一种电子级硫酸生产废气处理装置及方法与流程

本发明涉及的一种电子级硫酸生产废气处理装置及方法，特别是涉及应用于废气处理的一种电子级硫酸生产废气处理装置及方法。

背景技术：

1、电子级硫酸是微电子工业中不可或缺的重要化学品，尤其在大规模集成电路（ic）和半导体制造领域扮演着关键角色。它被广泛用于清洗和蚀刻过程，帮助去除晶片和印刷电路板上的杂质。随着中国微电子工业的快速发展，对电子级硫酸的需求也在持续增长，显示出良好的市场前景。

2、为解决废气处理不全面的问题，市场中的某废气处理设备采用实时监测废气成分并分流处理的设计，具有一定的市场占比。

3、中国发明专利cn115624851b说明书公开了一种电子级硫酸生产尾气处理工艺及处理装置。电子级硫酸生产尾气处理装置包括废气罐、氨水储存罐和多个吸收罐；废气罐中的废气和氨水储存罐中的氨水均依次流经多个吸收罐；每个吸收罐内均设置有可上下滑动的喷淋组件，喷淋组件可调节进入的氨水量。该发明的电子级硫酸生产尾气处理工艺先根据每个吸收罐内进入的废气中二氧化硫的含量q确定该吸收罐中氨水的进入量，进而使得每个吸收罐中的氨水与其要脱硫的废气相匹配，从而保证每个吸收罐的工作效率；预设时间后，通过获取吸收罐下部吸收废气后的氨水的ph值h，判断氨水对废气中二氧化硫的吸收效果，并通过调节喷淋组件的高度保证氨水的脱硫效果。

4、现有废气处理设备在废气成分变化时不易进行适应性调整，当废气中有害成分浓度超过废气处理设备的处理能力时，废气处理设备不便进行快速调整，成分变化的废气不易被快速、有效处理。

技术实现思路

1、针对上述现有技术，本发明要解决的技术问题是现有废气处理设备在废气成分变化时不易进行适应性调整，当废气中有害成分浓度超过废气处理设备的处理能力时，废气处理设备不便进行快速调整，成分变化的废气不易被快速、有效处理。

2、为解决上述问题，本发明提供了一种电子级硫酸生产废气处理装置，包括废气输入端，废气输入端上安装有气体检测仪，废气输入端的输出端设有废气吸附罐，废气吸附罐包括处理罐主体，处理罐主体的输入端和输出端分别连接有第一安装环和第二安装环，第二安装环上连接有导气盖，第一安装环上连接有出气管，第一安装环与第二安装环之间插接有多个吸附模块；导气盖上连接有与废气输入端相通的进气管，出气管的一端贯穿第一安装环并延伸至处理罐主体内；

3、吸附模块包括与第一安装环卡接的密封座，密封座上固定连接有净化处理管，净化处理管内填充有废气处理单元，密封座内开设有与净化处理管相通的l型导流通道，密封座的侧端开设有出气口；净化处理管的顶端安装有三通输入座，三通输入座内滑动连接有活动密封块，活动密封块的中部安装有单向阀；

4、第一安装环和第二安装环上均开设有多对与吸附模块匹配的安装孔，成对设置的两个安装孔之间连接有导流管，且出气管与其中一个安装孔通过导流管相通；

5、导气盖内安装有与进气管匹配的分流管，分流管的输出端安装有与安装孔匹配的对接管组，对接管组包括套接在分流管输出端上的活动管，活动管上安装有与单向阀匹配的插管，导气盖上安装有与活动管匹配的电动推杆。

6、在上述电子级硫酸生产废气处理装置中，可以实现废气处理装置的高效、灵活和动态调控，以适应不同种类和浓度的废气处理需求。

7、作为本申请的进一步改进，废气处理单元包括固体吸附剂和紫外光发生装置，固体吸附剂包括活性炭、硅胶、氧化铝、分子筛和天然黏土中的一种或多种的组合。

8、作为本申请的再进一步改进，净化处理管包括长处理管或短处理管的任意一种，长处理管用于安装紫外光发生装置，吸附模块采用长处理管安装时，密封座的出气端位于处理罐主体内；

9、短处理管用于安装固体吸附剂，吸附模块采用短管处理管安装时，密封座的出气端位于第一安装环内并与导流管匹配。

10、作为本申请的更进一步改进，多个吸附模块在废气吸附罐上呈圆周分布，每个安装孔均设置有编号。

11、作为本申请的又一种改进，导流管的开口处滑动连接有与三通输入座侧输出端匹配的活动接头，活动接头内安装有永磁体，导流管上安装有与活动接头匹配的电磁铁环，活动接头和插管上均安装有压力传感器。

12、作为本申请的又一种改进的补充，出气管延伸至处理罐主体内的一端安装有透气柱，透气柱与出气管之间连接有电磁三通阀。

13、作为本申请的再一种改进，还包括废气处理调控系统，废气处理调控系统包括处理终端，处理终端上连接有控制模块、监测模块、数据处理模块、数据储存模块和通信模块；

14、监测模块内设置有气流监测单元和与气体检测仪匹配的气体成分检测单元；控制模块内设置有废气处理控制单元、气流调控单元和吸附模块调控单元；废气处理控制单元用于设置废气吸附罐的工作模式；

15、吸附模块调控单元通过通信模块信号连接有机械臂机器人，废气输入端和废气吸附罐上均安装有与气流调控模块匹配的电磁阀；

16、数据处理模块根据气体检测仪的检测结果评估废气吸附罐对废气中各有害成分的处理能力，并根据废气吸附罐的处理能力设置调控吸附模块的种类和数量比例。

17、作为本申请的再一种改进的补充，废气吸附罐设置有连续吸附模式和整体吸附模式，连续吸附模式时，废气吸附罐内安装的吸附模块均使用长处理管，整体吸附模式时，废气吸附罐内安装的吸附模块均使用短处理管。

