吹气装置及测试分选机的制作方法

本申请涉及检测，特别是涉及吹气装置及测试分选机。

背景技术：

1、测试分选机能够在高温、低温以及常温等规定温度环境下测试半导体器件的性能。目前，测试分选机大多利用能够吹送冷气和热气的吹气装置向位于测试分选机腔体内的测试工位吹气体，以向设置在测试工位处的半导体器件提供相应的测试温度。

2、相关技术中，吹气装置包括换热器和空气加热器，换热器用于将冷媒机提供的冷媒与气体换热。在低温工况下，冷媒机启动，并可向换热器内提供冷却气体的冷媒，经换热器流出的冷却气体流经空气加热器(不启动)后排出。在中高温工况下，冷媒机停止，气体流经空气加热器加热后排出。此种方案，冷媒机需反复启停，且从冷媒机启动到换热器内流出温度稳定的冷却气体需要花费10分钟甚至更长时间，严重影响测试分选机的工作效率。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对吹气装置在使用时，冷媒机需反复启停而造成测试分选机的工作效率低的问题，提供一种吹气装置及测试分选机。

2、一种吹气装置，用于与气源和冷媒机配套使用，所述吹气装置包括：

3、换热器，用于连通所述气源和所述冷媒机，以供所述气源提供的气体与所述冷媒机提供的冷媒换热；

4、空气加热器；

5、均用于向外吹气的第一吹气组件和第二吹气组件，所述第一吹气组件与所述空气加热器的出气口连通；

6、切换阀组，与所述换热器的气体出口连通，且可选择地允许换热后的气体向所述空气加热器的进气口或者所述第二吹气组件流动；

7、第一控制阀，其一端用于连通所述气源，另一端连通所述空气加热器的进气口；及

8、第二控制阀，其一端用于连通所述气源，另一端与所述第二吹气组件的进气口连通；

9、其中，所述第一控制阀与所述切换阀组不同时允许气体流向所述空气加热器的进气口。

10、在一些实施例中，所述切换阀组包括第一阀体和第二阀体，所述第一阀体连接在所述换热器的气体出口与所述空气加热器的进气口之间，所述第二阀体连接在所述换热器的气体出口与所述第二吹气组件之间；

11、所述第一阀体与所述第二阀体不同时处于导通状态。

12、在一些实施例中，所述吹气装置还包括第三控制阀，其一端用于连通气源，另一端用于连通所述换热器的气体入口。

13、在一些实施例中，所述第一吹气组件包括测试安装座和至少一个分气块，所述测试安装座用于安装待测试的电子器件，且其上设置有用于吹气的至少一个第一吹气部；

14、所述空气加热器包括至少一个出气口，每一所述空气加热器的出气口与每一所述第一吹气部之间经由所述分气块独立地连通；

15、每一所述分气块上设置有温度传感器。

16、在一些实施例中，所述第二吹气组件包括在高度方向上间隔布置的两组第二吹气部；

17、所述两组第二吹气部在所述高度方向上反向吹气。

18、在一些实施例中，所述两组第二吹气部中，其中一组所述第二吹气部包括吹气块，所述吹气块上设置有同向送气的多个吹气孔；

19、其中另一组所述第二吹气部包括吹气杆，所述吹气杆上沿其纵长方向间隔设置有同向送气的多个吹气孔。

20、在一些实施例中，所述第二吹气组件包括总管路和至少两条支管路，所述切换阀组能够允许气体向所述总管路流动，各条所述支管路均独立地连通所述总管路与各组所述第二吹气部；

21、所述总管路上设置有温度采集器。

22、在一些实施例中，所述吹气装置包括进气管路、调节阀和温度采集件，所述第一控制阀与所述切换阀组均通过所述进气管路连接所述空气加热器的进气口；

23、所述温度采集件用于采集经所述空气加热器加热后的气体温度，所述调节阀设置于所述进气管路，能够根据所述温度采集件采集的温度调节所述进气管路的气体流量。

24、在一些实施例中，所述吹气装置具有第一工作状态和第二工作状态；

25、处于所述第一工作状态时，所述第一控制阀截断所述气源与所述空气加热器的连通，所述切换阀组连通所述空气加热器与所述换热器，所述第二控制阀连通所述气源与所述第二吹气组件，所述空气加热器处于加热状态；

26、处于第二工作状态时，所述第一控制阀连通所述气源与所述空气加热器，所述切换阀组连通所述换热器与所述第二吹气组件，所述第二控制阀连通所述气源与所述第二吹气组件，所述空气加热器处于加热状态。

