双卡盘测试系统的制作方法

本申请属于芯片生产，更具体地说，是涉及一种双卡盘测试系统。

背景技术：

1、载片是新工艺生产出的新形态产品，常见的有堆叠、硅基式、bga封装式、单片等，具有小型化、高集成度、低成本等优点。探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。因为载片测试点即pad点裸露分布在载片表面上，再加上物料一致性和生产工艺的影响，导致最终载片的pad点位置不一致排列不规则，甚至其pad点的高度也不一致；目前市面上的探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用，无法直接用于载片式产品的测试。

2、现有的技术方案主要分为手动式和工装式，手动式即人工将产品放置在手动探针台上，通过显微镜对一个产品进行图像放大，逐一寻找其pad点，然后操作探针进行测试，由于操作繁琐，而且依赖人工的操作熟练度和感官，无法进行大批量测试，而且容易损伤器件。

技术实现思路

1、为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种双卡盘测试系统，包括用于放置待测载片的第一卡盘和第二卡盘、用于将所述第一卡盘和所述第二卡盘移动到运输到检测位置的七轴直线运动系统以及用于对所述待测载片进行测试的测试机构。

2、可选地，所述测试机构包括变倍显微视觉组件和三轴电动针座，所述变倍显微视觉组件用于获取待测载片的pad点的位置数据和高度数据，所述三轴电动针座用于根据所述位置数据和所述高度数据对所述待测载片的pad点进行测试。

3、可选地，所述测试机构还包括磁吸工作面板，所述三轴电动针座与所述磁吸工作面板磁吸连接。

4、可选地，所述测试机构还包括三轴视觉调整组件，所述三轴视觉调整组件与所述变倍显微视觉组件连接，用于调节所述变倍显微视觉组件在x轴、y轴和z轴方向上的位置。

5、可选地，所述测试机构还包括三轴手动针座，所述三轴手动针座与所述磁吸工作面板磁吸连接

6、可选地，所述七轴直线运动系统包括基座、第一升降旋转轴、第二升降旋转轴、x轴直线电机、第一y轴直线电机、第二y轴直线电机，所述x轴直线电机固定于所述基座上，所述第一y轴直线电机和所述第二y轴直线电机与所述x轴直线电机固定连接，所述第一升降旋转轴与所述第一y轴直线电机固定连接，所述第二升降旋转轴与所述第二y轴直线电机固定连接。

7、本申请提供的双卡盘测试系统的有益效果在于：与现有技术相比，本申请提供的双卡盘测试系统，通过七轴直线运动系统可对待测载片的位置、高度和角度进行调整，通过测试机构可对待测载片进行测试，不依赖人工的操作熟练度和感官，无可进行大批量测试，而且不容易损伤器件。

技术特征：

1.一种双卡盘测试系统，其特征在于，包括用于放置待测载片的第一卡盘和第二卡盘、用于将所述第一卡盘和所述第二卡盘移动到运输到检测位置的七轴直线运动系统以及用于对所述待测载片进行测试的测试机构。

2.如权利要求1所述的双卡盘测试系统，其特征在于：所述测试机构包括变倍显微视觉组件和三轴电动针座，所述变倍显微视觉组件用于获取待测载片的pad点的位置数据和高度数据，所述三轴电动针座用于根据所述位置数据和所述高度数据对所述待测载片的pad点进行测试。

3.如权利要求2所述的双卡盘测试系统，其特征在于：所述测试机构还包括磁吸工作面板，所述三轴电动针座与所述磁吸工作面板磁吸连接。

4.如权利要求3所述的双卡盘测试系统，其特征在于：所述测试机构还包括三轴视觉调整组件，所述三轴视觉调整组件与所述变倍显微视觉组件连接，用于调节所述变倍显微视觉组件在x轴、y轴和z轴方向上的位置。

5.如权利要求3所述的双卡盘测试系统，其特征在于：所述测试机构还包括三轴手动针座，所述三轴手动针座与所述磁吸工作面板磁吸连接。

6.如权利要求1所述的双卡盘测试系统，其特征在于：所述七轴直线运动系统包括基座、第一升降旋转轴、第二升降旋转轴、x轴直线电机、第一y轴直线电机、第二y轴直线电机，所述x轴直线电机固定于所述基座上，所述第一y轴直线电机和所述第二y轴直线电机与所述x轴直线电机固定连接，所述第一升降旋转轴与所述第一y轴直线电机固定连接，所述第二升降旋转轴与所述第二y轴直线电机固定连接。

技术总结
本申请提供了一种双卡盘测试系统，包括用于放置待测载片的第一卡盘和第二卡盘、用于将所述第一卡盘和所述第二卡盘移动到运输到检测位置的七轴直线运动系统以及用于对所述待测载片进行测试的测试机构。本申请提供的双卡盘测试系统，通过七轴直线运动系统可对待测载片的位置、高度和角度进行调整，通过测试机构可对待测载片进行测试，不依赖人工的操作熟练度和感官，无可进行大批量测试，而且不容易损伤器件。

技术研发人员：喻洪超,杜柏琳,荣阳,邓奎
受保护的技术使用者：四川川浦融科技有限公司
技术研发日：20240418
技术公布日：2024/12/10