一种板式ALD腔体的清理装置的制作方法

本技术涉及清洁装置，具体为一种板式ald腔体的清理装置。

背景技术：

1、板式ald镀膜设备可用于制造高性能的薄膜，主要用于制造高性能的电子元件，如晶体管、半导体器件、光学元件。它可以制造出非常薄的、精确的、具有良好的绝缘性和导电性的薄膜，可以满足电子元件的高性能要求，镀膜后腔体中会有部分颗粒残留，腔体清洁装置就显得尤为重要。

2、公开号cn209113985u公开了一种板式ald腔体的清理装置，该板式ald腔体的清理装置包括清理框，清理框包括支撑板及阵列分布于支撑板的顶面的若干个清理部，支撑板能够沿板式ald镀膜设备的工艺腔往复移动，清理部与工艺腔的盖板接触以清理盖板。本实用新型提供的板式ald腔体的清理装置通过设置清理框来对板式ald镀膜过程中的工艺腔体进行清理，支撑板的移动带动清理部来回摩擦盖板，从而将盖板上特气孔内附着的粉末清理下来，保持特气孔通畅，使得反应气体能够顺利地进入工艺腔内进行正常的反应，虽然上述公开的技术方案可以实现自动清理工艺腔，节约清理时间，降低人工成本，但是粉尘会吹散到空气中造成污染，且仅能对上方板材进行清理。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种板式ald腔体的清理装置，具备收集粉尘并进行全方位清理优点，解决了粉尘吹散造成污染且仅能清理上板材的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述环保高效清理的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种板式ald腔体的清理装置，包括腔体，所述腔体侧壁中央开设有圆形开孔，所述圆形开孔四周固定连接有传送滑道，所述传送滑道内滑动连接有滑动支架，所述滑动支架中央开有孔洞，所诉孔洞内壁活动连接有滤袋，所述滑动支架靠近腔体圆形开孔一侧固定连接有折叠管道，所述腔体外部环绕圆形开孔设置有更换装置，所述更换装置远离腔体一侧固定连接有动力装置，所述折叠管道一端与滑动支架固定连接，另一端与动力装置靠近腔体一侧固定连接。

5、优选的，所述更换装置包括壳体、转轴、转动门，所述壳体为圆弧形，所述腔体与所述动力装置通过所述壳体固定连接，所述壳体上方活动连接有转轴，所述转轴固定连接有转动门，所述转动门跟随所述转轴运动，所述壳体、转动门材质为具备抗腐蚀性的钛合金，所述转动门沿所述转轴转动后可与壳体卡合形成完整的圆周。

6、优选的，所述转动门侧边开设有限位开口，所述壳体设置有对应的限位块，所述旋转门可以与所述壳体卡合，卡合处设置有密封层，材质为工业橡胶，可以起到密封的作用，同时密封层还可以减缓旋转门与壳体的接触，防止磕碰造成损坏。

7、优选的，所述折叠管道为弹性材质制作的管道，材质为工业橡胶，更换滤袋时收缩折叠到更换装置中，滑动支架沿传送滑道滑向更换装置，折叠管道收缩。

8、优选的，所述折叠管道靠近滑动支架的一端设置有卡扣，所述滑动支架开设有与之对应的卡槽，当折叠管道收缩到更换装置中，取消与滑动支架的卡接，可对滤袋进行更换。

9、优选的，所述动力装置包括电风机、防护板，所述电风机活动连接在动力装置内部，所述防护板固定连接在动力装置两侧，所述电风机为正反转风机，工作电压为500v，所述防护板可以防止误触造成伤害同时可以防止滤袋接触电风机造成破损。

10、优选的，所述动力装置一侧固定安装有电机，所述电机为ac小型标准电动机，工作电压为500v，输出端与所述传送滑道、所述动力装置固定连接，所述电动机为所述动力装置、所述传送滑道提供能源，所述传送滑道中设置有与滑动支架固定连接的轴承，轴承在传送滑道上滑动带动滑动支架滑动。

