一种条形芯片的检测设备的制作方法

本申请涉及芯片检测领域，尤其是涉及一种条形芯片的检测设备。

背景技术：

1、芯片是一种半导体元件集成电路，在芯片的生产过程中，需要对芯片的各项性能指标进行检测，从而挑选出存在缺陷的芯片。对于芯片的检测包括外观检测、开盖检测、电特性测试等，测试是芯片生产过程中不可缺少的环节，检测出缺陷可以对缺陷进行相应的处理，从而避免有缺陷的芯片流入销售市场。

2、常用的检测方法是通过图像采集器，将芯片表面的图像信号传递至图像处理器，图像处理器分析芯片有无缺陷，给出分析的信息，然后工作人员根据分析信息筛选出有缺陷的不良品，完成对芯片的检测。

3、但是，通过上述检测方法，仍然需要人工将芯片放置于图像采集区域，并且人工将不良品挑出，导致对于芯片的检测效率不高。

技术实现思路

1、为了提高对芯片的检测效率，本申请提供一种条形芯片的检测设备。

2、本申请提供的一种条形芯片的检测设备采用如下的技术方案：

3、一种条形芯片的检测设备，包括工作台，所述工作台依次连接有上料组件、检测组件、标记组件和出料组件，所述检测组件包括用于承载芯片的放置板和位于所述放置板上方的图像采集器，所述图像采集器电性连接有图像处理器，所述图像处理器电性连接有控制器，所述标记组件包括用于承载所述芯片的承载板和位于所述承载板上方的打标件，所述工作台连接有三轴机械手，所述三轴机械手和所述打标件电性连接于所述控制器，所述三轴机械手用于将所述芯片在所述上料组件、所述放置板、所述承载板和所述出料组件之间转移。

4、通过采用上述技术方案，对芯片进行检测时，芯片通过上料组件进行传送，由三轴机械手转移到放置板上，利用图像采集器对芯片表面的图像信息进行采集，并将信号传递至图像处理器进行处理分析，对比检测芯片是否存在缺陷，将分析结果传送至控制器，控制器控制三轴机械手将存在缺陷的芯片转移至承载板上，利用打标件进行标记，最终三轴机械手将芯片放置出料组件上进行筛选。通过检测设备，不需要人工操作，提高了对芯片的检测效率。

5、可选的，所述上料组件和所述出料组件均设置为传送带。

6、通过采用上述技术方案，传送带可以传送芯片，从而方便芯片的上料和出料。

7、可选的，所述三轴机械手的端部设置有真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附所述芯片。

8、通过采用上述技术方案，真空吸盘可以稳定的吸附芯片，从而提高三轴机械手在转移芯片时的稳定性，减少芯片在转移过程中掉落的可能性。

9、可选的，所述工作台连接有固定座，所述放置板连接于所述固定座，所述图像采集器包括工业相机，所述工业相机连接于所述固定座且位于所述放置板的正上方。

10、通过采用上述技术方案，放置板用来放置芯片，通过工业相机对放置板上的芯片表面拍照，从而实现对芯片图像信号的采集。

11、可选的，所述图像采集器还包括补光灯，所述补光灯设置于所述工业相机的镜头端。

12、通过采用上述技术方案，补光灯作为补充光源，提高工业相机拍摄时的明亮度，使得对芯片图像信号的采集更加清晰明亮。

13、可选的，所述工作台连接有安装座，所述承载板连接于所述安装座，所述安装座连接有驱动气缸，所述打标件包括注液盒和喷墨嘴，所述注液盒连接于所述驱动气缸的输出端，所述喷墨嘴设置于所述注液盒的底部。

14、通过采用上述技术方案，芯片被放置在承载板上，驱动气缸驱动打标件下降，带动打标件靠近有缺陷的芯片，注液盒内存储有油墨，喷墨嘴喷出墨水标记到芯片上。

15、可选的，所述放置板与承载板均开设有卡槽，所述卡槽用于放置所述芯片。

16、通过采用上述技术方案，将芯片放置到卡槽内，可以提高卡槽放置的稳定性。

17、可选的，所述承载板连接有真空发生器，所述真空发生器连接有气管，所述气管远离所述真空发生器的一端连通于所述卡槽，所述真空发生器的一侧设置有电磁阀。

18、通过采用上述技术方案，当芯片被放置到承载板的卡槽中后，启动电磁阀，真空发生器产生真空，从而将芯片稳定吸附在卡槽内，当喷墨嘴抵接于芯片进行标记时，使芯片保持稳定，加强标记效果。

19、可选的，所述出料组件的一侧设置有不良品收集箱，所述工作台连接有推动气缸，所述推动气缸电性连接于所述控制器，所述推动气缸的输出端连接有挡板，所述挡板用于推动芯片掉落至所述不良品收集箱。

