一种交替式探针测试分选机的制作方法

本技术属于芯片测试，具体涉及一种交替式探针测试分选机。

背景技术：

1、在过去的几十年中，半导体芯片已经成为现在科技发展的基础。它们存在于我们生活中的许多应用场景。然而，随着技术的进步和需求的增加，芯片的尺寸越来越小，测试点的pad点也越来越小，裸露分布在芯片表面上，单片芯片(主要针对die/chipletlevel的应用，典型应用包括射频微波相关的裸芯片、载片式封装和先进封装的单片器件和组件)是随微组装工艺发展出的新形态产品，通常由载片、堆叠芯片、裸芯片等单片类产品，具有小型化、高集成度、低成本等优点。受物料精度和装配工艺制约，电路烧结到载体上之后，pad点不像其在晶圆时那样，位置精确一致且呈矩阵式排列，而且z方向的高度差也超出了探针允许的溃缩量，无法使用传统自动探针台测试，传统的晶圆探针台无法满足使用要求。

2、现有技术主要存在以下缺点：

3、手动探针连接方式：将单片通过手动连接探针的方式进行测试，这种模式需要针对每个pad点通过显微镜手动调整探针的高度，并手动实现0.001mm级精度的扎针连接，该方式避免了金丝键合连接方式的主要弊病，但是也存在高度依赖操作人员技能、作业效率低、探针易损毁、芯片外观不良等问题，很难保证测试结果的一致性和稳定性。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供一种交替式探针测试分选机，以解决现有技术中传统的晶圆探针台无法满足使用要求的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种交替式探针测试分选机，包括：

4、机架；

5、料盒组件；料盒组件固定安装在机架上，料盒组件中放置有多个芯片；

6、电动针座测试平台；电动针座测试平台固定设置在机架上，电动针座测试平台上设有至少一个测试工位；

7、电动双工位交叉互换机构；电动双工位交叉互换机构固定设置在机架上，电动双工位交叉互换机构的第一端设有上料工位，第二端设置在电动针座测试平台的下方，电动双工位交叉互换机构上设有至少两个移动端，电动双工位交叉互换机构上的移动端均用于做上料工位至测试工位下方的往复运动；

8、自动上下料结构；自动上下料结构固定安装在机架上，自动上下料结构上设有移动端，自动上下料结构的移动端用于将料盒组件中的芯片从料盒组件中移动至上料工位上以及将上料工位上的芯片移动至料盒组件中。

9、优选地，料盒组件包括：

10、盒体；盒体固定安装在机架上；

11、料盘；料盘设置在盒体上，芯片放置在料盘中；

12、负压检查表；负压检查表设置在盒体中，负压检查表的检测端与料盘连接，负压检查表用于检查料盘的负重情况。

13、优选地，自动上下料结构包括：

14、z轴模组；z轴模组包括z轴横向滑轨和z轴纵向滑轨，z轴横向滑轨固定安装在机架上，z轴纵向滑轨的第一端可滑动的安装在z轴横向滑轨上；

15、x轴模组；x轴模组包括x轴纵向滑轨和x轴横向滑轨，x轴纵向滑轨的第一端固定安装在机架上，x轴横向滑轨可滑动的安装在x轴纵向滑轨的侧面，x轴横向滑轨与z轴横向滑轨相互平行，x轴纵向滑轨与z轴纵向滑轨的长度相同；

