一种化学液混合装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及化学清洗技术领域，尤其涉及一种化学液混合装置。
【背景技术】
[0002]在半导体工艺清洗设备中，针对化学液回收的情况，在工艺过程中，有一部分化学液不经过工艺腔室而直接回到储液罐中，另一部分化学液做完工艺之后需要回收到储液罐中，而不是直接排掉。当化学液到达一定的寿命时间之后，就把化学液整体排掉，然后再重新补充新鲜的化学液，对化学液进行温度处理和循环之后再开始下一轮的工艺过程。
[0003]针对回收后的化学液粘度相对工艺之前有所增加，为了确保在一定的时间内正常完成工艺，需要在工艺过程中补充因挥发而造成的水分丢失。目前采取的解决方案是在工艺过程中定时定量补充超纯水，但是存在的问题是补充后的水都浮在储液罐内的化学液上表面，原因是化学液本身粘度比较大，超纯水很难混合在化学液中，经过比较长一段时间，可以很明显发现补充后的超纯水大多都浮在化学液表面上，从而造成储液罐内的化学液在工艺过程中并不是处于相对均匀的状态。不能够将三种液体进行均匀的混合，因此缩短了化学液的使用寿命。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种化学液混合装置。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案:
[0006]一种化学液混合装置，其特征在于:包括化学液储罐，在化学液储罐的上侧连接一个注入管、下侧连接一个输出管，在所述注入管上连接一个控制阀门，在所述输出管上连接一个输出泵，所述化学液储罐通过第二输入管连接化学液混合罐，设置在所述化学液混合罐的第二输入管为第二螺旋管，在所述化学液储罐内还设有一个螺旋出气管，所述螺旋出气管连接气源，在螺旋出气管的侧壁上设有一组出气孔，所述化学液混合罐分别连接化学液返回管和化学液回收管，所述化学液混合罐还通过第一输入管连接从补充液缓冲罐，设置在所述补充液缓冲罐的第一输入管为第一螺旋管，在所述第二输入管和第一输入管上均连接一个输出泵，在所述第一螺旋管和第二螺旋管的末端均封堵且在管壁上均设有一组开孔。
[0007]优选地，所述螺旋出气管设置在第二螺旋管的螺旋内。
[0008]优选地，所述化学液储罐的侧面连接一组用于感测化学液的液位传感器。
[0009]优选地，所述液位传感器连接在所述化学液储罐的同一侧面，且任意上、下相邻的两个液位传感器之间的距离相等。
[0010]优选地，所述化学液混合罐的侧面连接一组用于感测化学液的液位传感器。
[0011]优选地，所述液位传感器连接在所述化学液混合罐的同一侧面，且任意上、下相邻的两个液位传感器之间的距离相等。
[0012]优选地，所述化学液返回管和化学液回收管的出液口均设置在所述化学液混合罐内的底部，
[0013]本实用新型的优点在于:本化学液混合装置结构简单，使用方便，成本低，可以有效解决现有半导体工艺设备中存在的补液不均匀问题，它混料均匀，混料速度快。
【附图说明】
[0014]图1是本实用新型的基本结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0016]如图1所示，本实用新型提供的一种化学液混合装置，其特征在于:包括化学液储罐1，在化学液储罐I的上侧连接一个注入管3、下侧连接一个输出管6，在所述注入管3上连接一个控制阀门4，在所述输出管6上连接一个输出泵7，所述化学液储罐I通过第二输入管8连接化学液混合罐2，设置在所述化学液混合罐2的第二输入管8为第二螺旋管8.1，在所述化学液储罐I内还设有一个螺旋出气管5，所述螺旋出气管5连接气源12，在螺旋出气管5的侧壁上设有一组出气孔，所述螺旋出气管5设置在第二螺旋管8.1的螺旋内。
[0017]所述化学液混合罐2分别连接化学液返回管10和化学液回收管11，所述化学液返回管10和化学液回收管11的出液口均设置在所述化学液混合罐2内的底部，所述化学液混合罐2还通过第一输入管13连接从补充液缓冲罐9，设置在所述补充液缓冲罐17的第一输入管13为第一螺旋管13.1，在所述第二输入管8和第一输入管13上均连接一个输出泵7，在所述第一螺旋管13.1和第二螺旋管8.1的末端均封堵且在管壁上均设有一组开孔。
