专利名称：电解电容器电极用铝材的制造方法、电解电容器电极用铝材和电解电容器用电极材料的 ...的制作方法
技术领域：
本发明涉及电解电容器用铝材的制造方法、电解电容器电极用铝材、电解电容器用电极材料的制造方法和铝电解电容器。
在本说明书中，所谓“铝”采用包括其合金的含义，铝材中包括箔、板和使用它们的成型体。
背景技术：
由于作为铝电解电容器用电极材料通常使用的铝材要求具有大表面积并且单位面积的静电容量大，因此，要施以电化学或者化学蚀刻处理，来扩大铝材的实效面积。
以增大这种实效面积为目的，在与使蚀刻孔更多、更粗有关的材料的组成、制造工序、蚀刻方法等各方面一直进行着研究。
例如，在采用直流蚀刻法产生隧道状坑(ピツト)的电解电容器用铝材的制造中，通常，为了使(100)面的结晶方位发达，在500℃左右的温度下在惰性气氛或者真空中进行最终的退火。所谓最终退火是在精制冷轧后或者精制冷轧和洗涤之后进行的工序。
在最终退火时在铝材表面上生成结晶性氧化物粒子时，在电解蚀刻时从结晶周边产生蚀刻坑，这在一部分文献中有记载(例如，福冈洁，大泽伸夫，本居彻也，轻金属学会第95回秋季大会讲演概要第265页(1998)，大泽伸夫，福冈洁；表面技术，50[7]，643(1999))，在铝材表面上生成这种结晶性氧化物粒子被认为有助于提高静电容量。
但是，如前所述，在最终退火的一般气氛即惰性气氛或者真空气氛下，由于气氛中的氧极其微量，因此，即使进行了最终退火，也难以发生结晶化。反之，如果在氧化性气氛下进行高温退火，则氧化覆膜变厚，蚀刻坑的均一性将降低。
作为在铝材表面上大量析出结晶的方法，在特公昭58-34926号公报中公开了通过在最终退火前向铝材表面吹蒸汽或者湿润的空气的方法，在大气中在200℃左右的温度下加热的方法，在加热的水或者胺水溶液中浸渍铝材的所谓勃姆石处理方法等形成水合处理覆膜。
水合处理覆膜虽然通过其后的最终退火使结晶性氧化物容易在铝材表面析出，但是在表面具有大量的Al-0H基，因此，在板卷的状态或者重叠单板的状态下进行分批退火时，存在所谓容易粘连的问题。而且，采用在大气中在200℃左右的温度下加热的方法，为了获得再现性良好的目的氧化膜，必须进行水蒸汽量的控制等精确的气氛控制，并且存在铝箔表面达到目的温度需要时间的缺陷。
在特开昭63-116417号公报中，公开了通过在含有氧或者水分的氧化性气氛中连续最终退火使γ-Al2O3析出的技术，但是，由于最终退火时间短，因此有可能γ-Al2O3的析出不足。
而且，为了使蚀刻特性优良并且获得高静电容量，在特开平7-201673号公报中公开了电解电容器电极用铝材的制造方法，其特征在于实施除去铝箔的表面层的工序，除去后，在温度40～350℃、露点0～80℃、时间30～1800秒的条件下进行加热的工序，加热氧化后，在非氧化性气氛进行退火的工序。
另外，在特开平5-279815号公报中，公开了电解电容器阳极用铝箔的制造方法，其特征在于，在最终退火前的洗涤处理时，将铝箔表面的阻挡型氧化覆膜的厚度调整到2.5埃或其以下，并且在上述洗涤处理后，在上述成品退火处理之前，将该铝箔在150～400℃的氧化气氛中加热处理，使该铝箔表面的阻挡型氧化覆膜的厚度生长到10埃或其以下，并记载了加热处理的时间优选5分钟～3小时左右。
但是，采用上述特开平7-201673号公报和特开平5-279815号公报的方法，由于在洗涤后进行了加热，因此获得了稳定化的铝材表层氧化覆膜，加热方法是气氛加热，因此，存在通过极力加热生成的氧化覆膜容易受到气氛的影响，并且加热处理花费时间的问题。
在特开平5-200406号公报中公开了通过在精轧之前进行表层除去洗涤、在最终退火前进行连续低温加热，在增大静电容量的同时，降低铝材板卷在宽度方向的静电容量偏差的方法。
但是，在特开平5-200406号公报中，由于在最终退火前进行了气氛加热，铝表层氧化膜变得稳定，但是存在为了得到再现性优良的目的氧化膜，必须进行水蒸气量等的精确气氛控制，而且为了进行气氛加热，铝材要达到目的温度花费时间的问题。
在特开平11-36053号公报中公开了将最终退火后的铝材在大气中、真空中或者惰性气氛中加热，在表面生成大量成为坑的基点的缺陷，防止其之外的表面溶解，提高静电容量的方法。在特开平5-255821号公报中记载了在用碱水溶液洗涤最终退火(成品退火)后的铝箔之后，通过在150～400℃下进行气氛加热，达到了提高静电容量并且降低偏差的目的。
但是，上述现有的最终退火后的加热处理是在大气中、真空中或者惰性气氛中进行的，因此极易受到氧或水蒸气量的影响，为了再现性良好地将氧化膜用于蚀刻，必须进行水蒸气量等的精确气氛控制，而且还存在铝箔表面要达到目的温度需要花费时间的问题。
本发明的目的是提供不需要精确的气氛控制，能够在短时间处理，蚀刻特性均匀、通过蚀刻获得的扩面率大的电解电容器电极用铝材的制造方法和电解电容器电极用铝材。
本发明的另一目的是提供采用了上述铝材的电解电容器用电极材料的制造方法和铝电解电容器。
发明的公开本发明是电解电容器电极用铝材的制造方法，其特征在于在依次对铝板进行热轧、冷轧、最终退火来制造电解电容器电极用铝材时，在上述热轧以后的工序中包括通过将铝材与加热体接触来加热的工序。
铝材与加热体的接触加热工序只要在热轧之后任何时候都可以。具体地，在从上述冷轧开始到结束的过程中的工序中至少进行一次上述铝材与加热体的接触加热工序即可。或者，可以在上述冷轧之后最终退火之前进行上述铝材与加热体的接触加热工序，也可以在最终退火之后进行。
