一种废气分类处理方法、系统、电子设备及存储介质与流程

本申请涉及工业废气处理，具体而言，涉及一种废气分类处理方法、系统、电子设备及存储介质。

背景技术：

1、工业废气是指在工业生产中排出的有毒有害的气体，例如：在集成电路制造过程中，硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等核心工艺环节需要的特种气体种类大约50种，如果将未经处理的特种气体直接排放入大气中，会对环境造成极大的污染。

2、目前，在对工业废气进行处理时，通常是使用一台设备来净化处理多种特种气体。然而，由于废气处理设备需要兼容处理多种特种气体，使得设备不能完全发挥废气处理效能，导致废气无法被完全处理且废气处理效率低的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种废气分类处理方法、系统、电子设备及存储介质，以解决现有废气处理方法中，废气处理不完全及废气处理效率低的问题。

2、第一方面，本申请实施例提供了一种废气分类处理方法，应用于废气分类处理系统的控制器，废气分类处理系统包括进气口气体分析仪、废气前输通道、多个气体净化子系统，每个气体净化子系统包括气体净化装置及双通阀，每个气体净化装置用于净化废气中的一种特种气体，方法包括：

3、根据进气口气体分析仪当前时刻检测到的每种特种气体的检测结果，确定当前时刻下至少一种待净化的目标特种气体；

4、根据气体净化装置与双通阀之间的对应关系，确定目标特种气体对应的目标双通阀；

5、通过控制目标双通阀的开闭，将废气依次输送至不同目标气体净化装置内，以按照不同目标气体净化装置之间的位置关系依次对当前时刻下的每种目标特种气体进行净化处理。

6、可选地，每个气体净化装置通过各自的进气通道及排气通道连接至废气前输通道，目标双通阀包括目标前输通道双通阀及目标进气通道双通阀，目标前输通道双通阀设置在目标气体净化装置的进气通道与排气通道之间的废气前输通道上，目标进气通道双通阀设置在目标气体净化装置的进气通道上，通过控制目标双通阀的开闭，将废气依次输送至不同目标气体净化装置内，包括：关闭目标前输通道双通阀关闭，并开启目标进气通道双通阀，以将废气的输送通道由废气前输通道改为目标气体净化通道，目标气体净化通道由目标特种气体对应的进气通道、排气通道及目标气体净化装置构成。

7、可选地，在确定当前时刻下至少一种待净化的目标特种气体之后，还包括：确定当前时刻的目标特种气体与上一时刻的目标特种气体是否完全相同；若不完全相同，则针对上一时刻中不相同的目标特种气体，开启不相同的目标特种气体对应的目标前输通道双通阀，关闭不相同的目标特种气体对应的目标进气通道双通阀。

8、可选地，根据进气口气体分析仪当前时刻检测到的每种特种气体的检测结果，确定至少一种待净化的目标特种气体，包括：将检测结果中不符合气体排放标准的特种气体作为待净化的目标特种气体。

9、可选地，方法还包括：控制除目标气体净化装置外的其他气体净化装置处于非工作模式，以节约能耗。

10、可选地，废气分类处理系统还包括设置在清扫气体输送通道上的用于产生清扫气体的气源、调压阀及流量计，清扫气体输送通道与废气前输通道、每个气体净化装置对应的进气通道及排气通道相连，方法还包括：通过控制调压阀及流量计，调节经由清扫气体输送通道进入废气前输通道、每个气体净化装置对应的进气通道及排气通道的清扫气体的流量及流速。

11、可选地，目标特种气体包括以下项中的至少一项：强酸腐蚀性特种气体、易燃性特种气体、毒性特种气体、多粉尘特种气体、氢气；强酸腐蚀性特种气体对应的气体净化装置利用水清洗方法净化废气中的强酸腐蚀性特种气体；易燃性特种气体对应的气体净化装置利用高温净化方法净化废气中的易燃性特种气体；毒性特种气体对应的气体净化装置利用吸附剂吸附方法净化废气中的毒性特种气体；多粉尘特种气体对应的气体净化装置利用静电吸附方法净化废气中的多粉尘特种气体；氢气对应的气体净化装置利用氢氧反应方法净化废气中的氢气。

