一种LPCVD冷阱装置的制作方法

本技术涉及一种lpcvd冷阱装置。

背景技术：

1、lpcvd设备在生产中会产生很多粉尘，这些分层会对尾气端的真空系统产生污染和堵塞，所以在lpcvd设备的反应室出口端需要增加过滤装置，把产生的粉尘过滤干净。

2、目前常见的前的颗粒过滤器是采用传统的纸质滤芯过滤装置，只存在粗滤和精馏两级滤筒，采用两级颗粒过滤器的使用效果并不理想，气体中存留的颗粒会严重影响真空泵的使用寿命，进而造成成本上升。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种lpcvd冷阱装置，过滤工艺废气体中存留的颗粒以及粉尘。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

3、一种lpcvd冷阱装置，包括罐体、冷却盘管、具有滤出孔的过滤部件，所述的罐体上开设有进气口、出气口，所述的罐体具有相对的两端，所述的罐体的两端中至少一个通过法兰密封，所述的过滤部件设置在所述的罐体内，所述的过滤部件截面呈环形；所述的冷却盘管包括内冷却管、外冷却管以及连接冷却管，所述的连接冷却管与所述的内冷却管一端、外冷却管一端均连通，所述的内冷却管设置在所述的过滤部件的内侧，所述的外冷却管设置在所述的过滤部件的外侧，所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端均延伸至所述的罐体外，所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端中一个用于与冷却介质供送单元连接，另一个为出液端。

4、根据本实用新型的一些实施方面，所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端均穿过位于同一侧的所述的法兰至所述的罐体外。

5、根据本实用新型的一些实施方面，所述的内冷却管的螺距小于所述的外冷却管的螺距。

6、根据本实用新型的一些实施方面，所述的冷却盘管的内冷却管、连接冷却盘管与外冷却管一体成型。

7、根据本实用新型的一些实施方面，所述的过滤部件水平设置在所述的罐体内。

8、根据本实用新型的一些实施方面，所述的过滤部件具有自然状态和工作状态，当处于自然状态，所述的过滤部件呈平面；当处于工作状态，所述的过滤部件呈圆筒形。

9、根据本实用新型的一些实施方面，所述的法兰朝向所述的罐体内的一侧设置有容纳槽，所述的过滤部件一端设置在所述的容纳槽内。

10、根据本实用新型的一些实施方面，所述的法兰与所述的罐体一端通过卡扣卡接。

11、根据本实用新型的一些实施方面，所述的法兰与所述的罐体之间设置有密封圈。

12、根据本实用新型的一些实施方面，所述的罐体的一端设置有密封盖，所述的过滤部件另一端设置在所述的密封盖内，所述的密封盖上开设有与所述的罐体的出气口相贯通的出口。

13、由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

14、本实用新型提供的lpcvd冷阱装置，通过设置冷却盘管和过滤部件，使废气快速凝结在罐体内部，设备在生产工艺中产生的粉尘，通过水冷过滤的方式，使其沉淀在罐体底部和过滤部件上，提高真空泵的使用寿命，降低成本。

技术特征：

1.一种lpcvd冷阱装置，其特征在于，包括罐体、冷却盘管、具有滤出孔的过滤部件，所述的罐体上开设有进气口、出气口，所述的罐体具有相对的两端，所述的罐体的两端中至少一个通过法兰密封，所述的过滤部件设置在所述的罐体内，所述的过滤部件截面呈环形；所述的冷却盘管包括内冷却管、外冷却管以及连接冷却管，所述的连接冷却管与所述的内冷却管一端、外冷却管一端均连通，所述的内冷却管设置在所述的过滤部件的内侧，所述的外冷却管设置在所述的过滤部件的外侧，所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端均延伸至所述的罐体外，所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端中一个用于与冷却介质供送单元连接，另一个为出液端。

2.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的内冷却管另一端、外冷却管另一端均穿过位于同一侧的所述的法兰至所述的罐体外。

3.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的内冷却管的螺距小于所述的外冷却管的螺距。

4.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的冷却盘管的内冷却管、连接冷却盘管与外冷却管一体成型。

5.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的过滤部件水平设置在所述的罐体内。

6.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的过滤部件具有自然状态和工作状态，当处于自然状态，所述的过滤部件呈平面；当处于工作状态，所述的过滤部件呈圆筒形。

7.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的法兰朝向所述的罐体内的一侧设置有容纳槽，所述的过滤部件一端设置在所述的容纳槽内。

8.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的法兰与所述的罐体一端通过卡扣卡接。

9.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的法兰与所述的罐体之间设置有密封圈。

10.根据权利要求1所述的lpcvd冷阱装置，其特征在于，所述的罐体的一端设置有密封盖，所述的过滤部件另一端设置在所述的密封盖内，所述的密封盖上开设有与所述的罐体的出气口相贯通的出口。

技术总结
本技术涉及一种LPCVD冷阱装置，包括罐体、冷却盘管、过滤部件，罐体上开设有进气口、出气口，罐体的两端中至少一个通过法兰密封，过滤部件设置在罐体内，过滤部件截面呈环形；冷却盘管包括内冷却管、外冷却管以及连接冷却管，连接冷却管与内冷却管一端、外冷却管一端均连通，内冷却管设置在过滤部件的内侧，外冷却管设置在过滤部件的外侧，内冷却管另一端、外冷却管另一端均延伸至罐体外，内冷却管另一端、外冷却管另一端中一个用于与冷却介质供送单元连接，另一个为出液端。本技术提供的装置，通过设置冷却盘管和过滤部件，使废气快速凝结在罐体内部，使粉尘沉淀在罐体底部和过滤部件上，提高真空泵的使用寿命，降低成本。

技术研发人员：穆代林,任俊江,薇儿妮卡·夏丽叶,云飞,吴京波,肖益波
受保护的技术使用者：赛姆柯（苏州）智能科技有限公司
技术研发日：20231128
技术公布日：2024/7/4