加热方法采用接触加热，这是因为由于通过加热体表面能够在短时间内使铝材表面均匀地达到目的温度，因此比较容易控制，并且由于能够在短时间内快速加热，能够减少气氛的影响。
本发明的其他目的、特征和效果通过以下的说明将更加清楚。用于实施发明的最佳方案(第1实施方案)本实施方案是在从上述冷轧开始到结束的过程中的工序中至少进行一次铝材与加热体接触的加热工序的情况。
本发明者发现，在从冷轧(包括精制冷轧)开始到结束的过程中的工序中，通过至少一次与加热体接触来加热铝材，使铝表层氧化膜致密并且均质，由此，在最终退火之后，能够得到蚀刻特性均匀并且静电容量高的电解电容器电极用铝材。
加热方法采用接触加热，这是因为由于通过加热体表面能够在短时间内使铝材表面均匀地达到目的温度，因此比较容易控制，并且由于能够快速并在短时间内加热，因此能够减少气氛的影响。
在冷轧过程中的工序中，通过至少一次与加热体接触而被加热的铝材，在冷轧后，根据需要在洗涤之后进行最终退火。
在最终退火时在铝表面生成结晶性氧化物粒子时，在一部分文献中描述了在电解蚀刻时从结晶周边开始产生蚀刻坑(例如大泽伸夫，福冈洁；表面技术，50[7]，643(1999))，使铝材表面上生成这种结晶性氧化物粒子可以认为有助于提高静电容量。
通过接触加热而具有致密均质化的表面氧化膜的铝材，通过之后的冷轧成为在整个表面上均匀存在缺陷的铝材。这样得到的冷轧后的铝材通过直接或者在用不溶解铝材的洗涤液进行洗涤后进行最终退火，能够得到这样的电解电容器电极用铝材，在其表面均匀分散着细微结晶性氧化物等将成为蚀刻坑的核的物质。
能成为上述蚀刻坑的核的物质不仅包括结晶性氧化物，还包括非晶质但密度高的物质或者厚的物质、非晶质中含有结晶性氧化物或者金属铝的物质。而且，作为结晶性氧化物的种类，有以γ-Al2O3为主的Al2O3、以勃姆石为主的AlOOH、与含铝以外的金属(例如Mg、Pb、Cu等)的复合氧化物等，但是并不特别限于金属氧化物或者金属氢氧化物等。
在上述铝材表面的氧化覆膜中，如果产生与其他地方特性不同的物质，可以认为是在蚀刻时可形成蚀刻坑的核，通过在最终退火前快速加热，在退火时产生结晶或转变成结晶之前的状态的非晶质、在非晶质中包括结晶或金属铝的物质，可以推测它们将构成蚀刻坑的核。
在最终退火前用溶解铝的洗涤液洗涤时，通过接触加热能够除去在铝材表面上产生的氧化物，但是，由于与没有进行接触加热的情况相比，表面被洗涤液均匀溶解，因此，最终退火后得到的铝材变成在表面均匀存在成为蚀刻坑的核的物质的铝材。
在本实施方案中，在冷轧工序的过程中，在基于消除上述工序的轧制产生的铝材结晶组织的变形的目的进行中间退火时，通过在中间退火之前对铝材进行接触加热使铝材的表层氧化膜致密均质，能够防止中间退火时氧化膜的成长，并且能够使铝材板卷的宽度方向和长度方向的铝表层氧化膜均质化。
下面说明电解电容器用铝材的制造方法。
铝材的纯度只要在能够用在电解电容器的范围内，就没有特别的限定，优选纯度为99.9质量％或其以上，特别优选99.95质量％或其以上。在本发明中，铝材的纯度是100％减去Fe、Si、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti和Ga的合计浓度(质量％)的值。
铝材的制造没有限定，依次实施包括铝材溶解成分的调整、扁坯压铸、均热处理、热轧、包括精制冷轧(低压下轧制)的冷轧、最终退火，在冷轧开始后结束前的冷轧过程中的工序中，通过与加热体接触至少一次加热铝材。例如，在精制冷轧前的第1次冷轧过程中、第1次冷轧和精制冷轧之间等进行接触加热。另外，铝材的制造工序条件可根据与铝材的蚀刻条件等的关系进行适当改变。
在冷轧工序的过程中，基于消除由上述工序的轧制产生的铝材结晶组织的变形的目的，可以进行中间退火。在中间退火之前的工序或者冷轧后最终退火之前，基于除去铝材表面的杂质或油分的目的，可以进行洗涤。
上述铝材的接触加热是为了通过使铝材表层氧化膜成为致密均质，在最终退火后得到蚀刻特性均匀并且静电容量高的电解电容器电极用铝材而进行的。
但是，如果过大地增大接触加热后的轧制加工率，由接触加热产生的使蚀刻特性均一的效果将减小，因此，在最终的接触加热后，以再次轧制开始前的铝材厚度为A(微米)、整个冷轧结束后的铝材厚度为B(微米)时，优选用{(A-B)/A}×100％表示的接触加热后的轧制加工率为60％或其以下，特别优选为30％或其以下。
接触加热的手段可以为热辊、加热带、加热板等可进行接触加热的装置，可以每个单面加热，也可以只加热里外的一方。作为加热体的加热表面的材质，可以自由选择不锈钢、电镀材料、陶瓷、特氟隆树脂(注册商标)、有机硅树脂等，但是，优选铝材的表面氧化膜在加热体的表面不凝结的物质。
与铝材接触的加热体的表面温度优选为50～450℃。在加热体的表面温度不足50℃时，加热不充分，有可能最终退火时结晶性氧化物微粒等可成为蚀刻坑核的物质的生成不足。另一方面，如果高于450℃，氧化膜变得过厚，冷却时产生皱褶，有可能产生操作上的问题。更优选的加热体表面温度为60～400℃，进一步优选为100～350℃。特别优选的加热体表面温度为160～290℃。
铝材表面和加热体表面的接触时间优选为0.001～60秒。接触时间不到0.001秒时无法充分加热铝材表面，恐怕不能均匀地产生可形成蚀刻坑的物质。另一方面，即使加热比60秒长的时间，氧化膜的均质效果也可能达到饱和。特别优选的接触时间为0.01～30秒。进一步优选的接触时间为0.1～10秒。
