迹下方布置用于承载晶圆的载台，载台的四周设有真空吸附装置。

技术总结
本技术涉及集晶圆涂胶与清洗为一体的摆臂装置，减速机安装板和防水组件安装板连接于摆臂组件固定板上，减速机固定在减速机安装板上，伺服电机主轴与减速机输入轴连接，防水组件固定在防水组件安装板上，支撑杆穿过防水组件且旋转支撑于防水组件上，支撑杆一端与减速机输出轴连接，支撑杆为中空结构，支撑杆上安装水路接头一，支撑杆另一端连接卡套弯头，卡套弯头连接气管固定块一，支撑杆供水通道经过卡套弯头的内腔与气管固定块一的内腔相通，气管固定块一上连接一水路接头二，气管固定块一上固定摆臂钣金件，水气喷嘴组件、涂胶喷嘴组件和气管固定块二固定于摆臂钣金件上，清洁载台喷嘴固定于气管固定块二上，对晶圆涂胶与清洗及载台清洁。

技术研发人员：赵裕兴,李京京
受保护的技术使用者：苏州德龙激光股份有限公司
技术研发日：20230727
技术公布日：2024/1/5