[0018]在化学液储罐I和化学液混合罐2的侧面均连接三个用于感测化学液的液位传感器14，所述液位传感器14对应连接在所述化学液储罐I和化学液混合罐2的同一侧面，且任意上、下相邻的两个液位传感器14之间的距离相等。
[0019]作业时首先打开控制阀门4，向化学液存储容器I中注入化学液，直到它上的液位传感器14感测到化学液，然后关闭控制阀门4。此时运转输出泵7将化学液输送到相应的工艺单元，化学返回液和化学回收液分别由化学液返回管10和化学液回收管11流入化学液混合罐2中，同时补充液由第一输入管13经过第一输入管13导入化学液混合罐2中，由于第一输入管13的出液侧为螺旋状的第一螺旋管13.1，在补充液进入化学液混合罐2中时可对化学液进行初步的混合，将所述初步混合后的液体经过第二输入管8上的输出泵7将化学液混合罐2中的液体泵入化学液储罐I中，由于第一螺旋管13.1的螺旋状和在化学液储罐I通入气体可将化学液完全充分的混合。
【主权项】
1.一种化学液混合装置，其特征在于:包括化学液储罐(I)，在化学液储罐(I)的上侧连接一个注入管(3)、下侧连接一个输出管(6)，在所述注入管(3)上连接一个控制阀门(4)，在所述输出管(6)上连接一个输出泵(7)，所述化学液储罐(I)通过第二输入管(8)连接化学液混合罐(2)，设置在所述化学液混合罐(2)的第二输入管(8)为第二螺旋管(8.1)，在所述化学液储罐(I)内还设有一个螺旋出气管(5)，所述螺旋出气管(5)连接气源(12)，在螺旋出气管(5)的侧壁上设有一组出气孔，所述化学液混合罐(2)分别连接化学液返回管(10)和化学液回收管(11)，所述化学液混合罐(2)还通过第一输入管(13)连接从补充液缓冲罐(9)，设置在所述补充液缓冲罐(17)的第一输入管(13)为第一螺旋管(13.1)，在所述第二输入管(8)和第一输入管(13)上均连接一个输出泵(7)，在所述第一螺旋管(13.1)和第二螺旋管(8.1)的末端均封堵且在管壁上均设有一组开孔。
2.根据权利要求1所述的一种化学液混合装置，其特征在于:所述螺旋出气管(5)设置在第二螺旋管(8.1)的螺旋内。
3.根据权利要求1或2所述的一种化学液混合装置，其特征在于:所述化学液储罐(I)的侧面连接一组用于感测化学液的液位传感器(14)。
4.根据权利要求3所述的一种化学液混合装置，其特征在于:所述液位传感器(14)连接在所述化学液储罐(I)的同一侧面，且任意上、下相邻的两个液位传感器(14)之间的距离相等。
5.根据权利要求1或2所述的一种化学液混合装置，其特征在于:所述化学液混合罐(2)的侧面连接一组用于感测化学液的液位传感器(14)。
6.根据权利要求5所述的一种化学液混合装置，其特征在于:所述液位传感器(14)连接在所述化学液混合罐(2)的同一侧面，且任意上、下相邻的两个液位传感器(14)之间的距离相等。
7.根据权利要求1、2、4或6所述的一种化学液混合装置，其特征在于:所述化学液返回管(10)和化学液回收管(11)的出液口均设置在所述化学液混合罐(2)内的底部。
【专利摘要】本实用新型涉及一种化学液混合装置，其特征在于：包括连接注入管和输出管的化学液储罐，化学液储罐通过第二输入管连接化学液混合罐，在化学液混合罐内设有连接气源且侧壁设有出气孔的螺旋出气管，化学液混合罐分别连接化学液返回管和化学液回收管，化学液混合罐通过第一输入管连接从补充液缓冲罐，设置在第二输入管和第一输入管上均连接输出泵，在第一螺旋管和第二螺旋管的末端均封堵且在管壁上均设有一组开孔。本实用新型的优点：本装置结构简单，使用方便，成本低，可以有效解决现有半导体工艺设备中存在的补液不均匀问题，它混料均匀，混料速度快。
【IPC分类】B01F13-10, B01F13-02, B01F3-08
【公开号】CN204307587
【申请号】CN201420784878
【发明人】胡敬毅
【申请人】胡敬毅
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年12月12日