加热体的表面温度和接触时间可以考虑接触前的铝材表面的氧化膜特性适当选择。接触加热气氛没有特别限定，不需要特别的气氛控制，能够在空气中实施。
作为加热体采用热辊的加热装置的一个例子，为了在目的温度下接触加热铝材表里面，可以举出配置有至少两个热辊的装置。在用热辊等接触加热铝材后的铝材卷绕时产生皱褶的情况下，也可以采用在用热辊等进行加热之后使其通过一个或者多个冷却辊等冷却体，使铝材冷却，然后卷绕的构成。特别是，通过作为冷却体使用冷却辊，能够简便并且连续地进行冷却。而且，在用热辊等将铝材加热到目的接触加热温度之前，可以采用另外的热辊，预先将铝材的温度提高到低于目的接触加热温度的低温。
在中间退火之前的工序或者冷轧之后最终退火之前进行的洗涤中使用的液体没有特别限定，可以使用有机溶剂、碱水溶液、酸水溶液、胺水溶液、氨水、水中加入了表面活性剂的液体等。
作为上述有机溶剂的例子，可以举出醇、二醇、甲苯·二甲苯等芳香烃、烷烃、环己烷、酮、醚、酯、石油制品等，但是，并不限于此。而且，可以混合多种有机溶剂，在可与水混合的有机溶剂的情况下，根据需要也可以与水混合使用。
作为中间退火之前的工序或者冷轧后最终退火前进行洗涤使用的洗涤液，可以是碱水溶液或者酸水溶液。对碱水溶液中所含有的碱没有特别的限定，可以举出氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化钙、硅酸钠等，可以将含有至少一种或其以上的碱的水溶液作为洗涤液使用。另外，作为酸水溶液中所含的酸，没有特别的限定，可以举出盐酸、硫酸、磷酸、硝酸等，可以将含有至少一种或其以上这些酸的水溶液用作洗涤液。
上述洗涤中的洗涤液与铝材接触的方法没有特别限定，可以举出浸渍、铝材与洗涤液表面的接触、喷淋等。
在进行精制冷轧后，如果需要在洗涤之后，可在促进可成为蚀刻坑核的物质的生成的同时，将铝材的结晶组织的位向调整到(100)位向，提高蚀刻特性，进行以此为主要目的最终退火。
在最终退火中，优选进行的最终退火要能使前述工序即冷轧工序过程中的接触加热工序中在铝材上形成的氧化膜的厚度在最终退火工序不过度地增大，蚀刻特性不变差，而且使最终退火后氧化覆膜的总厚度以按照ハンタ-ホ-ル法(参照M.S.Hunter and P.Fowle，J.Electrochem.Soc.，101[9]，483(1954))得到的厚度计为2.5～5nm。而且，优选最终退火后的铝材的(100)面积率为90％或其以上。
该最终退火中的处理气氛没有特别限定，优选在含少量水分和氧的气氛中加热，以使氧化覆膜的厚度不会过度增大。具体地，优选在氩气、氮气等惰性气体中或者0.1Pa或其以下的真空中加热。
最终退火的方法没有特别限定，可以在卷绕成板卷的状态下进行分批退火，也可以在退绕板卷连续退火后再卷绕成板卷，也可以将分批退火和连续退火的至少任意一方进行数次。
最终退火时的温度、时间没有特别的限定，例如，在板卷状态下进行分批退火时，优选在铝实体温度为450～600℃下进行10～50个小时的退火。这是因为，铝实体温度不足450℃，时间不足10分钟时，氧化覆膜中可形成蚀刻坑的核的物质的生成不足，其分散状态变得过度稀疏，恐怕达不到以结晶为蚀刻核的蚀刻时的扩面效果，并且，还有可能(100)面的结晶位向的发达不足。反之如果超过600℃进行退火，在以板卷进行分批退火时，铝材容易发生粘结，而即使超过50个小时进行退火，蚀刻面积扩大的效果饱和，反而导致热能成本的增大。特别优选的温度以铝实体温度计为460～580℃，时间为20分钟～40小时。
升温速度和模式没有特别限定，可以以一定的速度升温，也可以反复进行升温、保持温度同时进行逐级升温和冷却，退火工序中铝实体温度在450～600℃的范围内退火共计10分钟到50个小时即可。最终退火后得到的电解电容器电极用铝材的厚度没有特别规定。
对结束最终退火的铝材进行用于提高扩面积率的蚀刻处理。蚀刻条件没有特别限定，优选采用直流蚀刻法。采用直流蚀刻法，在上述最终退火中被促进生成的可成为蚀刻坑的核的部分，被又深又粗地蚀刻，生成许多隧道状坑，可实现高静电容量。
蚀刻处理后，可以进行所希望的化学转换处理，制成阳极材料，特别是，可以作为中压用和高压用的电解电容器电极材料使用，当然用作阴极材料也没有问题。
通过将上述阳极材料和/或阴极材料用作电极材料，能够构成铝电解电容器。这种电解电容器，由于增大了电极材料的扩面率，因此，具有大的静电容量。
在该实施方案中，由于在冷轧工序的过程中通过与加热体接触将铝材加热，然后进行最终退火，因此，能够制造蚀刻特性均匀的电解电容器用铝材。特别是，由于加热方法使用接触加热，因此，能够在短时间内使铝箔表面均匀地达到目的温度，因此，温度控制比较容易，并且，由于能够快速并且在短时间内加热，因此，能够减小气氛的影响。因此，通过蚀刻这种电解电容器用铝材，能够均匀地产生蚀刻坑，有效地进行蚀刻，其结果可提高扩面率，因而可得到静电容量增大的电解电容器电极材料，结果，能够得到静电容量大的铝电解电容器。
另外，对于化学转化处理后的蚀刻箔，静电容量的测定可按照常规方法进行，例如，在30℃的80g/L的硼酸铵中，以铂板作为对电极在120Hz进行测定等。
本发明的电容器，并不限于实施例的电容器。
(第2实施方案)该实施方案是在上述冷轧之后最终退火之前进行铝材与加热体的接触加热工序的情况。
