噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置的制作方法

本技术属于分离装置，具体涉及一种噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置。

背景技术：

1、电子级硫化氢在电子工业领域发挥着不可或缺的作用，在半导体制造中，电子级硫化氢常用于n型半导体的掺杂工艺，在cvd工艺中，电子级硫化氢作为一种重要的硫源气体，广泛应用于制备各种硫化物薄膜材料，在制备气体传感器时，常利用电子级硫化氢与传感器敏感材料之间的特定化学反应或物理吸附作用，来实现对特定气体的高灵敏度检测。

2、在噻吩生产过程中，会产生大量硫化氢气体，理论上每产出一吨噻吩产品，便会产生0.4~0.7吨硫化氢气体，但这些硫化氢气体不会单独存在，而是与噻吩生产过程中产生的其他废气成分混合在一起，形成噻吩生产废气。对于噻吩生产企业而言，需要投入大量资金处理噻吩生产废气，若能够将噻吩生产废气转化利用，不仅能够节省噻吩生产废气处理成本，还可以为电子级硫化氢的制备提供原料。但噻吩生产废气的成分复杂，还包含co2、co、s、焦油、灰分等杂质，无法直接作为化工原料投入使用，唯有经过纯化处理，使其质量达标后才可利用。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，能够对噻吩生产废气进行净化处理，使其转化为电子级硫化氢，减少了噻吩生产废气的净化处理成本，同时降低了电子级硫化氢生产过程中的原料投入。

2、为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

3、所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，包括进气管，进气管一端连接有有机净化洗涤塔，有机净化洗涤塔顶部设置有出气管一，出气管一远离有机净化洗涤塔的一端连接有无机净化洗涤塔，无机净化洗涤塔顶部设置有出气管二，出气管二远离无机净化洗涤塔的一端依次连接有除雾器、分子筛吸附器、模压机、冷凝器和硫化氢液化器，硫化氢液化器底部设置有排液管，排液管远离硫化氢液化器的一端连接有精馏塔，精馏塔顶部设置有出气管三。

4、其中：

5、所述的有机净化洗涤塔远离进气管的一侧配合设置有循环管路一。

6、所述的循环管路一一端连通有机净化洗涤塔侧壁下部，循环管路一另一端贯穿有机净化洗涤塔侧壁上部连接有喷淋头一。

7、所述的循环管路一上设置有循环泵一。

8、所述的无机净化洗涤塔远离有机净化洗涤塔的一侧配合设置有循环管路二。

9、所述的循环管路二一端连接无机净化洗涤塔侧壁下部，循环管路二另一端贯穿无机净化洗涤塔侧壁上部连接有喷淋头二。

10、所述的循环管路二上设置有循环泵二。

11、所述的硫化氢液化器顶部设置有排气管。

12、所述的排气管远离硫化氢液化器的一端连接有气体处理单元。

13、所述的排液管远离硫化氢液化器的一端连通精馏塔侧壁下部。

14、本实用新型的有益效果为：

15、有机净化洗涤塔和无机净化洗涤塔能够脱除噻吩生产废气中的杂质，对噻吩生产废气进行连续的净化；除雾器和分子筛吸附器能够降低噻吩生产废气中的水分含量；模压机、冷凝器和硫化氢液化器能够使噻吩生产废气中的硫化氢液化；精馏塔能够对液化后的硫化氢精馏提纯；本装置能够从噻吩生产废气中提取电子级硫化氢，减少了噻吩生产废气处理的成本，同时为电子级硫化氢的生产提供稳定且相对廉价的原料来源，降低了电子级硫化氢生产过程中的原料投入。

技术特征：

1.一种噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，包括进气管（1），其特征在于，进气管（1）一端连接有有机净化洗涤塔（2），有机净化洗涤塔（2）顶部设置有出气管一（3），出气管一（3）远离有机净化洗涤塔（2）的一端连接有无机净化洗涤塔（4），无机净化洗涤塔（4）顶部设置有出气管二（5），出气管二（5）远离无机净化洗涤塔（4）的一端依次连接有除雾器（6）、分子筛吸附器（7）、模压机（8）、冷凝器（9）和硫化氢液化器（10），硫化氢液化器（10）底部设置有排液管（21），排液管（21）远离硫化氢液化器（10）的一端连接有精馏塔（11），精馏塔（11）顶部设置有出气管三（12）。

2.根据权利要求1所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，有机净化洗涤塔（2）远离进气管（1）的一侧配合设置有循环管路一（13）。

3.根据权利要求2所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，循环管路一（13）一端连通有机净化洗涤塔（2）侧壁下部，循环管路一（13）另一端贯穿有机净化洗涤塔（2）侧壁上部连接有喷淋头一（14）。

4.根据权利要求3所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，循环管路一（13）上设置有循环泵一（15）。

5.根据权利要求1所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，无机净化洗涤塔（4）远离有机净化洗涤塔（2）的一侧配合设置有循环管路二（16）。

6.根据权利要求5所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，循环管路二（16）一端连接无机净化洗涤塔（4）侧壁下部，循环管路二（16）另一端贯穿无机净化洗涤塔（4）侧壁上部连接有喷淋头二（17）。

7.根据权利要求6所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，循环管路二（16）上设置有循环泵二（18）。

8.根据权利要求1所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，硫化氢液化器（10）顶部设置有排气管（19）。

9.根据权利要求8所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，排气管（19）远离硫化氢液化器（10）的一端连接有气体处理单元（20）。

10.根据权利要求1所述的噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，其特征在于，排液管（21）远离硫化氢液化器（10）的一端连通精馏塔（11）侧壁下部。

技术总结
本技术属于分离装置技术领域，具体涉及一种噻吩生产废气制备电子级硫化氢的装置，包括进气管，进气管一端连接有有机净化洗涤塔，有机净化洗涤塔顶部设置有出气管一，出气管一远离有机净化洗涤塔的一端连接有无机净化洗涤塔，无机净化洗涤塔顶部设置有出气管二，出气管二远离无机净化洗涤塔的一端依次连接有除雾器、分子筛吸附器、模压机、冷凝器和硫化氢液化器，硫化氢液化器底部设置有排液管，排液管远离硫化氢液化器的一端连接有精馏塔，精馏塔顶部设置有出气管三。本装置能够对噻吩生产废气进行净化处理，使其转化为电子级硫化氢，减少了噻吩生产废气的净化处理成本，降低了电子级硫化氢生产过程中的原料投入。

技术研发人员：韩婧,鲍兴亮,刘名,马晓妮,韩志国
受保护的技术使用者：淄博腾煜化工工程有限公司
技术研发日：20250124
技术公布日：2025/3/6