检查设备的制作方法

本申请涉及检测领域，具体涉及一种检查设备。

背景技术：

1、现有芯片的缺陷检查依靠人眼在显微镜下检查，由于缺陷的种类较多，例如碰撞损伤、侧崩、缺损等，人眼经常出现误判漏判的情况，增加了产品的报废。

2、其次，在人员检查的过程中，很容易由于操作不当引起的芯片损伤，不能发现就会造成产品报废。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本申请提供一种检查设备，可以降低产品的报废，提升产品良率。

2、为了解决上述问题，本申请提供一种检查设备包括：上料机构，用于接收并运输目标器件；表面检测机构，用于对所述上料机构运输的所述目标器件进行表面检测；下料机构，用于当所述表面检测机构完成对所述目标器件的检测时，接收并运输所述目标器件；缺陷搬运机械手，用于当所述下料机构上的所述目标器件被所述表面检测机构检测出存在缺陷时，将所述目标器件送入缺陷平台；侧边检测机构，当所述下料机构上存在缺陷的所述目标器件是被所述表面检测机构检测出边缘存在缺陷时，所述缺陷搬运机械手将所述目标器件送入侧边检测区域，所述侧边检测机构对送入所述侧边检测区域的所述目标器件进行侧边检测。

3、其中，所述表面检测机构包括：第一检测子机构，用于当所述上料机构将所述目标器件送入第一区域时，对所述目标器件的第一表面进行检测；翻转搬运机械手，用于在所述第一检测子机构对所述目标器件检测后翻转并搬运所述目标器件；第二检测子机构，用于当所述翻转搬运机械手将所述目标器件送入第二区域时，对所述目标器件的第二表面进行检测，其中所述第一表面与所述第二表面相背设置。通过上述对目标器件正面以及背面两面进行检查，使得检查更加全面。

4、其中，所述上料机构包括上料导轨，用于接收并运输所述目标器件。

5、其中，所述上料导轨为多条，多条所述上料导轨并列设置，同时所述上料导轨与所述第一区域一一对应，当所述上料导轨将所述目标器件送入对应的所述第一区域时，所述第一检测子机构对位于所述第一区域的所述目标器件的第一表面进行检测。设置多条导轨增加传输的效率。

6、其中，所述第一检测子机构包括至少两个第一相机；所述至少两个第一相机对位于同一所述第一区域中的所述目标器件同时进行检测，或者，所述第一相机与所述上料导轨一一对应，当所述上料导轨将所述目标器件送入对应的所述第一区域时，对应的所述第一相机对位于所述第一区域的所述目标器件的第一表面进行检测。通过设置多个相机检测目前器件，提升检测的速度。

7、其中，所述第一相机为电荷耦合器件相机。

8、其中，多条所述上料导轨平行设置。设备布局更加紧凑有序。

9、其中，所述检查设备进一步包括：机械手导轨，所述翻转搬运机械手设置在所述机械手导轨上。

10、其中，所述机械手导轨的两端均设有定位机构，所述定位机构与所述翻转搬运机械手通信连接；所述定位机构用于定位所述上料机构和所述下料机构的位置，并将所述上料机构和所述下料机构的位置发送给所述翻转搬运机械手。通过上述设计使得翻转搬运机械手的移动位置更加精确。

11、其中，所述目标器件为芯片。

12、有益效果：本申请的检查设备可以对产品的表面进行检测，并基于表面的检测结果，再对侧边进行检测，能够避免人眼检查的缺陷，降低了产品的报废，提升了产品的良率。

技术特征：

1.一种检查设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于，所述表面检测机构包括：

3.根据权利要求2所述的检查设备，其特征在于，所述上料机构包括上料导轨，用于接收并运输所述目标器件。

4.根据权利要求3所述的检查设备，其特征在于，所述上料导轨为多条，多条所述上料导轨并列设置，同时所述上料导轨与所述第一区域一一对应，当所述上料导轨将所述目标器件送入对应的所述第一区域时，所述第一检测子机构对位于所述第一区域的所述目标器件的第一表面进行检测。

5.根据权利要求4所述的检查设备，其特征在于，所述第一检测子机构包括至少两个第一相机；

6.根据权利要求5所述的检查设备，其特征在于，所述第一相机为电荷耦合器件相机。

7.根据权利要求4所述的检查设备，其特征在于，多条所述上料导轨平行设置。

8.根据权利要求2所述的检查设备，其特征在于，所述检查设备进一步包括：

9.根据权利要求8所述的检查设备，其特征在于，所述机械手导轨的两端均设有定位机构，所述定位机构与所述翻转搬运机械手通信连接；

10.根据权利要求1所述的检查设备，其特征在于，所述目标器件为芯片。

技术总结
本申请公开一种检查设备，其中，上料机构用于接收并运输目标器件；表面检测机构用于对上料机构运输的目标器件进行表面检测；下料机构用于当表面检测机构完成对目标器件的检测时，接收并运输目标器件；缺陷搬运机械手用于当下料机构上的目标器件被表面检测机构检测出存在缺陷时，将目标器件送入缺陷平台；侧边检测机构当下料机构上存在缺陷的目标器件是被表面检测机构检测出边缘存在缺陷时，缺陷搬运机械手将目标器件送入侧边检测区域，侧边检测机构对送入侧边检测区域的目标器件进行侧边检测。本申请的检查设备通过对产品的表面以及侧边进行检测，避免人眼检查的缺陷，降低了产品的报废，提升了产品的良率。

技术研发人员：孙俊,陈海虎,朱军
受保护的技术使用者：苏州通富超威半导体有限公司
技术研发日：20230424
技术公布日：2024/1/14