即，在冷轧以后的工序中，通过与加热体接触加热铝材，由此，通过其后的退火在铝材表面上使可成为蚀刻坑核的物质析出。加热方法采用接触加热，这是因为由于通过加热体表面能够在短时间内使铝材表面均匀地达到目的温度，因此比较容易控制，并且由于能够快速并在短时间内加热，因此能够减少气氛的影响。
在电解电容器用铝材的制造中，目前为了使(100)面的结晶位向发达，通常在450～600℃的温度范围下在惰性气氛或者真空中进行最终退火，但是结晶性氧化物等可成为蚀刻坑核的物质的生成不足。这样，在最终退火之前通过接触加热来快速加热，在最终退火时能够促进结晶性氧化物微粒等可成为蚀刻坑核的物质的生成。
这里，可成为蚀刻坑核的物质不仅包括结晶性氧化物，还包括非晶质的密度高的物质或者厚的物质，以及在非晶质中含有结晶性氧化物或金属铝的物质。而且，作为结晶性氧化物的种类，有以γ-Al2O3为主的Al2O3、以勃姆石为主的AlOOH、与含有铝以外的金属(例如Mg、Pb、Cu等)的复合氧化物等，但是并不特别限于金属氧化物或者金属氢氧化物等。
在这样的铝材表面的氧化覆膜中，如果产生与其他地方特性不同的物质，可以认为是在蚀刻时可成为蚀刻坑的核，通过在最终退火前快速加热，在退火时生成结晶或转变成结晶之前的状态的非晶质、在非晶质中包括结晶或金属铝的物质，可以推测它们可成为蚀刻坑的核。
作为快速加热的方法采用与加热体的接触加热是因为具有下面的优点，如上所述，能够在极短的时间使铝材表面达到目的温度，生产性优良，又由于能够在短时间内加热，不易受到气氛的影响，只要与铝材表面接触的加热体表面的温度均匀，就能够在铝板卷的纵向和横向形成均匀的氧化膜。
下面说明电解电容器用铝材的制造方法。
铝材的纯度只要在能够用在电解电容器的范围内，就没有特别的限定，优选纯度为99.9质量％或其以上，特别优选99.95质量％或其以上。铝材的纯度是100质量％减去Fe、Si、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti和Ga的合计浓度(质量％)的值。
铝材的制造没有限定，依次实施包括铝材溶解成分的调整、扁坯压铸、均热处理、热轧、冷轧、精制冷轧(低压下轧制)、接触加热。优选铝材的(100)面积率为90％或其以上，基于铝材与蚀刻条件的关系，可适当改变铝材的制造工艺条件。在轧制工序的过程中，基于消除由前面工序的轧制产生的铝材的结晶组织的变形的目的，可以进行退火(称为中间退火)。另外，基于在中间退火之前的工序中除去铝表面的杂质或油分的目的，可以进行洗涤。
中间退火之前的工序中使用的洗涤液没有特别的限定，可以使用碱水溶液、酸水溶液和有机溶剂等。
进行完轧制工序的铝材由于表面存在油分，根据需要，优选在最终退火之前后述的接触加热之前或者接触加热之后的至少任意一方进行洗涤。通过进行这样的洗涤，可以进一步发挥接触加热的效果，获得更大的静电容量。
在没有进行轧制结束后洗涤而进行接触加热的、在铝材表面上附着着大磨耗粉等的情况下，优选通过洗涤除去。
上述接触加热之前或者接触加热之后的洗涤中使用的洗涤液是以脱脂为目的，因此能够使用在有机溶剂或水中加入了表面活性剂的洗涤液。
作为有机溶剂可以使用不溶解铝的物质，例如可以举出醇、二醇、甲苯·二甲苯等芳香烃、烷烃、环己烷、酮、醚、酯、石油制品等，但是，没有特别限定。
作为上述醇的例子，可以举出甲醇(CH3OH)、乙醇(C2H5OH)、1-丙醇(CH3CH2CH2OH)、2-丙醇(CH3CH2(OH)CH3)、1-丁醇(CH3CH2CH2CH2OH)、2-丁醇(CH3CH2CH2(OH)CH3)、1-戊醇(CH3CH2CH2CH2CH2OH)、2-戊醇(CH3CH2CH2CH2(OH)CH3)等，优选用CnH2n+1OH(n＝1～10的自然数)表示的醇。而且，还可以使用环己醇等脂肪烃类。
作为上述二醇的例子，可以举出1，2-乙二醇(HOCH2CH2OH)、1，2-丙二醇(CH3CH(OH)CH2OH)、1，3-丙二醇(HOCH2CH2CH2OH)等。
作为上述烷烃的例子可以举出戊烷(C5H12)、己烷(C6H14)、庚烷(C7H16)、辛烷(C8H18)、壬烷(C9H20)、癸烷(C10H22)等，优选用CnH2n+2(n＝5～15的自然数)表示的烃。也可使用环己烷等脂肪烃。
作为上述酮的例子，可以举出丙酮(CH3COCH3)、2-丁酮(CH3COC2H5)、3-戊酮(CH3CH2COCH2CH3)、3-甲基-2-丁酮(CH3COCH(CH3)2)等，优选R1COR2(R1和R2是脂肪族烃基，R1和R2的碳原子数的合计为8或其以下)表示的酮。而且优选使用环己酮(C6H10O)等环状酮。
作为上述醚的例子包括R1-O-R2(R1和R2表示脂肪烃基，R1和R2的碳原子总数为8或其以下)表示的物质、2-甲氧基乙醇(CH3OCH2CH2OH)、2-乙氧基乙醇(CH3CH2OCH2CH2OH)、2-丁氧基乙醇(CH3CH2CH2CH2OCH2CH2OH)、2-(2-乙氧基)乙氧基乙醇(CH3CH2OCH2CH2OCH2CH2OH)等乙二醇醚。
作为上述酯的例子可以举出CH3COOR(R是碳原子数为1～5的脂肪烃基)表示的醋酸酯。
作为上述石油制品的例子，可以举出工业汽油(JIS K 2201)、汽车汽油(JIS K2202)、航空汽油(JIS K 2206)、灯油(JIS K 2203)、轻油(JIS K 2204)、航空汽油(JIS K 2206)、石油醚(JIS K 8593)、石油挥发油(JIS K 8594)、轻石油(JIS K 8937)、煤油等。