11、(三)有益效果

12、与现有技术相比，本实用新型提供了一种板式ald腔体的清理装置，具备以下有益效果：

13、1、该板式ald腔体的清理装置，通过电风机顺时针转动时，滤袋在折叠管道外鼓起，气流从滤袋中穿过进入到腔体中，将腔体内壁上的粉尘吹散，使粉尘在腔体中飘动，此时使电风机逆时针转动，滤袋向折叠管道内收缩后鼓起，腔体内粉尘和气流向折叠管道中涌入，气流经过过滤后排出，粉尘停留在滤袋中，在整个过程中，滑动支架在传送滑道上来回滑动，提高气流的接触面积，从而达到了收集粉尘防止污染同时对全方位进行清理的效果。

14、2、该板式ald腔体的清理装置，清洁完毕后，滑动支架沿传送滑道滑动到更换装置中，打开转动门后将折叠管道与滑动支架分离，取下滑动支架上的滤袋，将新的滤袋替换至滑动支架中，将滑动支架与折叠管道卡接，可以实现粉尘的收集与滤袋的更换。

技术特征：

1.一种板式ald腔体的清理装置，包括腔体(1)，其特征在于：所述腔体(1)侧壁中央开设有圆形开孔，所述圆形开孔四周固定连接有传送滑道(2)，所述传送滑道(2)内滑动连接有滑动支架(3)，所述滑动支架(3)中央开有孔洞，所诉孔洞内壁活动连接有滤袋(301)，所述滑动支架(3)靠近腔体(1)圆形开孔一侧固定连接有折叠管道(4)，所述腔体(1)外部环绕圆形开孔设置有更换装置(5)，所述更换装置(5)远离腔体(1)一侧固定连接有动力装置(6)，所述折叠管道(4)一端与滑动支架(3)固定连接，另一端与动力装置(6)靠近腔体(1)一侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种板式ald腔体的清理装置，其特征在于：所述更换装置(5)包括壳体(501)、转轴(502)、转动门(503)，所述壳体(501)为圆弧形，所述腔体(1)与所述动力装置(6)通过所述壳体(501)固定连接，所述壳体(501)上方活动连接有转轴(502)，所述转轴(502)固定连接有转动门(503)，所述转动门(503)跟随所述转轴(502)运动。

3.根据权利要求2所述的一种板式ald腔体的清理装置，其特征在于：所述转动门(503)侧边开设有限位开口，所述壳体(501)设置有对应的限位块。

4.根据权利要求1所述的一种板式ald腔体的清理装置，其特征在于：所述折叠管道(4)为弹性材质制作的管道，更换滤袋(301)时收缩折叠到更换装置(5)中。

5.根据权利要求1所述的一种板式ald腔体的清理装置，其特征在于：所述折叠管道(4)靠近滑动支架(3)的一端设置有卡扣(401)，所述滑动支架(3)开设有与之对应的卡槽(302)。

6.根据权利要求1所述的一种板式ald腔体的清理装置，其特征在于：所述动力装置(6)包括电风机(601)、防护板(602)，所述电风机(601)活动连接在动力装置(6)内部，所述防护板(602)固定连接在动力装置(6)两侧。

7.根据权利要求1所述的一种板式ald腔体的清理装置，其特征在于：所述动力装置(6)一侧固定安装有电机(7)，所述电机(7)输出端与所述传送滑道(2)、所述动力装置(6)固定连接。

技术总结
本技术涉及清洁装置技术领域，且公开了一种板式ALD腔体的清理装置，包括腔体，所述腔体侧壁中央开设有圆形开孔，所述圆形开孔四周固定连接有传送滑道，所述传送滑道内滑动连接有滑动支架，所述滑动支架中央开有孔洞，所诉孔洞内壁活动连接有滤袋，所述滑动支架靠近腔体圆形开孔一侧固定连接有折叠管道，所述腔体外部环绕圆形开孔设置有更换装置，所述更换装置远离腔体一侧固定连接有动力装置，所述折叠管道一端与滑动支架固定连接，另一端与动力装置靠近腔体一侧固定连接，通过以上结构相互配合可以实现收集粉尘并进行全方位清理的目的。

技术研发人员：蒋祥
受保护的技术使用者：昆山集晨智能装备有限公司
技术研发日：20230830
技术公布日：2024/4/17