本申请属于污染物处理设备,具体涉及一种流体处理装置。
背景技术:
1、在半导体器件制造过程中,会生产大量包含有害物质的废弃流体,例如废气、废液等,废弃流体需采用流体处理装置净化处理,去除其中绝大部分有害物质,才能够排放到外界。
2、流体处理装置包括多个处理单元,多个处理单元串联或并联连接,废弃流体中有害物质主要在处理单元内去除。多个处理单元串联连接,废弃流体经过多个处理单元多段处理,有害物质去除率更高;多个处理单元并联连接,废弃流体分散到多个处理单元同步处理,流体处理装置工作效率更高。
3、半导体器件制造过程中生产的废弃流体总量及其中有害物质含量存在波动。然而,现有的流体处理装置为多个处理单元串联或并联连接,串联连接与并联连接无法同时存在,即不能根据实际需求切换多个处理单元的连接方式。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种流体处理装置,以解决多个处理器连接方式不能根据实际需求切换的问题。
2、为了达到上述目的,本申请提供了一种流体处理装置,包括:
3、输入单元,所述输入单元用于通入流体;
4、多个处理单元,所述处理单元包括污染处理组件和连接至所述污染处理组件排放端的排放控制器,所述污染处理组件包括污染处理部件,所述污染处理部件用于处理由所述输入单元通入的流体,所述排放控制器包括开启状态和关闭状态,在开启状态,由所述输入单元通入的流体经所述污染处理部件处理后能够通过所述排放控制器排放;
5、所述多个处理单元包括m个第一处理单元和n个第二处理单元,m≥1,n≥1,m+n≥3;
6、所述第一处理单元还包括连接支路和回流支路,所述连接支路包括连接管道和设置在所述连接管道上的第一控制阀,所述回流支路包括回流管道和设置在所述回流管道上的第二控制阀,所述回流管道的一端和所述排放控制器并联连接至所述第一处理单元的所述污染处理组件的所述排放端,所述回流管道的另一端和所述连接管道的一端并联连接形成第一端口,所述连接管道的另一端和所述污染处理组件的输入端并联后形成第二端口;其中,
7、m=1,所述输入单元连接所述第一处理单元的所述第二端口,所述第一处理单元的所述第一端口连接至n个所述第二处理单元的污染处理组件的输入端;或,
8、m>1,所述输入单元并联连接m个所述第一处理单元的所述第二端口,所述第一处理单元的所述第一端口并联后连接n个所述第二处理单元的污染处理组件的输入端;或,
9、m>1,所述输入单元连接第1个所述第一处理单元的所述第二端口,第i个所述第一处理单元的所述第一端口连接第i+1个所述第一处理单元的所述第二端口,其中1≤i<m,第m个所述第一处理单元的所述第一端口并联连接n个所述第二处理单元的污染处理组件的输入端。
10、可选的,所述污染处理组件还包括第三控制阀,所述第三控制阀的输入端为所述污染处理组件的输入端,所述第三控制阀的输出端与所述污染处理部件连接;
11、n≥2,n个所述第二处理单元的所述第三控制阀能够部分开启或全部开启。
12、可选的,所述第一处理单元包括多个所述污染处理组件和至少一个所述排放控制器,多个所述污染处理组件的输出端并联后,连接于并联的所述排放控制器和所述回流管道的所述一端,多个所述污染处理组件的输入端和所述连接管道的所述另一端并联形成所述第二端口。
13、可选的,所述流体处理装置还包括检测单元,所述检测单元用于检测所述排放控制器排放的经所述污染处理部件处理后的流体的成分。
14、可选的,所述流体包括废气,所述污染处理部件包括用于处理废气的洗涤塔。
15、可选的,所述排放控制器包括风机,所述风机包括相对的第一端和第二端,所述风机的第一端与所述洗涤塔的排放端连接,在开启状态,所述风机能够引导废气从所述风机的第一端流向所述风机的第二端。
16、可选的,所述流体处理装置还包括气压传感器,所述气压传感器用于检测所述输入单元内的气压。
17、可选的,所述第一控制阀和所述第二控制阀包括气动比例阀。
18、可选的,所述排放控制器包括开关阀。
19、可选的,所述流体处理装置还包括流速传感器或流量传感器,所述流速传感器用于检测所述输入单元内流体的流速,所述流量传感器用于检测所述输入单元内流体的流量。
20、本申请公开的流体处理装置具有以下有益效果:
21、本申请中,流体处理装置包括输入单元和多个处理单元,第一处理单元和第二处理单元均包括相连接的污染处理组件和排放控制器,第一处理单元还包括连接支路和回流支路,连接支路包括连接管道和设置在连接管道上的第一控制阀,回流支路包括回流管道和设置在回流管道上的第二控制阀,输入单元与第一处理单元的污染处理组件的输入端连接,连接管道的输入端连接输入单元,回流管道连接第一处理单元的污染处理组件的排放端和连接管道的排放端。通过控制第一控制阀、第二控制阀和排放控制器可实现并联模式、串联模式和串并联混合模式,解决了多个污染处理组件的连接方式不能根据实际需求切换的问题。
22、本申请的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然,或部分地通过本申请的实践而习得。
23、应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本公开。
1.一种流体处理装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的流体处理装置,其特征在于,所述污染处理组件还包括第三控制阀,所述第三控制阀的输入端为所述污染处理组件的输入端,所述第三控制阀的输出端与所述污染处理部件连接;
3.根据权利要求1所述的流体处理装置,其特征在于,所述第一处理单元包括多个所述污染处理组件和至少一个所述排放控制器,多个所述污染处理组件的输出端并联后,连接于并联的所述排放控制器和所述回流管道的所述一端,多个所述污染处理组件的输入端和所述连接管道的所述另一端并联形成所述第二端口。
4.根据权利要求1所述的流体处理装置,其特征在于,所述流体处理装置还包括检测单元,所述检测单元用于检测所述排放控制器排放的经所述污染处理部件处理后的流体的成分。
5.根据权利要求1所述的流体处理装置,其特征在于,所述流体包括废气,所述污染处理部件包括用于处理废气的洗涤塔。
6.根据权利要求5所述的流体处理装置,其特征在于,所述排放控制器包括风机,所述风机包括相对的第一端和第二端,所述风机的第一端与所述洗涤塔的排放端连接,在开启状态,所述风机能够引导废气从所述风机的第一端流向所述风机的第二端。
7.根据权利要求6所述的流体处理装置,其特征在于,所述流体处理装置还包括气压传感器,所述气压传感器用于检测所述输入单元内的气压。
8.根据权利要求1所述的流体处理装置,其特征在于,所述第一控制阀和所述第二控制阀包括气动比例阀。
9.根据权利要求1所述的流体处理装置,其特征在于,所述排放控制器包括开关阀。
10.根据权利要求9所述的流体处理装置,其特征在于,所述流体处理装置还包括流速传感器或流量传感器,所述流速传感器用于检测所述输入单元内流体的流速,所述流量传感器用于检测所述输入单元内流体的流量。