作为上述有机溶剂，可以将多种有机溶剂混合使用，在能与水混合的有机溶剂的情况下，根据需要可以与水混合使用。
另一方面，作为上述洗涤中使用的、在水中加入了表面活性剂的洗涤液中所含的表面活性剂，可以使用阴离子表面活性剂、阳离子表面活性剂、非离子性表面活性剂。
作为阴离子表面活性剂可以使用硫酸酯盐、磺酸盐。
作为上述硫酸酯盐，可以使用R-OSO3Na(R是碳原子数8～18的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基)，具体地可以举出十二烷基硫酸钠(C12H25OSO3Na)、十六烷基硫酸钠(C16H33OSO3Na)、十八烷基硫酸钠(C18H37OSO3Na)、油基硫酸钠(C18H35OSO3Na)等。
上述磺酸盐可以使用R-SO3Na(R为碳原子数8～18的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基)或者十二烷基苯磺酸钠(C12H25-C6H4-SO3Na)等R-SO3Na(R是烷基为碳原子数8～14的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基的烷基苄基)表示的磺酸盐。
作为阳离子表面活性剂，可以使用R-N+(CH3)3·Cl-(R是碳原子数8～16的饱和烃基)表示的季铵盐。
作为非离子型表面活性剂，可以举出R-O-(-CH2CH2O)nH(R是碳原子数8～16的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基，n＝6～14)或者R-O-(-CH2CH2O)nH(R是烷基为碳原子数8～12的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基的烷基苯基，n＝6～14)表示的聚乙二醇型非离子表面活性剂。在非离子性表面活性剂中可以以50％或其以下的摩尔比含有n大于上述范围的表面活性剂。
上述表面活性剂的至少一种或其以上可以加入到水中作为洗涤液使用。表面活性剂的碳原子数低于上述范围的表面活性剂可以以50％或其以下的摩尔比加入。另外，由于阴离子表面活性剂和阳离子表面活性剂在水中混合产生沉淀，因此，优选避免混合。
表面活性剂的加入浓度没有特别规定，但是为了发挥洗涤效果，优选临界胶粒浓度或其以上。
在上述洗涤工序中，作为洗涤液使用的有机溶剂或者表面活性剂水溶液与铝材接触的方法没有特别限定，可以列举浸渍、洗涤液表面与铝材接触、喷射等。
另外，基于进一步除去铝材表面的油分或磨耗粉的目的，在洗涤液和铝材的接触中可以使铝材与刷子或海绵接触，再进一步擦去。
在洗涤工序，洗涤液与铝材的接触时间没有特别限定，优选为0.5秒～10分钟。洗涤液和铝材的接触时间不足0.5秒时，洗涤不充分，即使接触超过10分钟，洗涤效果达到饱和。洗涤液的液温在是有机溶剂的情况下优选为5～60℃，在是水中加入了表面活性剂的洗涤液的情况下优选为5～80℃。洗涤液的液温在不足下限的情况下，洗涤力不足，即使在高于上限的高温下洗涤，洗涤力也达到了饱和。
铝材洗涤之后，可以根据需要进行干燥。作为干燥方法，可以使用例如在空气中加热、在惰性气氛下加热和真空加热。在空气中干燥时的气氛温度优选在200℃或其以下，干燥时间在10分钟或其以下。这是因为如果干燥温度高于200℃，或加热时间长于10分钟，氧化膜生长过度，蚀刻特性有可能降低。
轧制结束后的铝材或者轧制结束后进行了洗涤的铝材，为了通过其后的退火产生许多蚀刻坑的核而进行接触加热。加热手段可以是热辊、加热带、加热板等可进行接触加热的装置，从能够简便连续进行接触加热的方面考虑优选热辊。另外，可以每个单面进行加热，也可以只加热里外面的一方。作为加热体的加热表面的材质，可以自由选择不锈钢、电镀材料、陶瓷、特氟隆树脂(注册商标)、有机硅树脂等，但是，优选铝材的表面氧化膜在加热体的表面不凝结的物质。
与铝材接触的加热体的表面温度优选为50～450℃。在加热体的表面温度不足50℃时，加热不充分，恐怕在接触加热后进行退火时结晶性氧化物微粒等可成为蚀刻坑的核的物质的生成不足。另一方面，如果高于450℃，氧化膜变得过厚，冷却时产生皱褶，恐怕产生操作上的问题。更优选的加热体表面温度为80～400℃，进一步优选为100～350℃。特别优选的加热体表面温度为160～290℃。
铝材表面和加热体表面的接触时间优选为0.001～60秒。接触时间不到0.001秒时不能充分加热铝材表面，而且有可能可成为蚀刻坑核的物质的生成不充分。另一方面，如果加热长于60秒，氧化膜变得过厚，有可能不易产生蚀刻坑。更优选的接触时间为0.001～30秒，进一步优选的接触时间为0.01～10秒。特别优选的接触时间为0.1～7秒。
加热体的表面温度和接触时间可以考虑接触前铝材表面的氧化膜特性适当选择。接触加热气氛没有特别限定，不需要特别的气氛控制能够在空气中进行。
作为加热体采用热辊的加热装置的一个例子，可以举出为了在目的温度下接触加热铝材的表里面配置了至少两个热辊的装置。在用热辊等接触加热铝材后的铝材卷绕时产生皱褶的情况下，可以采用在用热辊等进行加热后通过一个或者多个冷却辊等冷却体，使铝材冷却，然后卷绕的构成。特别是，通过作为冷却体使用冷却辊，能够简便并且连续地进行冷却。而且，在用热辊等将铝材加热到目的接触加热温度之前，可以采用另外的热辊，预先将铝材的温度提高到低于目的接触加热温度的低温。
