一种剥离液生产用自动投料装置的制作方法

本发明涉及剥离液生产，具体是一种剥离液生产用自动投料装置。

背景技术：

1、在硅基材料制造工艺中，通常先在二氧化硅、铜等材料表面上铺设形成光阻的涂层，并利用适当的掩膜进行曝光、显影，根据所用光阻的特性，除去曝光或者未曝光部分的光阻，在所要求的部位形成光阻图案，光阻剥离液用于将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光阻除去，它是硅基材料进行光阻化学清洗过程所需的常用化学品。

2、剥离液主液大多由甲苯和苯酚组成，辅液大多为乳化剂，当剥离液应用于不同的光阻图层时，甲苯和苯酚配比会发生变化，而当剥离液主液中甲苯和苯酚配比发生变化时，乳化剂也会随之发生变化，这就需要对剥离液进行实验以确定最佳配比。

3、现有技术中，大多通过人工的方式先将主液投入至实验槽内部，再将辅液投入至实验槽内部，混合后对其进行实验，以确定对光阻涂层的清洗效果，然而这种通过人工投料的方式，需要依次将主液以及不同剂量的辅液投入到实验槽内部，浪费了人力，同时也降低了剥离液的实验效率。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种剥离液生产用自动投料装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种剥离液生产用自动投料装置，包括底座，底座表面固定连接有呈对称分布的侧板，所述底座表面设有多个实验槽，底座上方设有支撑板，支撑板连接有驱动机构，驱动机构用于带动支撑板水平运动，所述支撑板顶部固定连接有第一盛放筒，第一盛放筒连通有第一出液管，第一盛放筒侧面设有呈圆周分布的多个第二盛放筒，第二盛放筒均连通有第二出液管，所述第二盛放筒内部均滑动连接有第二活塞，第二活塞固定连接有支杆，支杆顶部固定连接有梯形块，所述梯形块的斜面朝第一盛放筒设置，并且每个所述梯形块斜面的倾斜角度均不相同，所述第一盛放筒顶部贯穿有转动杆，转动杆连接有第一挤压机构、第二挤压机构以及转动机构，当所述第一出液管以及第二出液管下端移动至实验槽正上方时，转动机构用于带动转动杆转动，使得转动杆通过第一挤压机构将第一盛放筒内部的液体挤压到实验槽内部，以及使得转动杆通过第二挤压机构挤压其中一个梯形块斜面，从而将其中一个所述第二盛放筒内部的液体挤压到实验槽内部。

4、进一步的：所述转动机构包括固定在转动杆顶部的齿轮，所述侧板内侧固定连接有齿板，齿板上设有间隙分布的多组齿牙，多组齿牙分别位于多个实验槽正上方，并且每组所述齿牙均能使齿轮转动一定的角度。

5、进一步的：所述第一挤压机构包括固定在转动杆下端的第一螺纹杆，第一螺纹杆下端螺纹连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒底部固定连接有第一活塞，第一活塞与第一盛放筒内壁滑动连接。

6、进一步的：所述螺纹套筒侧壁上固定连接有呈对称分布的滑块，第一盛放筒内壁上设有呈对称分布的滑槽，两个滑块端部分别位于两个所述滑槽内部并与滑槽滑动连接。

7、进一步的：所述驱动机构包括固定在侧板侧壁上且呈对称分布的电机，电机输出端安装有第二螺纹杆，所述支撑板侧面固定连接有呈对称分布的固定块，第二螺纹杆贯穿固定块并与固定块螺纹连接。

8、进一步的：所述第二挤压机构包括固定在转动杆外部的推杆，所述第一盛放筒顶部固定连接有限位筒，限位筒内部贯穿有呈对称分布的多个推板，推板与梯形块的斜面抵触连接，所述推板表面固定连接有挡块，挡块与限位筒的外壁抵触连接。

9、进一步的：所述第二盛放筒顶部固定连接有固定板，支杆从固定板内部穿过，所述固定板顶部固定连接弹性部件，弹性部件上端与梯形块底部固定连接。

10、与现有技术相比，本发明的有益效果是：能够自动将剥离液主液和辅液投入到实验槽内部，不需要人工投料，节约了人力，同时向不同的实验槽内部投入不同剂量的辅液，从而对不同辅液配比的剥离液同步进行实验，提高了实验效率。

