一种外延生长设备MO源过滤装置的制作方法

本技术属于led芯片，具体涉及一种外延生长设备mo源过滤装置。

背景技术：

1、由于mocvd生长过程中，外延生长设备的固态源瓶中颗粒物会随mo源进入mo管道、mfc等器件，导致其内部出现残留物，日积月累下会导致mo source mfc（alkyl flow mfc）达不到设定值而出现性能异常，从而影响到机台正常量产。由于目前未对alkyl flow mfc达不到设定值的情况进行预防，待其发生异常后，必须安排更换，而更换后需要coating、曝气、pm等手法进行复机，且复机较困难，一般需要1-10天，严重影响生产效率。因此，现亟需针对mo源进行过滤和预防处理，避免或减少因出现mo源残留而导致alkyl flow mfc无法达到设定值需要更换及mocvd复机的麻烦。

技术实现思路

1、本实用新型针对背景技术中的不足，提供了一种外延生长设备mo源过滤装置，从源头着手，对大体积颗粒物进行过滤，有效避免mo管道、mfc等器件出现mo源残留而影响alkyl flow mfc性能，减少更换及复机的麻烦。

2、为实现上述目的，本实用新型技术解决方案如下：

3、一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，所述源瓶上连接有进气管和过渡管，所述过渡管与出气管之间连接有过滤器，所述过滤器包括壳体和过滤网，所述过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。

4、优选的，所述过滤网与设在壳体上的插槽配合连接。

5、优选的，所述过滤网与插槽的连接处设有密封垫a。

6、优选的，所述过滤网的数量至少为两个，至少两个过滤网沿过mo源输送方向间隔分布。

7、优选的，所述过滤网包括框架和设于框架内部的网体。

8、优选的，所述过滤器与过滤管、出气管之间均连接有可拆卸的连接头。

9、优选的，所述连接头为可伸缩结构。

10、优选的，所述连接头包括第一接头、第二接头和伸缩管，所述伸缩管连接于第一接头和第二接头之间。

11、优选的，所述第一接头与过滤器的两端插接配合，并通过螺钉锁紧固定，且两者的接头处设有密封垫b。

12、优选的，所述第二接头与过渡管或出气管插接配合，并通过螺钉锁紧固定，且两者的接头处设有密封垫c。

13、相对于现有技术，本实用新型有益效果如下：

14、（1）本实用新型通过增设过滤器，可对大颗粒物进行拦截，避免的mo管道、mfc等器件出现mo源残留而影响alkyl flow mfc性能，有效减少其更换频次和复机的麻烦，从而提高生产效率；

15、（2）本实用新型的过滤网与过滤器壳体可拆卸连接，便于拆卸清洗或维护，使用方便；而且过滤器壳体与过渡管、出气管之间均可自由拆装，大大提高了其实用性能。

技术特征：

1.一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，所述源瓶上连接有进气管和过渡管，所述过渡管与出气管之间连接有过滤器，所述过滤器包括壳体和过滤网，所述过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。

2.如权利要求1所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网与设在壳体上的插槽配合连接。

3.如权利要求2所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网与插槽的连接处设有密封垫a。

4.如权利要求1所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网的数量至少为两个，至少两个过滤网沿过mo源输送方向间隔分布。

5.如权利要求1至4任意一项所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤网包括框架和设于框架内部的网体。

6.如权利要求1所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述过滤器与过滤管、出气管之间均连接有可拆卸的连接头。

7.如权利要求6所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述连接头为可伸缩结构。

8.如权利要求7所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述连接头包括第一接头、第二接头和伸缩管，所述伸缩管连接于第一接头和第二接头之间。

9.如权利要求8所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述第一接头与过滤器的两端插接配合，并通过螺钉锁紧固定，且两者的接头处设有密封垫b。

10.如权利要求8所述的一种外延生长设备mo源过滤装置，其特征在于：所述第二接头与过渡管或出气管插接配合，并通过螺钉锁紧固定，且两者的接头处设有密封垫c。

技术总结
本技术公开了一种外延生长设备MO源过滤装置，包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，源瓶上连接有进气管和过渡管，过渡管与出气管之间连接有过滤器，过滤器包括壳体和过滤网，过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。本技术从源头着手对源瓶中的大颗粒物进行过滤，有效避免或减少MO管道、MFC等器件出现MO源残留而影响Alkyl Flow MFC性能，减少更换及复机的麻烦。本技术的过滤器、过滤网可自由拆装，便于拆卸清洗或维护，使用方便，实用性强。

技术研发人员：徐志军,饶晓松,张成旺,江汉,刘勇,谢陶
受保护的技术使用者：聚灿光电科技（宿迁）有限公司
技术研发日：20240103
技术公布日：2024/11/26