接触加热后，如果需要，进行上述洗涤之后，以促进可成为蚀刻坑核的物质的生成的同时，将铝材的结晶组织的位向调整到(100)位向，提高蚀刻特性为主要目的进行最终退火。
另外，在最终轧制和最终退火之前，当然可以进行除上述工序之外的其他工序，例如，用于将铝材板卷分割的切割工序等。
在最终退火中，优选进行的最终退火是使前述工序即接触加热工序中在铝材上形成的氧化膜的厚度在最终退火工序不过度地增大，并且不使可成为蚀刻坑核的可能性消除，而且使最终退火后氧化覆膜的总厚度以按照ハンタ-ホ-ル法(参照M.S.Hunter and P.Fowle，J.Electrochem.Soc.，101[9]，483(1954))得到的厚度计为2.5～5nm。而且，优选最终退火后的铝材的(100)面积率为90％或其以上。
该最终退火中的处理气氛没有特别限定，优选在含有少量水分和氧的气氛中加热，以使氧化覆膜的厚度不会过度增大。具体地，优选在氩气、氮气等惰性气体中或者0.1Pa或其以下的真空中加热。
最终退火的方法没有特别限定，可以在卷绕成板卷的状态下进行分批退火，也可以在退绕板卷连续退火后再卷绕成板卷，也可以将分批退火和连续退火的至少任意一方进行数次。
最终退火时的温度、时间没有特别的限定，例如，在板卷状态下进行分批退火时，优选在铝实体温度为450～600℃下进行10分～50个小时的退火。这是因为，铝实体温度不足450℃，时间不足10分钟时，可成为氧化覆膜中蚀刻坑的核的物质的生成不足，其分散状态变得过度稀疏，恐怕不能期待以结晶为蚀刻核的蚀刻时的扩面效果，并且，还有可能(100)面的结晶位向的发达不足。反之如果超过600℃进行退火，在以板卷进行分批退火时，铝材容易发生粘结，而即使超过50个小时进行退火，通过蚀刻的面积扩大效果饱和，反而导致热能成本的增大。更优选的温度以铝实体温度计为460～600℃，特别是500～580℃，时间为20分钟～40小时。
最终退火的升温速度和模式没有特别限定，可以以一定的速度升温，也可以反复进行升温、保持温度同时进行逐级升温和冷却，退火工序中铝实体温度为450～600℃的范围内退火共计10分钟到50个小时即可。另外，最终退火后得到的电解电容器电极用铝材的厚度没有特别规定。
对结束了最终退火的铝材进行蚀刻处理以提高扩面积率。蚀刻处理的条件没有特别限定，但优选采用直流蚀刻法。采用直流蚀刻法，在上述最终退火中被促进生成的可成为蚀刻坑的核的部分，被又深又粗地蚀刻，生成许多隧道状坑，可实现高静电容量。
蚀刻处理后，可以进行所希望的化学转换处理，制成阳极箔，特别是，可以作为中压用和高压用的电解电容器电极材料使用。当然用作阴极材料也没有问题。
通过将上述阳极材料和/或阴极材料用作电极材料，能够构成铝电解电容器。这种电解电容器，由于增大了电极材料的扩面率，因此，具有大的静电容量。
在该实施方案中，由于通过在冷轧工序后通过与加热体接触将铝材加热，然后进行退火，因此，能够制造在箔表面上析出许多可成为蚀刻坑核的物质的、蚀刻特性优异的电解电容器用铝材。特别是，由于加热方法使用接触加热，因此，能够在短时间内使铝材表面均匀地达到目的温度，因此，温度控制比较容易，并且，由于能够快速并且在短时间内加热，因此，能够减小气氛的影响。因此，通过蚀刻这种电解电容器用铝材，在上述可成为蚀刻坑核的物质的存在位置，能够有效地进行蚀刻，其结果可提高扩面率，进而可成为静电容量增大的电解电容器电极材料，结果可得到具有大静电容量的铝电解电容器。
通过在与加热体的接触之前或者接触之后的至少任意一方洗涤铝材，能够获得静电容量进一步增大的效果。
另外，对于化学转化处理后的蚀刻箔，静电容量的测定可按照常规方法进行，例如，在30℃的80g/L的硼酸铵中，以铂板作为对电极在120Hz进行测定等。
本发明的电容器，并不限于实施例的电容器。
(第3实施方案)该实施方案是在上述冷轧之后、用能溶解铝的液体洗涤铝材之后、最终退火之前进行上述铝材与加热体的接触加热工序的情况。
通过使铝材与加热体的接触进行加热的接触加热，在能够在短时间内通过加热体的接触面使铝材表面达到目的温度方面是优良的，并且还具有由于可在短时间内加热，因此气氛的影响小，温度控制容易的优点。
如果蚀刻通过上述制造方法得到的铝材，实效面积将增大，这是因为通过退火前的接触加热可使铝材表层的氧化覆膜稳定化，并由此在退火时在表面上均匀产生成为蚀刻坑核的结晶性氧化物粒子。
作为结晶性氧化物的种类，有以γ-Al2O3为主的Al2O3、以勃姆石为主的AlOOH、含有铝以外的金属(例如Mg、Pb、Cu等)的氧化物和氢氧化物、铝和含有铝之外的金属(例如Mg、Pb、Cu等)的复合金属氧化物或者氢氧化物，但没有特别的限定，可以是单晶的，也可以是多晶的。而且，单一或者多种结晶可以覆盖无定形物质形成一个粒子，也可以在凝集的氧化物结晶之间存在无定形氧化物。
下面，说明本发明电解电容器电极用铝材的制造方法。
本制造方法所使用的铝材的纯度只要在能够用在电解电容器电极的范围内，就没有特别的限定，优选纯度为99.9质量％或其以上，特别优选99.95质量％或其以上。本发明铝材的纯度是100质量％减去Fe、Si、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti和Ga的合计浓度(质量％)后的值。