12、第二方面，本申请实施例还提供了一种废气分类处理系统，所述系统包括控制器、进气口气体分析仪、废气前输通道、多个气体净化子系统，每个气体净化子系统包括气体净化装置及双通阀；

13、控制器，用于执行上述的废气分类处理方法；

14、进气口气体分析仪，用于对废气分类处理系统进气口处的废气进行检测，以获取针对每种特种气体的检测结果，并将检测结果发送至控制器；

15、废气前输通道，用于将废气输送至每个气体净化装置内；

16、多个气体净化装置，用于分别针对各自对应的特种气体进行净化处理；

17、每个气体净化装置对应的双通阀，用于改变输送废气的通道，以将废气输送至目标气体净化装置进行净化处理。

18、第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的废气分类处理方法的步骤。

19、第四方面，本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如上述的废气分类处理方法的步骤。

20、本申请实施例带来了以下有益效果：

21、本申请实施例提供的一种废气分类处理方法、系统、电子设备及存储介质，能够通过不同的气体净化装置，对废气中的每种特种气体进行单独净化处理，使得每钟特种气体均能够在最佳的净化环境中被处理，提高了废气处理效率，避免了在一台废气处理设备上同时对多种特种气体进行净化，而带来的废气处理效能无法完全发挥的问题，提升了废气处理效能，与现有技术中的废气处理方法相比，解决了废气处理不完全及废气处理效率低的问题。

22、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种废气分类处理方法，其特征在于，应用于废气分类处理系统的控制器，所述废气分类处理系统包括进气口气体分析仪、废气前输通道、多个气体净化子系统，每个气体净化子系统包括气体净化装置及双通阀，每个气体净化装置用于净化废气中的一种特种气体，方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每个气体净化装置通过各自的进气通道及排气通道连接至所述废气前输通道，所述目标双通阀包括目标前输通道双通阀及目标进气通道双通阀，所述目标前输通道双通阀设置在所述目标气体净化装置的进气通道与排气通道之间的废气前输通道上，所述目标进气通道双通阀设置在所述目标气体净化装置的进气通道上，所述通过控制所述目标双通阀的开闭，将所述废气依次输送至不同目标气体净化装置内，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述确定当前时刻下至少一种待净化的目标特种气体之后，还包括：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述进气口气体分析仪当前时刻检测到的每种特种气体的检测结果，确定至少一种待净化的目标特种气体，包括：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述废气分类处理系统还包括设置在清扫气体输送通道上的用于产生清扫气体的气源、调压阀及流量计，所述清扫气体输送通道与所述废气前输通道、每个气体净化装置对应的进气通道及排气通道相连，所述方法还包括：

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标特种气体包括以下项中的至少一项：

8.一种废气分类处理系统，其特征在于，包括控制器、进气口气体分析仪、废气前输通道、多个气体净化子系统，每个气体净化子系统包括气体净化装置及双通阀；

9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储介质和总线，所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如权利要求1至7中任一项所述的废气分类处理方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至7中任一项所述的废气分类处理方法的步骤。

技术总结
本申请提供了一种废气分类处理方法、系统、电子设备及存储介质，应用于废气分类处理系统的控制器，该方法包括：根据进气口气体分析仪当前时刻检测到的每种特种气体的检测结果，确定当前时刻下至少一种待净化的目标特种气体；根据气体净化装置与双通阀之间的对应关系，确定目标特种气体对应的目标双通阀；通过控制目标双通阀的开闭，将废气依次输送至不同目标气体净化装置内，以按照不同目标气体净化装置之间的位置关系依次对当前时刻下的每种目标特种气体进行净化处理。通过采用上述废气分类处理方法、系统、电子设备及存储介质，解决了现有废气处理方法中，废气处理不完全及废气处理效率低的问题。

技术研发人员：席涛涛,王继飞,李阳
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/12/17