气体纯化装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种气体纯化装置，其技术方案要点是包括多个竖直设置的塔节以及位于塔节上、下两端的冷凝器与塔釜，还包括与塔节固接的支架，塔节中部设有活性炭吸附装置，活性炭吸附装置包括与塔节同轴设置的外壳以及位于外壳内的活性炭网，相邻的塔节间留有供外壳安装的间隙，塔节设有固定件并通过固定件与外壳固接，达到了便于更换活性炭吸附装置的效果。
【专利说明】
气体纯化装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及纯化设备领域，特别涉及一种气体纯化装置。
【背景技术】
[0002]半导体工业中，经常需要氢气、氮气、惰性气体(氦、氖、氩、氪、氙)、还原性气体(砷化氢、磷化氢、氨气、硅化氢等)，并且需要这些气体具有“超高纯度”，尤其是需要具有极低级含量的氧气、水、二氧化碳、一氧化碳等杂质。
[0003]现有的气体纯化装置可参考申请号为201420696768.2的中国专利，其公开了一种纯化器了，包括冷凝器，冷凝器内部设置有蛇形的盘管，冷凝器通过塔节对称设置在塔节的上端和下端，塔节设置有进料口和出料口，塔节的末端设置有塔釜，塔节内部设置有活性炭吸收装置。
[0004]但是随着活性炭吸装置吸附杂质，活性炭吸附装置逐渐失效，需要更换，但活性炭吸附装置位于塔节内，不利用更换。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种便于更换活性炭吸附装置的气体纯化装置。
[0006]本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
[0007]—种气体纯化装置，包括多个竖直设置的塔节以及位于塔节上、下两端的冷凝器与塔釜，还包括与塔节固接的支架，塔节中部设有活性炭吸附装置，活性炭吸附装置包括与塔节同轴设置的外壳以及位于外壳内的活性炭网，相邻的塔节间留有供外壳安装的间隙，塔节设有固定件并通过固定件与外壳固接。
[0008]通过采用上述方案，解除固定件，将外壳从两个塔节的间隙中拉出，从而更换活性炭吸附装置;而且由于支架将塔节固定，一方面保证外壳安装在塔节中时不受塔节的重力，便于将塔节拉出，另一方面防止在外壳拉出后，塔节崩塌。
[0009]较佳的，外壳两端以及塔节与外壳连接处均向外延伸形成凸缘。
[0010]通过采用上述方案，外壳的凸缘与塔节的凸缘相互抵接，保证在固定件未安装时，保证外壳与塔节连接稳定;在安装时，将外壳的凸缘逐渐推入塔节的凸缘之间，通过塔节支撑活性炭吸附装置的重力，无需用手一直将活性炭吸附装置举起，也便于调整外壳的位置使外壳与塔节同轴，便于安装活性炭吸附装置;在拆卸时，将固定件拆卸后，由于凸缘增大了外壳与塔节的接触面积，活性炭吸附装置也难以从塔节间滑落，防止发生安全事故的发生，也便于拆卸安装活性炭吸附装置;这样便于更换活性炭吸附装置。
[0011]较佳的，外壳的凸缘与塔节的凸缘上开有对应的螺纹孔并连接有螺栓，螺栓作为固定件固定塔节与外壳。
[0012]通过采用上述方案，螺栓结构简单、装拆方便，只需转动即可将固定件安装或拆卸，便于更换活性炭吸附装置。
[0013]较佳的，外壳的凸缘上开有与外壳同轴设置的环形凹槽，环形凹槽内套设有密封圈。
[0014]通过采用上述方案，密封圈保证外壳与塔节接触处的密封性，防止因活性炭吸附装置的可拆卸导致密封性不足，从而防止外部气体进入塔节内，保证了气体纯化装置的纯化效果。
[0015]较佳的，自然状态下，密封圈厚度大于环形凹槽深度。
[0016]通过采用上述方案，自然状态为密封圈不受压力的情况，当外壳安装在塔节后，密封圈受到挤压，从而将密封圈与环形凹槽底面的间隙以及密封圈与外壳凸缘表面的间隙完全密闭，进一步保证气体纯化装置的密封性，从而保证了气体纯化装置的纯化效果。
[0017]较佳的，密封圈上开有沉头孔并设有沉头螺栓，沉头螺栓贯穿沉头孔并与外壳螺纹连接。
[0018]通过采用上述方案，由于密封圈从环形凹槽露出，所以在将外壳推入塔节间时，密封圈会与塔节干涉，沉头螺栓将密封圈固定在环形凹槽内，环形凹槽防止发生错位，便于安装活性炭吸附装置。