用能溶解铝的液体洗净的铝材可以经过铝材溶解和成分的调整、扁坯压铸、均热处理、热轧、冷轧、中间退火、精制冷轧(低压下轧制)各工序来制造。这些工序可以按照一般方法进行，没有特别的限定，但是，可以根据铝材与蚀刻条件的关系适当改变铝材的制造工序条件。
另外，在轧制工序的过程中，基于消除由上述工序的轧制产生的铝材结晶组织的变形的目的，可以进行退火(中间退火)。而且，在中间退火之前的工序中，基于除去表面杂质或油分的目的，可以采用酸水溶液、碱水溶液或者有机溶剂进行洗涤。
为了在铝材表层上生成均质稳定的氧化覆膜，并且在最终退火时在铝材表面上以良好的分散性生成构成蚀刻坑核的结晶性氧化物粒子，用能溶解铝的液体洗涤最终轧制之后的铝材，然后，进行接触加热。
作为能溶解铝的液体，可以举出含有选自酸、碱、氨、胺类中的至少一种的水溶液等，优选在最终轧制后进行碱洗涤或者酸洗涤中至少任意一种洗涤。
作为上述碱洗涤中使用的碱洗涤液的碱，没有特别限定，可以举出氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化钙、硅酸钠、磷酸三钠、磷酸氢二钠、次氯酸钠等，可以使用含有至少一种或其以上的碱的水溶液作为洗涤液。
优选碱洗涤液中的碱浓度为0.005～50％(质量％，以下相同)，液温为5～80℃，洗涤时间为1秒～10分钟。碱浓度不足0.005％、液温不足5℃时，有可能无法获得通过洗涤进行的表面均一化的效果。如果碱浓度超过了50％，在碱洗涤后铝材表面上残留的碱的除去需要功夫，如果液温超过80℃，铝材的溶解快，恐怕洗涤难以控制。碱洗涤时间不足1秒时，洗涤有可能不足，即使超过10分钟进行洗涤，洗涤效果达到饱和，有可能会过量地使铝材溶解。特别优选碱洗涤液中碱浓度为0.05～10％、液温10～70℃、洗涤时间2秒～5分钟。
为了除去碱洗涤后铝材表面上附着的洗涤液成分的残留物，优选进行水洗。
另一方面，作为酸洗涤中使用的酸洗涤液的酸，没有特别限定，可以使用路易斯酸，例如可以举出盐酸、硫酸、磷酸、硝酸、硼酸、氢氟酸等无机酸和醋酸、草酸、柠檬酸等有机酸，可以采用含有至少一种或其以上这些酸的水溶液作为洗涤液。另外，为了提高脱脂力，可以在酸水溶液中加入表面活性剂。优选酸的浓度为0.05～50％、液温为5～80℃，洗涤时间为0.5秒～10分钟。酸洗涤时的酸浓度、液温和洗涤时间在不到上述范围的下限时，洗涤有可能不充分，如果酸浓度、液温和洗涤时间超过了上述范围的上限，洗涤效果达到饱和，有可能导致成本提高。特别优选酸浓度为0.05～30％、液温为10～70℃、洗涤时间为1秒～5分钟。
为了防止酸洗涤之后在铝材表面上附着的酸液成分过度残留，优选进行水洗。
作为碱洗涤和酸洗涤的方式，可以举出浸渍法和喷淋法等，洗涤方式没有特别限定。
可以实施碱洗涤、酸洗涤的至少任意一个，也可以双方都至少进行一次。在实施双方时，其顺序没有特别限定，可以在先实施碱洗涤后进行酸洗涤。在通过碱洗涤有效除去表面的污染层之后，通过进行酸洗涤中和铝材表面，能够形成均质并且稳定的氧化覆膜。
另外，在碱洗涤后进行酸洗涤时，酸的浓度可以低于前述的0.05～50％。洗涤时间可以比前述的0.5秒～10分钟短。
在碱洗涤或者酸洗涤之前，可以对铝材进行基于脱脂目的的有机溶剂洗涤。作为有机溶剂的例子，可以举出醇、甲苯、二甲苯等芳香烃、戊烷·己烷·脂肪烃、丙酮、酮、酯等，没有特别限定，可以混合多种有机溶剂使用。
接着，通过与加热体接触将用能溶解铝的液体洗涤过的铝材进行加热。
加热体可以是热辊、加热板、加热带等可进行接触加热的任何加热体，也可以组合多种加热手段。而且，可以同时加热铝材的表里面，也可以分别加热单面，也可以只加热表里的一个面。作为加热体加热面的材质，可以自由选择不锈钢、电镀材料、陶瓷、特氟隆树脂(注册商标)、有机硅树脂等，但是，优选铝材的表面氧化覆膜在加热体的表面不凝结的物质。
与铝材接触的加热体的表面温度优选为50～450℃。这是因为，在加热体的表面温度不足50℃时，退火后的表层氧化覆膜的结晶化率或结晶性氧化物微粒的控制不足，如果高于450℃，氧化覆膜变得过厚，加热冷却时产生皱褶，恐怕会产生操作上的问题。特别优选的表面温度为80～400℃，最优选为80～300℃。
铝材表面和加热体表面的接触时间优选为0.001～60秒。接触时间不到0.001秒时不能充分加热铝材表面，如果加热超过60秒，氧化覆膜变得过厚，在任何一种情况下都有可能不易产生蚀刻坑。更优选的接触时间为0.001～30秒，进一步优选的接触时间为0.01～20秒，最优选的接触时间为0.05～15秒。
加热体的表面温度和与铝材的接触时间可以考虑接触加热前铝材表面的氧化覆膜特性适当选择。接触加热气氛没有特别限定，不需要特别的气氛控制，在空气中就足够了。
接触加热后，可以将铝材的结晶组织的位向调整到(100)位向，进行提高蚀刻特性为主要目的的最终退火。
在最终退火中，优选进行的最终退火是使前述工序即接触加热工序中在铝材的表面上形成的氧化覆膜的厚度在最终退火工序不过度地增大，并且不使结晶性氧化物构成蚀刻坑核的可能性消除，而且使氧化覆膜的总厚度以按照ハンタ-ホ-ル法(参照M.S.Hunter and P.Fowle，J.Electrochem.Soc.，101[9]，483(1954))得到的厚度计为2.5～5nm。而且，优选最终退火后铝材的(100)面积率为90％或其以上。