20、通过采用上述技术方案，经过检测和打标后的芯片统一由三轴机械手转移至出料传送带上，当图像处理器检测到芯片存在缺陷时，控制器将控制推动气缸的输出端伸出，挡板将推动有缺陷的芯片掉落至不良品收集箱，合格的芯片则经由传送带运送至下一个工序，从而完成对芯片的筛选和分离。

21、综上所述，本申请具有以下有益效果：

22、1.对芯片进行检测时，芯片通过上料组件进行传送，由三轴机械手转移到放置板上，利用图像采集器对芯片表面的图像信息进行采集，并将信号传递至图像处理器进行处理分析，对比检测芯片是否存在缺陷，将分析结果传送至控制器，控制器控制三轴机械手将存在缺陷的芯片转移至承载板上，利用打标件进行标记，最终三轴机械手将芯片放置出料组件上进行筛选。通过检测设备，不需要人工操作，提高了对芯片的检测效率。

23、2.经过检测和打标后的芯片统一由三轴机械手转移至出料传送带上，当图像处理器检测到芯片存在缺陷时，控制器将控制推动气缸的输出端伸出，挡板将推动有缺陷的芯片掉落至不良品收集箱，合格的芯片则经由传送带运送至下一个工序，从而完成对芯片的筛选和分离。

技术特征：

1.一种条形芯片的检测设备，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)依次连接有上料组件、检测组件(3)、标记组件(4)和出料组件(5)，所述检测组件(3)包括用于承载芯片的放置板(32)和位于所述放置板(32)上方的图像采集器(34)，所述图像采集器(34)电性连接有图像处理器，所述图像处理器电性连接有控制器，所述标记组件(4)包括用于承载所述芯片的承载板(42)和位于所述承载板(42)上方的打标件(46)，所述工作台(1)连接有三轴机械手(6)，所述三轴机械手(6)电性连接于所述控制器，所述三轴机械手(6)用于将所述芯片在所述上料组件、所述放置板(32)、所述承载板(42)和所述出料组件(5)之间转移。

2.根据权利要求1所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于：所述上料组件和所述出料组件(5)均设置为传送带。

3.根据权利要求1所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于：所述三轴机械手(6)的端部设置有真空吸盘(61)，所述真空吸盘(61)用于吸附所述芯片。

4.根据权利要求1所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于：所述工作台(1)连接有固定座(31)，所述放置板(32)连接于所述固定座(31)，所述图像采集器(34)包括工业相机(35)，所述工业相机(35)连接于所述固定座(31)且位于所述放置板(32)的正上方。

5.根据权利要求4所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于：所述图像采集器(34)还包括补光灯(36)，所述补光灯(36)设置于所述工业相机(35)的镜头端。

6.根据权利要求4所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于:所述工作台(1)连接有安装座(41)，所述承载板(42)连接于所述安装座(41)，所述安装座(41)连接有驱动气缸(45)，所述打标件(46)包括注液盒(47)和喷墨嘴(48)，所述注液盒(47)连接于所述驱动气缸(45)的输出端，所述喷墨嘴(48)设置于所述注液盒(47)的底部。

7.根据权利要求6所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于：所述放置板(32)与承载板(42)均开设有卡槽(33)，所述卡槽(33)用于放置所述芯片。

8.根据权利要求7所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于：所述安装座(41)连接有真空发生器(43)，所述真空发生器(43)连接有气管(44)，所述气管(44)远离所述真空发生器(43)的一端连通于所述卡槽(33)，所述真空发生器(43)的一侧设置有电磁阀(49)。

9.根据权利要求1所述的一种条形芯片的检测设备，其特征在于：所述出料组件(5)的一侧设置有不良品收集箱(53)，所述工作台(1)连接有推动气缸(51)，所述推动气缸(51)电性连接于所述控制器，所述推动气缸(51)的输出端连接有挡板(52)，所述挡板(52)用于推动芯片掉落至所述不良品收集箱(53)。

技术总结
本申请公开了一种条形芯片的检测设备，涉及芯片检测领域。一种条形芯片的检测设备，包括工作台，工作台依次连接有上料组件、检测组件、标记组件和出料组件，检测组件包括用于承载芯片的放置板和位于放置板上方的图像采集器，图像采集器电性连接有图像处理器，图像处理器电性连接有控制器，标记组件包括用于承载芯片的承载板和位于承载板上方的打标件，工作台连接有三轴机械手，三轴机械手电性连接于控制器，三轴机械手用于将芯片在上料组件、放置板、承载板和出料组件之间转移。本申请具有提高对芯片的检测效率的效果。

技术研发人员：刘阳,刘建乐,张铸
受保护的技术使用者：深圳市芯连心电子科技有限公司
技术研发日：20230203
技术公布日：2024/1/12