[0019]较佳的，密封圈与环形凹槽接触的另一端面的边缘形成有倒角结构。
[0020]通过采用上述方案，当密封圈与塔节干涉时，倒角结构先与塔节接触，塔节随倒角结构的斜面逐渐挤压密封圈，从而便于将活性炭吸附装置推到塔节之间。
[0021]较佳的，外壳内部固接有周向设置的环形凸台，环形凸台上方开有多个周向设置的盲孔，盲孔插接有限位销，活性炭网夹持于限位销与环形凸台之间。
[0022]通过采用上述方案，环形凸台与限位销将活性炭网夹持，从而上、下固定活性炭网，保证活性炭网安装稳定；而且只需将限位销拔出，即可将活性炭网从环形凸台上取下，便于更换活性炭网。
[0023]较佳的，活性炭网边缘包裹有金属包边，金属包边边缘开有限位槽，限位槽与限位销侧面抵接。
[0024]通过采用上述方案，限位销侧面抵接限位槽，从而径向固定活性炭网，保证活性炭网与外壳连接稳固。
[0025]较佳的，外壳侧面开有开口，开口嵌有用于观测活性炭网的观察窗，观察窗位于活性炭网上方;外壳侧面铰接有覆盖观察窗的窗门。
[0026]通过采用上述方案，拉开窗门，从观察窗观测活性炭网的使用情况，便于及时更换活性炭吸附装置；当不观测时，窗门覆盖观察窗，防止阳光照射近塔节内，从而保证阳光不催化气体纯化装置的气体不发生反应。
[0027]综上所述，本实用新型具有以下有益效果:将塔节分为两截，并在两截塔节的间隙中安装活性炭吸附装置，通过支架固定塔节，从而保证塔节的间隙，便于安装活性炭吸附装置;通过螺栓固定外壳与塔节两者的凸缘，当螺栓逐渐旋紧，拉紧外壳与塔节的细微间隙，进一步压缩密封圈，保证密封圈的密封效果。
【附图说明】
[0028]图1是气体纯化装置结构示意图；
[0029]图2是气体纯化装置内部结构剖视图；
[0030]图3是外壳与活性炭网连接结构示意图；[0031 ]图4是活性炭吸附装置爆炸图。
[0032]图中，1、塔节;2、冷凝器;3、塔釜;4、支架;41、主支撑柱;42、固定架;43、T形连接块;5、活性炭吸附装置;51、外壳;511、环形凸台；512、盲孔;513、限位销;514、开口； 52、活性炭网；521、金属包边;522、限位槽;6、凸缘;61、环形凹槽;62、密封圈；621、沉头孔;622、倒角结构;7、螺栓;8、沉头螺栓;9、观察窗;91、窗门。
【具体实施方式】
[0033]以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0034]实施例1:如图1所示，一种气体纯化装置，包括的支架4和管状的塔身，竖直设置的塔身下端固接有支撑在地面上的塔釜3，塔身上端内固接有冷凝器2;其中，塔身由两截塔节I组成，两截塔节I之间留有供活性炭吸附装置5安装的间隙；支架4包括固定在地面上的两个截面为方形的主支撑柱41和两个固定在主支撑架上的固定架42，固接架通过一根T形连接块43与主支撑柱41焊接，T形连接块43的横部两端分别与一根主支撑柱41焊接，垂直于横部的竖板与横部中心焊接的另一端与固定架42侧面焊接；固定架42截面成环形，从而分别套设在两个塔节I外并与塔节I焊接。
[0035]在两个塔节I之间的间隙安装活性炭吸附装置5的外壳51，外壳51与塔节I同轴设置，并且外壳51的塔节I内壁相接合;外壳51上、下两端向外延伸，使得外壳51两端的直径相对于外壳51中部较大，从而形成凸缘6，而塔节I与外壳51连接处与形成有一致的凸缘6;两者的凸缘6开有相应的螺纹孔并通过螺栓7固定。
[0036]如图2和图4所示，外壳51两端的凸缘6上均开有环形凹槽61，环形凹槽61与外壳51同轴设置，环形凹槽61的内壁与外壳51的内壁相连接，使得外壳51两端的凸缘6的内壁成阶梯状;环形凹槽61内安装有的密封圈62，相适配即密封圈62的大径与小径环形凹槽61—致，自然状态下，密封圈62厚度大于环形凹槽61深度，而受压状态下，密封圈62厚度等于环形凹槽61深度;密封圈62远离外壳51的端面的边缘形成有倒角结构622，自然状态下，倒角结构622—端延伸至凸缘6端面上;这个端面上开有沉头孔621，而外壳51的凸缘6上开有与沉头孔621相对应的螺纹孔，通过沉头螺栓8连接沉头孔621和螺纹孔，从而固定密封圈62和外壳51，而且沉头孔621中沉头螺栓8头位于外壳51的凸缘6内侧。
