用于清理单晶炉的吸尘过滤装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，具体涉及一种用于清理单晶炉的吸尘过滤装置。

背景技术：

1、目前在单晶炉热场拆炉时，需要使用吸尘管来清理单晶炉管道内氧化物及单晶炉中杂物。其中吸尘管一端与吸尘泵入口连接，另一端用来吸尘。吸尘过程中单晶炉管道内的大颗粒氧化物会堵塞吸尘泵入口，使吸力变小。故拆清人员需来回多次对吸尘泵入口处大颗粒氧化物进行清理，降低清理效率，进而耽误合炉时间，影响生产。

2、因此，如何防止吸尘泵入口被大颗粒氧化物和杂物堵塞，提高单晶炉管道内氧化物及单晶炉中杂物清理效率，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种用于清理单晶炉的吸尘过滤装置，以至少部分解决现有技术中存在的技术问题。

2、本实用新型提供以下技术方案：一种用于清理单晶炉的吸尘过滤装置，包括：桶体、桶盖、进尘口管接头、出尘口管接头和过滤网板；所述桶盖可拆卸地盖合在所述桶体的开口处；所述进尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通；所述出尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通；所述过滤网板设置在所述桶体内部空间，所述进尘口管接头和所述出尘口管接头位于所述过滤网板所处平面的两侧；所述过滤网板与所述桶盖之间留有间隙。

3、可选地，所述过滤网板与所述桶盖之间的间隙在3-5mm的范围内。该间隙既能防止大粒径氧化物和杂物进入吸尘泵，又能使小粒径氧化物和杂物被吸尘泵吸走。

4、可选地，所述过滤网板的过滤孔的孔径在4-8mm的范围内。该孔径范围既能防止大粒径氧化物和杂物进入吸尘泵，又能使小粒径氧化物和杂物被吸尘泵吸走，并且提供足够大的吸力。

5、可选地，所述桶体的内周面上设有两个沿竖向延伸的安装槽，所述安装槽在所述桶体的顶表面上形成开口，所述过滤网板插入所述安装槽内。过滤网板沿安装槽的顶部开口直接插入安装槽内，安装过程方便。

6、可选地，所述桶体与所述进尘口管接头的连通位置到所述过滤网板的垂直距离大于所述桶体与所述出尘口管接头的连通位置到所述过滤网板的垂直距离。桶体内较多的空间用于存放大粒径氧化物和杂物。

7、可选地，所述桶体的顶表面上设有沿所述桶体周向延伸的环形的密封槽，所述吸尘过滤装置还包括设置在所述密封槽内的密封圈。密封圈可防止漏气。

8、可选地，所述桶体的顶部沿径向向外延伸而形成多个第一支撑座，所述桶盖的外周边缘沿径向向外延伸而形成多个第二支撑座，所述第一支撑座与所述第二支撑座一一对应，所述第一支撑座上设有竖向贯通的第一开口，所述第二支撑座上设有竖向贯通的第二开口，所述第一开口与所述第二开口相对设置；所述吸尘过滤装置还包括与所述多个第二开口一一对应的多个螺栓，所述螺栓穿过对应的第一开口和第二开口以将所述桶盖固定在所述桶体上。桶盖与桶体开合操作简单，节省时间。

9、可选地，每个所述第一支撑座包括沿所述桶体径向延伸的两个第一凸块，所述两个第一凸块沿所述桶体周向留有间隙；每个所述第二支撑座包括沿所述桶盖径向延伸的两个第二凸块，所述两个第二凸块沿所述桶盖周向留有间隙；所述两个第一凸块之间的间隙与所述两个第二凸块之间的间隙相对，以供对应的螺栓穿过该间隙。

