一种用于半导体零件的表面涂层装置的制作方法

本技术涉及用于半导体零件的表面涂层装置，具体为一种用于半导体零件的表面涂层装置。

背景技术：

1、在半导体技术产业中，常用之半导体制程如化学气相沉积(cvd)、物理气相沉积(pvd)、反应离子蚀刻(rie,reactiveionetching)、面板及自动化设备运用等等，均采用陶瓷层来保护腔体内之金属部件。由于电浆蚀刻是将电磁能量运用在含有化学反应成分的气体(如氟或氯)中进行，电浆会释放带电的离子并撞击晶圆以蚀刻材料，并产生化学反应，多数进行喷涂形成涂层达到保护半导体零件的效果。

2、在中国实用新型专利申请公开说明书cn 218013488 u中公开的一种用于半导体零件的表面涂层装置，虽然通过外置控制器启动电机三，电机三启动后转动并且带动双向丝杆二转动，从而使夹板沿着双向丝杆二移动，从而将半导体零件进行夹持定位处理，但是该设备将半导体零件正反面喷涂，过于繁琐，且效率慢，并且喷涂作业中，高度分散的漆雾和挥发出来的溶剂变成细小颗粒物，很容易被吸进人体肺部危害身体健康。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于半导体零件的表面涂层装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：包括底柱、喷涂箱，所述底板的顶部固定连接有料箱，所述料箱的内壁固定连接有a供料管，所述a供料管的一端固定连接有液泵，所述液泵的一端固定连接有b供料管，所述b供料管的一端固定连接有喷头，所述喷头外侧固定连接有喷涂箱；

5、所述喷涂箱的内底壁固定连接有底柱，所述底柱的内壁固定连接有动力电机，所述动力电机的输出轴固定连接有a轴，所述a轴的顶部固定连接有放置板，所述放置板的内壁固定连接有夹紧电机，所述夹紧电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有移动块，所述移动块的顶部固定连接有夹紧块；

6、所述喷涂箱的内壁固定连接有吸管，所述吸管的一端固定连接有抽风机，所述抽风机的外侧固定连接有净化箱，所述净化箱的内壁固定连接有过滤网，所述净化箱的内壁固定连接有紫光灯，所述净化箱的内壁固定连接有活性炭网，所述净化箱的外侧固定连接有出气口。

7、可选的，所述喷涂箱的一侧固定连接有铰链，所述铰链的外侧固定连接有密封盖，所述密封盖的顶部固定连接有把手。

8、可选的，所述底柱的顶部开设限制槽，所述限制槽的内壁滑动连接有限制块，所述限制块的顶部固定连接有放置板。

9、可选的，所述过滤网的宽与净化箱的内壁宽相等，所述活性炭网的宽与过滤网宽相等，所述紫光灯位于活性炭网和过滤网之间。

10、可选的，所述放置板的顶部开设有槽，所述放置板的槽的宽与移动块的宽相等。

11、可选的，所述底板的顶部固定连接有喷涂箱，所述底板的顶部固定连接有净化箱，所述底板的顶部固定连接有液泵。

12、(三)有益效果

13、本实用新型提供了一种用于半导体零件的表面涂层装置，具备以下有益效果：

14、1、该用于半导体零件的表面涂层装置，通过夹紧块、放置板、限制块、a轴、动力电机、夹紧电机、螺纹杆、移动块、底柱、限制槽设置，一种用于半导体零件的表面涂层装置具备结构简单，效率快，避免了设备将半导体零件正反面喷涂，过于繁琐，且效率慢。

15、2、该用于半导体零件的表面涂层装置，通过出气口、吸管、抽风机、过滤网、紫光灯、活性炭网设置，一种用于半导体零件的表面涂层装置具备能够有害物质净化，避免了喷涂作业中，高度分散的漆雾和挥发出来的溶剂变成细小颗粒物，很容易被吸进人体肺部危害身体健康。

技术特征：

1.一种用于半导体零件的表面涂层装置，包括底柱(26)、喷涂箱(5)和底板(6)，其特征在于：所述底板(6)的顶部固定连接有料箱(3)，所述料箱(3)的内壁固定连接有a供料管(4)，所述a供料管(4)的一端固定连接有液泵(10)，所述液泵(10)的一端固定连接有b供料管(9)，所述b供料管(9)的一端固定连接有喷头(17)，所述喷头(17)外侧固定连接有喷涂箱(5)；

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述喷涂箱(5)的一侧固定连接有铰链(8)，所述铰链(8)的外侧固定连接有密封盖(2)，所述密封盖(2)的顶部固定连接有把手(7)。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述底柱(26)的顶部开设限制槽(27)，所述限制槽(27)的内壁滑动连接有限制块(20)，所述限制块(20)的顶部固定连接有放置板(19)。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述过滤网(14)的宽与净化箱(1)的内壁宽相等，所述活性炭网(16)的宽与过滤网(14)宽相等，所述紫光灯(15)位于活性炭网(16)和过滤网(14)之间。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述放置板(19)的顶部开设有槽，所述放置板(19)的槽的宽与移动块(25)的宽相等。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体零件的表面涂层装置，其特征在于：所述底板(6)的顶部固定连接有喷涂箱(5)，所述底板(6)的顶部固定连接有净化箱(1)，所述底板(6)的顶部固定连接有液泵(10)。

技术总结
本技术公开了一种用于半导体零件的表面涂层装置，涉及用于半导体零件的表面涂层装置技术领域，包括底柱、喷涂箱，所述底板的顶部固定连接有料箱，所述料箱的内壁固定连接有A供料管，通过夹紧块、放置板、限制块、A轴、动力电机、夹紧电机、螺纹杆、移动块、底柱、限制槽设置，一种用于半导体零件的表面涂层装置具备结构简单，效率快，避免了设备将半导体零件正反面喷涂，过于繁琐，且效率慢，通过出气口、吸管、抽风机、过滤网、紫光灯、活性炭网设置，一种用于半导体零件的表面涂层装置具备能够有害物质净化，避免了喷涂作业中，高度分散的漆雾和挥发出来的溶剂变成细小颗粒物，很容易被吸进人体肺部危害身体健康。

技术研发人员：陆灵伶
受保护的技术使用者：上海泛思迈半导体科技有限公司
技术研发日：20230911
技术公布日：2024/7/11