[0037]如图2和图3所示，外壳51内部焊接有周向设置的环形凸台511，环形凸台511上方均匀开有四个周向设置的盲孔512，盲孔512插接有圆柱状的限位销513，活性炭吸附装置5的活性炭网52夹持于限位销513与环形凸台511之间，活性炭网52将外壳51内腔分割为上、下两个空间；活性炭网52边缘包裹有金属包边521，包边边缘开有限位槽522，限位槽522与限位销513侧面抵接。
[0038]旋出螺栓7，将外壳51沿凸缘6径向拉出，从盲孔512中沿外壳51径向拔出限位销513，将活性炭网52从环形凸台511上拉起，从而更换活性炭网52;反之，即可将活性炭吸附装置5安装。
[0039]实施例2:如图4所示，不同于实施例1之处在于，外壳51侧面开有开口 514，开口 514嵌有用于观测活性炭网52的观察窗9，观察窗9位于活性炭网52上方;外壳51侧面焊接有竖直设置的铰链，外壳51通过铰链铰接有覆盖观察窗9的窗门91。
[0040]本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
【主权项】
1.一种气体纯化装置，包括多个竖直设置的塔节(I)以及位于塔节(I)上、下两端的冷凝器(2)与塔釜(3)，其特征在于:还包括与塔节(I)固接的支架(4)，塔节(I)中部设有活性炭吸附装置(5)，活性炭吸附装置(5)包括与塔节(I)同轴设置的外壳(51)以及位于外壳(51)内的活性炭网(52)，相邻的塔节(I)间留有供外壳(51)安装的间隙，塔节(I)设有固定件并通过固定件与外壳(51)固接。2.根据权利要求1所述的气体纯化装置，其特征在于:外壳(51)两端以及塔节(I)与外壳(51)连接处均向外延伸形成凸缘(6)。3.根据权利要求2所述的气体纯化装置，其特征在于:外壳(51)的凸缘(6)与塔节(I)的凸缘(6)上开有对应的螺纹孔并连接有螺栓(7)，螺栓(7)作为固定件固定塔节(I)与外壳(51)。4.根据权利要求3所述的气体纯化装置，其特征在于:外壳(51)的凸缘(6)上开有与外壳(51)同轴设置的环形凹槽(61)，环形凹槽(61)内套设有密封圈(62)。5.根据权利要求4所述的气体纯化装置，其特征在于:自然状态下，密封圈(62)厚度大于环形凹槽(61)深度。6.根据权利要求5所述的气体纯化装置，其特征在于:密封圈(62)上开有沉头孔(621)并设有沉头螺栓(8)，沉头螺栓(8)贯穿沉头孔(621)并与外壳(51)螺纹连接。7.根据权利要求6所述的气体纯化装置，其特征在于:密封圈(62)与环形凹槽(61)接触的另一端面的边缘形成有倒角结构(622)。8.根据权利要求1所述的气体纯化装置，其特征在于:外壳(51)内部固接有周向设置的环形凸台(511)，环形凸台(511)上方开有多个周向设置的盲孔(512)，盲孔(512)插接有限位销(513)，活性炭网(52)夹持于限位销(513)与环形凸台(511)之间。9.根据权利要求7所述的气体纯化装置，其特征在于:活性炭网(52)边缘包裹有金属包边(521)，金属包边(521)边缘开有限位槽(522)，限位槽(522)与限位销(513)侧面抵接。10.根据权利要求1所述的气体纯化装置，其特征在于:外壳(51)侧面开有开口(514)，开口(514)嵌有用于观测活性炭网(52)的观察窗(9)，观察窗(9)位于活性炭网(52)上方;夕卜壳(51)侧面铰接有覆盖观察窗(9)的窗门(91)。
【文档编号】B01D53/04GK205683796SQ201620454768
【公开日】2016年11月16日
【申请日】2016年5月18日 公开号201620454768.0, CN 201620454768, CN 205683796 U, CN 205683796U, CN-U-205683796, CN201620454768, CN201620454768.0, CN205683796 U, CN205683796U
【发明人】赵沙沙, 王新鹏, 邸士强, 汤萍
【申请人】绿菱电子材料（天津）有限公司