10、可选地，所述桶盖呈拱形。与平面结构的桶盖相比，拱形的桶盖受力面积更大，高温抗变形能力得到提升。

11、可选地，所述进尘口管接头高于所述出尘口管接头。

12、使用时，进尘口管接头通过一段管路连通单晶炉的管道；出尘口管接头通过一段管路连通吸尘泵。单晶炉内的氧化物以及杂物从吸尘过滤装置的进尘口管接头进入桶体内部。经过滤网板过滤后，较小粒径的氧化物以及杂物经过滤网板以及出尘口管接头进入吸尘泵，较大粒径的氧化物以及杂物被拦截在过滤网板朝向进尘口管接头一侧的桶内空间。避免大粒径氧化物和杂物堵塞吸尘泵，提高单晶炉管道的清理效率。过滤网板与桶盖之间留有间隙，可以在过滤网板被堵死的情况下，仍能允许小粒径氧化物和杂物进入吸尘泵，减少人工清理频率。

技术特征：

1.一种用于清理单晶炉的吸尘过滤装置，其特征在于，包括：桶体、桶盖、进尘口管接头、出尘口管接头和过滤网板；所述桶盖可拆卸地盖合在所述桶体的开口处；所述进尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通；所述出尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通；所述过滤网板设置在所述桶体内部空间，所述进尘口管接头和所述出尘口管接头位于所述过滤网板所处平面的两侧；所述过滤网板与所述桶盖之间留有间隙。

2.根据权利要求1所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述过滤网板与所述桶盖之间的间隙在3-5mm的范围内。

3.根据权利要求1所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述过滤网板的过滤孔的孔径在4-8mm的范围内。

4.根据权利要求1所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述桶体的内周面上设有两个沿竖向延伸的安装槽，所述安装槽在所述桶体的顶表面上形成开口，所述过滤网板插入所述安装槽内。

5.根据权利要求4所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述桶体与所述进尘口管接头的连通位置到所述过滤网板的垂直距离大于所述桶体与所述出尘口管接头的连通位置到所述过滤网板的垂直距离。

6.根据权利要求1所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述桶体的顶表面上设有沿所述桶体周向延伸的环形的密封槽，所述吸尘过滤装置还包括设置在所述密封槽内的密封圈。

7.根据权利要求1所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述桶体的顶部沿径向向外延伸而形成多个第一支撑座，所述桶盖的外周边缘沿径向向外延伸而形成多个第二支撑座，所述第一支撑座与所述第二支撑座一一对应，所述第一支撑座上设有竖向贯通的第一开口，所述第二支撑座上设有竖向贯通的第二开口，所述第一开口与所述第二开口相对设置；所述吸尘过滤装置还包括与所述多个第二开口一一对应的多个螺栓，所述螺栓穿过对应的第一开口和第二开口以将所述桶盖固定在所述桶体上。

8.根据权利要求7所述的吸尘过滤装置，其特征在于，每个所述第一支撑座包括沿所述桶体径向延伸的两个第一凸块，所述两个第一凸块沿所述桶体周向留有间隙；每个所述第二支撑座包括沿所述桶盖径向延伸的两个第二凸块，所述两个第二凸块沿所述桶盖周向留有间隙；所述两个第一凸块之间的间隙与所述两个第二凸块之间的间隙相对，以供对应的螺栓穿过该间隙。

9.根据权利要求8所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述桶盖呈拱形。

10.根据权利要求1所述的吸尘过滤装置，其特征在于，所述进尘口管接头高于所述出尘口管接头。

技术总结
本技术公开了一种用于清理单晶炉的吸尘过滤装置，包括：桶体、桶盖、进尘口管接头、出尘口管接头和过滤网板；所述桶盖可拆卸地盖合在所述桶体的开口处；所述进尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通；所述出尘口管接头设置在所述桶体的外周面上且与所述桶体内部空间相通；所述过滤网板设置在所述桶体内部空间，所述进尘口管接头和所述出尘口管接头位于所述过滤网板所处平面的两侧；所述过滤网板与所述桶盖之间留有间隙。该装置能够有效提高单晶炉清理的效率。

技术研发人员：王新强,周涛,张二东,杨政,刘霞
受保护的技术使用者：双良硅材料（包头）有限公司
技术研发日：20230728
技术公布日：2024/1/15