27、一种测试分选机，包括上料装置、测试装置、收料装置及输送装置，测试装置具有腔体，腔体具有测试工位，输送装置用于将上料装置处提供的待测试的电子器件移动至测试工位，并用于将测试工位处测试后的电子器件移动至收料装置处回收，所述测试分选机还包括：

28、如上述任一项实施例所述的吹气装置，所述第一吹气组件用于向所述测试工位吹气，所述第二吹气组件用于向所述腔体吹气。

29、在一些实施例中，所述测试分选机还包括冷媒机，所述冷媒机与所述换热器连通，用于向所述换热器输送冷媒。

30、上述吹气装置及测试分选机，在常高温测试工况和低温测试工况之间切换时，冷媒机可以保持工作，而无需重复启停，有助于提高测试分选机的工作效率。而且，在常高温测试工况下，换热器流出的低温冷媒被利用起来对腔体降温，进而可对位于腔体内的其他元器件降温，有助于提高测试分选机的使用寿命，一举多得。

技术特征：

1.一种吹气装置(100)，用于与气源(300)和冷媒机配套使用，其特征在于，所述吹气装置(100)包括：

2.根据权利要求1所述的吹气装置(100)，其特征在于，所述切换阀组(30)包括第一阀体(31)和第二阀体(32)，所述第一阀体(31)连接在所述换热器(10)的气体出口与所述空气加热器(20)的进气口之间，所述第二阀体(32)连接在所述换热器(10)的气体出口与所述第二吹气组件(50)之间；

3.根据权利要求1所述的吹气装置(100)，其特征在于，所述吹气装置(100)还包括第三控制阀(80)，其一端用于连通气源(300)，另一端用于连通所述换热器(10)的气体入口。

4.根据权利要求1所述的吹气装置(100)，其特征在于，所述第一吹气组件(40)包括测试安装座(41)和至少一个分气块(43)，所述测试安装座(41)用于安装待测试的电子器件，且其上设置有用于吹气的至少一个第一吹气部(42)；

5.根据权利要求1所述的吹气装置(100)，其特征在于，所述第二吹气组件(50)包括在高度方向(z)上间隔布置的两组第二吹气部(51)；所述两组第二吹气部(51)在所述高度方向(z)上反向吹气；

6.根据权利要求5所述的吹气装置(100)，其特征在于，所述两组第二吹气部(51)中，其中一组所述第二吹气部(51)包括吹气块(51b)，所述吹气块(51b)上设置有同向送气的多个吹气孔；

7.根据权利要求1所述的吹气装置(100)，其特征在于，所述吹气装置(100)包括进气管路(21)、调节阀(22)和温度采集件(23)，所述第一控制阀(60)与所述切换阀组(30)均通过所述进气管路(21)连接所述空气加热器(20)的进气口；

8.根据权利要求1所述的吹气装置(100)，其特征在于，所述吹气装置(100)具有第一工作状态和第二工作状态；

9.一种测试分选机(1000)，包括上料装置、测试装置、收料装置及输送装置，所述测试装置包括腔体(200)，所述腔体(200)具有测试工位(201)，所述输送装置用于将所述上料装置处提供的待测试的电子器件移送至所述测试工位(201)，并用于将所述测试工位(201)处测试后的电子器件移动至所述收料装置处回收，其特征在于，所述测试分选机(1000)还包括：

10.根据权利要求9所述的测试分选机(1000)，其特征在于，所述测试分选机(1000)还包括冷媒机，所述冷媒机与所述换热器(10)连通，用于向所述换热器(10)输送冷媒。

技术总结
本申请涉及一种吹气装置及测试分选机，该吹气装置包括换热器、空气加热器、第一吹气组件、第二吹气组件、切换阀组、第一控制阀及第二控制阀，换热器用于连通气源和冷媒机，以供气源提供的气体与冷媒机提供的冷媒换热。第一吹气组件和第二吹气组件均用于向外吹气，且第一吹气组件与空气加热器的出气口连通。切换阀组与换热器的气体出口连通，且可选择地允许换热后的气体向空气加热的进气口或者第二吹气组件流动。第一控制阀其一端用于连通气源，另一端连通空气加热器的进气口。第二控制阀其一端用于连通气源，另一端与第二吹气组件的进气口连通。其中，第一控制阀与切换阀组不同时允许气体流向空气加热器的进气口。本申请的技术方案，有助于提高测试分选机的工作效率和使用寿命。

技术研发人员：胡光辉,胡鹏飞,车健
受保护的技术使用者：杭州长川科技股份有限公司
技术研发日：20240207
技术公布日：2025/2/13