本申请涉及硅粉过滤,尤其涉及一种过滤装置。
背景技术:
1、多晶硅生产中,氯硅烷液体中含有硅粉,为避免输送氯硅烷液体的泵收到损坏,需要使用过滤器对氯硅烷液体进行过滤,以将氯硅烷液体中的硅粉阻挡。
2、硅粉被拦截在过滤器内,随着过滤器运行时间增加,硅粉会将过滤器的滤网堵塞,因此需要将滤网拆出,以将附着在滤网上的硅粉清理干净。
3、相关技术中,将滤网拆出清洗,存在过滤器清洗清理难度大和清洗时间长的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种过滤装置,用以解决将滤网拆出清洗,存在过滤器清洗存在清理难度大和清洗时间长的问题。
2、本申请提供一种过滤装置,包括:
3、第一壳体;
4、第二壳体,设于第一壳体内,且与第一壳体间隔设置;
5、过滤件,设于第二壳体内;
6、超声波换能器,设于第一壳体内,且与第二壳体传动连接。
7、可以理解的是,第一壳体用于对第二壳体、过滤件和超声波换能器进行保护,以延长过滤装置的使用寿命,且可以提高过滤装置的安全性能。第二壳体用于对待过滤液体进行容纳。过滤件用于对待过滤液体内的固态杂质进行过滤。超声波换能器用于将输入至超声波换能器的电功率转换成机械功率,即超声波,后再传递出去,超声波换能器与第二壳体传动连接,可以使得超声波能够传动至第二壳体内,第二壳体内的超声波在液体中产生的空化效应,通过高频振动使第二壳体内的液体中的微小气泡爆炸产生冲击力,以使得过滤件表面的固态杂质脱落至清洗液中,不需要将过滤件拆出清理,可以在简化清理步骤的同时,缩短了清理时间,从而可以降低过滤器装置的清洗难度。
8、在一种可行的实施方式中,还包括:
9、超声波发生器,设于第一壳体,且与超声波换能器导电连接;
10、变幅杆,变幅杆的一端与超声波换能器连接,变幅杆的另一端与第二壳体连接。
11、可以理解的是,超声波发生器用于将电能转换成与超声波换能器相匹配的高频交流电信号。变幅杆用于放大超声波换能器的机械功率,并传递至第二壳体。
12、在一种可行的实施方式中,还包括:
13、支撑件,连接于第二壳体,过滤件通过支撑件连接于第二壳体内。
14、可以理解的是,支撑件用于提高过滤件与第二壳体之间的连接强度,以提高过滤件的连接稳定性,以对过滤装置进行安全保护。
15、在一种可行的实施方式中,第二壳体具有第一开口和第二开口,第一开口和第二开口通过第二壳体连通;
16、第一开口用于外接输入流道,输入流道穿设于第一壳体;
17、第二开口用于外接第一输出流道,第一输出流道穿设于第一壳体。
18、可以理解的是,输入流道用于将待过滤液体输送至第一开口,并经过第一开口后输送至第二壳体的内部,第二开口用于将第二壳体内的固态杂质导出至第一输出流道,以减少第二壳体内的固态杂质的体积,且可以在不打开第二壳体的情况下将第二壳体内的固态杂质导出至第一输出流道,以降低第二壳体的清理难度,且可以缩短第二壳体的清洗时长。
19、在一种可行的实施方式中,第二壳体具有第三开口,第三开口和第一开口通过第二壳体连通;
20、第三开口用于外接第二输出流道;第二输出流道穿设于第一壳体。
21、可以理解的是,第三开口用于将第二壳体内的过滤完成的液体导出至第二输出流道,以使得待过滤液体中的固态杂质和液体分离,从而完成待过滤液体中的固态杂质和液体的分离。
22、在一种可行的实施方式中,沿第一壳体的高度方向,过滤件的最高位置高于第一开口的最高位置设置;
23、沿第一壳体的高度方向,第一开口的最高位置高于第三开口的最高位置设置。