18、一种电子级硫酸生产废气处理方法，具体包括以下步骤：

19、a1，废气进行吸附处理前，通过气体检测仪检测气体成分；

20、a2，根据气体成分检测结果评估废气吸附罐的对废气中各有害成分的处理能力；

21、a3，若废气的任一有害成分的浓度超过废气吸附罐的处理能力范围，则对废气吸附罐的吸附模块进行调整，调整时，先根据对检测结果的分析确定废气吸附罐的工作模式，再更换废气吸附罐内的吸附模块以调整废气吸附罐的废气成分处理能力；使废气吸附罐适应废气成分变化；

22、a31，废气吸附罐设置为整体吸附模式时，将多个相同废气去除能力的吸附模块更换至废气吸附罐上，多个吸附模块均与对接管组对接；

23、a32，废气吸附罐设置为连续吸附模式，将安装有多种不同类型废气处理单元的吸附模块按顺序安装在废气吸附罐上，且其中一个吸附模块与一个对接管组对接。

24、作为本申请的又一种改进，废气吸附罐设置为三组，三组废气吸附罐分别用于废气初步吸附处理，废气分流再处理和回流废气处理。

25、综上所述， 本方案可以实现废气处理装置的高效、灵活和动态调控，以适应不同种类和浓度的废气处理需求，通过精确监测废气成分和气流状态，结合吸附模块调控单元和数据处理模块的协同作用，实现废气处理过程的精确控制和优化。

技术特征：

1.一种电子级硫酸生产废气处理装置，包括废气输入端（1），所述废气输入端（1）上安装有气体检测仪，其特征在于：所述废气输入端（1）的输出端设有废气吸附罐（2），所述废气吸附罐（2）包括处理罐主体（21），所述处理罐主体（21）的输入端和输出端分别连接有第二安装环（212）和第一安装环（211），所述第二安装环（212）上连接有导气盖（22），所述第一安装环（211）上连接有出气管（12），所述第一安装环（211）与第二安装环（212）之间插接有多个吸附模块（3）；所述导气盖（22）上连接有与废气输入端（1）相通的进气管（11），所述出气管（12）的一端贯穿第一安装环（211）并延伸至处理罐主体（21）内；

2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产废气处理装置，其特征在于：所述废气处理单元（4）包括固体吸附剂和紫外光发生装置，所述固体吸附剂包括活性炭、硅胶、氧化铝、分子筛和天然黏土中的一种或多种的组合。

3.根据权利要求2所述的一种电子级硫酸生产废气处理装置，其特征在于：所述净化处理管（302）包括长处理管或短处理管的任意一种，所述长处理管用于安装紫外光发生装置，所述吸附模块（3）采用长处理管安装时，所述密封座（301）的出气端位于处理罐主体（21）内；

4.根据权利要求3所述的一种电子级硫酸生产废气处理装置，其特征在于：多个所述吸附模块（3）在废气吸附罐（2）上呈圆周分布，每个所述安装孔均设置有编号。

5.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产废气处理装置，其特征在于：所述导流管的开口处滑动连接有与三通输入座（303）侧输出端匹配的活动接头（6），所述活动接头（6）内安装有永磁体，所述导流管上安装有与活动接头（6）匹配的电磁铁环（7），所述活动接头（6）和插管（502）上均安装有压力传感器。

6.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸生产废气处理装置，其特征在于：所述出气管（12）延伸至处理罐主体（21）内的一端安装有透气柱，所述透气柱与出气管（12）之间连接有电磁三通阀。

7.根据权利要求4所述的一种电子级硫酸生产废气处理装置，其特征在于：还包括废气处理调控系统，所述废气处理调控系统包括处理终端，所述处理终端上连接有控制模块、监测模块、数据处理模块、数据储存模块和通信模块；

8.根据权利要求7所述的一种电子级硫酸生产废气处理装置，其特征在于：所述废气吸附罐（2）设置有连续吸附模式和整体吸附模式，所述连续吸附模式时，废气吸附罐（2）内安装的吸附模块（3）均使用长处理管，所述整体吸附模式时，废气吸附罐（2）内安装的吸附模块（3）均使用短处理管。

9.一种应用于权利要求8所述的电子级硫酸生产废气处理装置的处理方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

10.根据权利要求9所述的一种电子级硫酸生产废气处理方法，其特征在于：所述废气吸附罐（2）设置为三组，三组所述废气吸附罐（2）分别用于废气初步吸附处理，废气分流再处理和回流废气处理。

技术总结
本发明涉及废气处理技术领域的一种电子级硫酸生产废气处理装置及方法，包括废气输入端，废气输入端上安装有气体检测仪，用于实时监测废气成分，废气输入端输出的废气进入由处理罐主体和多个可替换的吸附模块组成的吸附罐，吸附模块通过第一安装环、第二安装环和导气盖与处理罐主体相连，且内部填充有废气处理单元，能够有效吸附和转化有害气体，两个安装环内设置有导流管，能够将废气快速引导至各个吸附模块，导气盖内还安装有分流管和对接管组；实现根据废气成分变化调整吸附罐内吸附模块的种类和数量配比，便于在废气成分变化较大时，根据成分变化调整废气处理设备，方便废气成分变化后仍可对废气中的有害成分被充分处理。

技术研发人员：张晨良,刘海丰
受保护的技术使用者：联仕新材料（苏州）股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/6/23