技术特征：

1.一种剥离液生产用自动投料装置，包括底座，底座表面固定连接有呈对称分布的侧板；其特征在于，所述底座表面设有多个实验槽，底座上方设有支撑板，支撑板连接有驱动机构，驱动机构用于带动支撑板水平运动，所述支撑板顶部固定连接有第一盛放筒，第一盛放筒连通有第一出液管，第一盛放筒侧面设有呈圆周分布的多个第二盛放筒，第二盛放筒均连通有第二出液管，所述第二盛放筒内部均滑动连接有第二活塞，第二活塞固定连接有支杆，支杆顶部固定连接有梯形块，所述梯形块的斜面朝第一盛放筒设置，并且每个所述梯形块斜面的倾斜角度均不相同，所述第一盛放筒顶部贯穿有转动杆，转动杆连接有第一挤压机构、第二挤压机构以及转动机构，当所述第一出液管以及第二出液管下端移动至实验槽正上方时，转动机构用于带动转动杆转动，使得转动杆通过第一挤压机构将第一盛放筒内部的液体挤压到实验槽内部，以及使得转动杆通过第二挤压机构挤压其中一个梯形块斜面，从而将其中一个所述第二盛放筒内部的液体挤压到实验槽内部。

2.根据权利要求1所述的一种剥离液生产用自动投料装置，其特征在于，所述转动机构包括固定在转动杆顶部的齿轮，所述侧板内侧固定连接有齿板，齿板上设有间隙分布的多组齿牙，多组齿牙分别位于多个实验槽正上方，并且每组所述齿牙均能使齿轮转动一定的角度。

3.根据权利要求1所述的一种剥离液生产用自动投料装置，其特征在于，所述第一挤压机构包括固定在转动杆下端的第一螺纹杆，第一螺纹杆下端螺纹连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒底部固定连接有第一活塞，第一活塞与第一盛放筒内壁滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种剥离液生产用自动投料装置，其特征在于，所述螺纹套筒侧壁上固定连接有呈对称分布的滑块，第一盛放筒内壁上设有呈对称分布的滑槽，两个滑块端部分别位于两个所述滑槽内部并与滑槽滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种剥离液生产用自动投料装置，其特征在于，所述驱动机构包括固定在侧板侧壁上且呈对称分布的电机，电机输出端安装有第二螺纹杆，所述支撑板侧面固定连接有呈对称分布的固定块，第二螺纹杆贯穿固定块并与固定块螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种剥离液生产用自动投料装置，其特征在于，所述第二挤压机构包括固定在转动杆外部的推杆，所述第一盛放筒顶部固定连接有限位筒，限位筒内部贯穿有呈对称分布的多个推板，推板与梯形块的斜面抵触连接，所述推板表面固定连接有挡块，挡块与限位筒的外壁抵触连接。

7.根据权利要求1或6所述的一种剥离液生产用自动投料装置，其特征在于，所述第二盛放筒顶部固定连接有固定板，支杆从固定板内部穿过，所述固定板顶部固定连接弹性部件，弹性部件上端与梯形块底部固定连接。

技术总结
本发明涉及剥离液生产技术领域，尤其涉及一种剥离液生产用自动投料装置，包括底座，底座表面固定连接有呈对称分布的侧板，所述底座表面设有多个实验槽，底座上方设有支撑板，支撑板顶部固定连接有第一盛放筒，第一盛放筒侧面设有呈圆周分布的多个第二盛放筒，所述第二盛放筒内部均滑动连接有第二活塞，第二活塞固定连接有支杆，支杆顶部固定连接有梯形块，所述梯形块的斜面朝第一盛放筒设置，并且每个所述梯形块斜面的倾斜角度均不相同；本发明能够自动将剥离液主液和辅液投入到实验槽内部，不需要人工投料，节约了人力，同时向不同的实验槽内部投入不同剂量的辅液，从而对不同辅液配比的剥离液同步进行实验，提高了实验效率。

技术研发人员：周文高,谈逸铖,李峰,茅震宇,陈飞翔,张俭
受保护的技术使用者：江苏龙东新材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/6