24、可以理解的是,滤网的最高位置高于第一开口的最高位置,可以减少超声波振动过程中,浊液区内的液体或者固态杂质溅射到清液区的发生,从而减少固态杂质进入清液区的发生,以减少固态杂质进入第三开口的发生。第一开口的最高位置高于第三开口的最高位置,可以减少清液区内的液体的体积,从而有利于清液区的液体排出至外界环境。
25、在一种可行的实施方式中,还包括:
26、冲压管,穿设第一壳体,且与第二壳体连通,冲压管用于外接气源;
27、尾气排放管,穿设第一壳体,且与第二壳体连通,尾气排放管用于外接下一工序。
28、可以理解的是,冲压管用于朝向第二壳体喷射气体,以使得气体能够进入第二壳体,并导引至尾气排放管,冲压管朝向第二壳体喷射气体,会导致第二壳体内部的压力增大,从而降低固态杂质经过第一输出流道的输送难度,以提高固态杂质的导出效率。尾气排放管可以将气化后的液体或者喷射气体导出至下一工序,以提高过滤装置的过滤效率。
29、在一种可行的实施方式中,还包括:
30、循环流道,设于第一壳体内,循环流道用于外接冷却介质。
31、可以理解的是,冷却介质沿循环流道的布置方向流动,以对第一壳体进行降温,从而降低过滤装置的表面温度,以延长过滤装置的使用寿命。同时,可以避免超声过程中,第二壳体内的氯硅烷液体气化,导致的第二壳体的内部超压,从而保证超声过程平稳运行。
32、在一种可行的实施方式中,循环流道呈螺旋形环设于第一壳体内;
33、循环流道具有进水口和出水口,沿第一壳体的高度方向,出水口位于进水口的上方。
34、可以理解的是,循环流道呈螺旋形环设于第一壳体内,可以对第一壳体的外周壁进行循环降低,以降低第一壳体的表面温度。超声波换能器设于第一壳体内,第二壳体位于超声波换能器的上方,出水口位于进水口的上方,可以使得循环流道内的水由第一壳体的下方流动至第一壳体的上方,从而降低第一壳体的表面温度。
35、在一种可行的实施方式中,第二壳体具有第一弧形面,过滤件具有第二弧形面,第一弧形面和第二弧形面配合设置。
36、可以理解的是,第一壳体和第二壳体之间通过第一弧形面和第二弧形面连接,可以使得第二壳体中的过滤件随着超声变幅杆沿纵向高频振动,曲率半径有利于减少振动频率的分散程度,也利于超声波向在第二壳体的内部的传递。
1.一种过滤装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种过滤装置,其特征在于,还包括:
3.根据权利要求1所述的一种过滤装置,其特征在于,还包括:
4.根据权利要求1-3中任一项所述的一种过滤装置,其特征在于,所述第二壳体(200)具有第一开口(201)和第二开口(202),所述第一开口(201)和所述第二开口(202)通过所述第二壳体(200)连通;
5.根据权利要求4所述的一种过滤装置,其特征在于,所述第二壳体(200)具有第三开口(205),所述第三开口(205)和所述第一开口(201)通过所述第二壳体(200)连通;
6.根据权利要求5所述的一种过滤装置,其特征在于,沿所述第一壳体(100)的高度方向,所述过滤件(300)的最高位置高于所述第一开口(201)的最高位置设置;
7.根据权利要求1-3中任一项所述的一种过滤装置,其特征在于,还包括:
8.根据权利要求1-3中任一项所述的一种过滤装置,其特征在于,还包括:
9.根据权利要求8所述的一种过滤装置,其特征在于,所述循环流道(800)呈螺旋形环设于所述第一壳体(100)内;
10.根据权利要求1-3中任一项所述的一种过滤装置,其特征在于,所述第二壳体(200)具有第一弧形面(207),所述过滤件(300)具有第二弧形面(301),所述第一弧形面(207)和所述第二弧形面(301)配合设置。