16、y轴模组；y轴模组的第一端与z轴纵向滑轨可滑动连接，y轴模组的第二端与x轴横向滑轨可滑动连接；

17、吸附滑动结构；吸附滑动结构可滑动的设置在y轴模组上，吸附滑动结构可沿y轴模组的侧面滑动，吸附滑动结构用于吸附芯片。

18、优选地，吸附滑动结构包括：

19、背板；背板与y轴模组可滑动连接；

20、吸嘴；吸嘴设置在背板下方，吸嘴用于吸附芯片；

21、吸料检查表；吸料检查表设置在背板中，吸料检查表的检测端与吸嘴连接，吸料检查表的信号指示端设置在背板表面；

22、工业相机；工业相机固定安装在背板上，工业相机的工业相机镜头指向吸嘴方向；

23、相机光源；相机光源固定设置在背板或工业相机上，相机光源用于为吸嘴打光。

24、优选地，电动针座测试平台包括：

25、至少两个针座板立柱；针座板立柱固定安装在机架上；

26、针座板；针座板底面与每个针座板立柱的顶端固定连接，测试工位设置在针座板上；

27、至少一个电动针座；电动针座固定安装在针座板上，电动针座的测试端与测试工位连接。

28、优选地，电动双工位交叉互换机构包括：

29、至少两个导轨；导轨固定安装在机架上，导轨的第一端设置在上料工位下方，导轨的第二端设置在测试工位下方；

30、至少两个滑动件；一个滑动件与一个导轨可滑动连接；

31、载物台；载物台设置在滑动件上，载物台用于盛放芯片；

32、至少两个电机；电机固定安装在机架上，一个电机用于驱动一个滑动件在一个导轨上做往复运动。

33、优选地，料盘包括：

34、至少一个待检测料盘；待检测料盘设置在料盒中，待检测料盘用于盛放待检测的芯片；

35、至少一个合格品料盘；合格品料盘设置在料盒中，合格品料盘用于盛放检测合格的芯片；

36、不合格品料盘；不合格品料盘设置在料盒中，不合格品料盘用于盛放检测不合格的芯片，负压检查表至少为三个，一个负压检查表与一个待检测料盘、合格品料盘或不合格品料盘连接。

37、优选地，电动针座测试平台还包括显微镜，显微镜固定安装在针座板上，显微镜的观察方向指向测试工位方向。

38、优选地，电动针座测试平台还包括三维测试系统，三维测试系统固定安装在针座板上，三维测试系统为具有视觉识别引导功能的视觉组件，用于引导载物台移动至指定位置。

39、优选地，滑动件为滚珠丝杆滑动组件。

40、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

41、本申请通过自动上下料结构实现单片芯片自动上下料，并给通过电动双工位交叉互换机构实现了交替式并行执行自动上下料和扎针测试，无需使用传统的手动探针连接方式，因此本申请可连续不间断生产测试，并保证测试的一致性，提高了测试效率。

技术特征：

1.一种交替式探针测试分选机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，料盒组件包括：

3.根据权利要求1所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，自动上下料结构包括：

4.根据权利要求3所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，吸附滑动结构包括：

5.根据权利要求1所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，电动针座测试平台包括：

6.根据权利要求1所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，电动双工位交叉互换机构包括：

7.根据权利要求2所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，料盘包括：

8.根据权利要求5所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，电动针座测试平台还包括显微镜(14)，显微镜(14)固定安装在针座板(11)上，显微镜(14)的观察方向指向测试工位(13)方向。

9.根据权利要求5所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，电动针座测试平台还包括三维测试系统(5)，三维测试系统(5)固定安装在针座板(11)上，三维测试系统(5)为具有视觉识别引导功能的视觉组件，用于引导载物台(4)移动至指定位置。

10.根据权利要求6所述的一种交替式探针测试分选机，其特征在于，滑动件为滚珠丝杆滑动组件(3-2)。

技术总结
本技术公开了一种交替式探针测试分选机，包括机架、料盒组件、电动针座测试平台、电动双工位交叉互换机构和自动上下料结构，料盒组件固定安装在机架上，电动针座测试平台固定设置在机架上，电动针座测试平台上设有至少一个测试工位，电动双工位交叉互换结构固定设置在机架上，电动双工位交叉互换机构的第一端设有上料工位，第二端设置在电动针座测试平台的下方，电动双工位交叉互换机构上设有至少两个移动端，自动上下料结构固定安装在机架上，自动上下料结构上设有移动端，本申请通过自动上下料结构实现单片芯片自动上下料，通过电动双工位交叉互换机构实现了交替式并行执行自动上下料和扎针测试，提高了工作效率。

技术研发人员：杜春,罗伟,毛明超,窦国珍
受保护的技术使用者：成都云绎智创科技有限公司
技术研发日：20231107
技术公布日：2024/6/18