该最终退火中的处理气氛没有特别限定，优选在水分和氧少的气氛中加热，以使氧化覆膜的厚度不会过度增大。具体地，优选在氩气、氮气等惰性气体中或者0.1Pa或其以下的真空中加热。
最终退火的方法没有特别限定，可以在卷绕成板卷的状态下进行分批退火，也可以在退绕板卷连续退火后再卷绕成板卷，也可以将分批退火和连续退火的至少任意一方进行数次。
最终退火时的保持温度、时间没有特别的限定，例如，在板卷状态下进行分批退火时，优选在铝实体温度为450～600℃下进行10分钟～50个小时的退火。这是因为，铝实体温度不足400℃，时间不足10分钟时，可构成氧化覆膜中蚀刻坑的核的结晶性氧化物粒子的生成不足，其分散状态变得过度稀疏，恐怕不能期待以结晶为蚀刻核的蚀刻时的扩面效果，并且，(100)面的结晶位向的发达不足。反之如果超过600℃进行退火，在以板卷进行分批退火时，铝材容易发生粘结，而且即使超过50个小时进行退火，蚀刻面积扩大的效果饱和，反而导致热能成本的增大。特别优选的温度以铝实体温度计为460～600℃，时间为30分钟～40小时。
最终退火的升温速度和模式没有特别限定，可以以一定的速度升温，也可以反复进行升温、保持温度的同时进行逐级升温和冷却。可以在铝实体温度为450～600℃的温度范围内退火共计10分钟到50个小时。
最终退火后得到的电解电容器电极用铝材的厚度没有特别规定。
对最终退火后的铝材进行用于扩大表面积的蚀刻处理。蚀刻处理条件没有特别限定，优选采用直流蚀刻法。采用直流蚀刻法，铝材表面上存在的结晶性氧化物粒子形成蚀刻坑核，生成许多隧道状坑。
蚀刻处理后，可以进行化学转化处理，形成阳极材料，特别是，可以作为中压用和高压用的电解电容器电极材料使用。当然作为阴极材料或者低压用材料使用也没有问题。
在该实施方案中，由于通过接触加热用能溶解铝的液体洗涤后的铝材，使铝材的表层氧化覆膜稳定化，然后通过退火，能够制造可获得蚀刻特性优良的高静电容量的电解电容器电极用铝材。特别是，由于加热方法使用接触加热，因此，能够在短时间内使铝材表面均匀地达到目的温度，因此，温度控制比较容易，并且，由于能够快速并且在短时间内加热，因此，能够减小气氛的影响。
另外，对于化学转化处理后的蚀刻箔，静电容量的测定可按照常规方法进行，例如，在30℃的80g/L的硼酸铵中，以铂板作为对电极在120Hz进行测定等。
本发明的电容器，并不限于实施例的电容器。
(第4实施方案)该实施方案是在上述最终退火之后进行铝材与加热体的接触加热工序的情况。
即，在最终退火之后，通过与加热体接触来加热铝材，使铝材表层氧化膜均一化，由此，可得到蚀刻特性优良的电解电容器电极用铝材。加热方法采用接触加热，是因为具有如下优点，通过加热体表面能够在短时间内使铝材表面均匀地达到目的温度，比较容易控制，生产性优良，又由于能够快速并在短时间内加热，因此不易受到气氛的影响，能够形成在铝材的横向·纵向均一的氧化膜。
下面说明电解电容器用铝材的制造方法。
铝材的纯度只要在能够用在电解电容器的范围内，就没有特别的限定，优选纯度为99.9质量％或其以上，特别优选99.95质量％或其以上。铝材的纯度是100质量％减去Fe、Si、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti和Ga的合计浓度(质量％)后的值。
铝材的制造没有特制的限定，可依次实施包括铝材溶解成分的调整、扁坯压铸、均热处理、热轧、冷轧、精制冷轧(低压下轧制)、最终退火、接触加热，基于铝材与蚀刻条件的关系，可适当改变铝材的制造工艺条件。另外，在冷轧工序的过程中，基于消除由前面工序的轧制产生的铝材的结晶组织的变形的目的，可以进行退火(中间退火)。
在热轧之后、冷轧过程中或者精制冷轧后最终退火之前，基于除去铝表面的杂质或油分的目的，可以进行洗涤。上述洗涤所使用的洗涤液没有特别的限定，可以使用碱水溶液、酸水溶液和有机溶剂等。
热轧后的铝材直至最终退火后的接触加热都可以在板卷的状态下处理，可以在过程中的工序中将铝材切断，作为截断的样品进行处理。在板卷状态下进行处理时，例如可以在最终退火之前、最终退火之后、接触加热后等任意工序之间进行分割。
在精制冷轧后，如果需要进行洗涤之后，可以将铝材的结晶组织的位向调整到(100)位向，并进行以提高蚀刻特性为目的的最终退火。
在最终退火中，优选进行使氧化膜的厚度在最终退火工序中不过度地增大，并且不使蚀刻特性劣化，而且使最终退火后氧化覆膜的总厚度以按照ハンタ-ホ-ル法(参照M.S.Hunter and P.Fowle，J.Electrochem.Soc.，101[9]，483(1954))得到的厚度计为2.5～5nm那样的最终退火。而且，优选最终退火后的铝材的(100)面积率优选为90％或其以上。
该最终退火中的处理气氛没有特别限定，优选在水分和氧少的气氛中进行加热，以使氧化覆膜的厚度不会过度增大。具体地，优选在氩气、氮气等惰性气体中或者0.1Pa或其以下的真空中进行加热。
最终退火的方法没有特别限定，可以在卷绕成板卷的状态下进行分批退火，也可以在退绕板卷连续退火后再卷绕成板卷，也可以将分批退火和连续退火的至少任意一方进行数次。
最终退火时的温度、时间没有特别的限定，例如，在板卷状态下进行分批退火时，优选在铝实体温度为450～600℃下进行10～50个小时的退火。这是因为，铝实体温度不足450℃，时间不足10分钟时，有可能铝表层的状态不适合蚀刻，并且还有可能(100)面的结晶位向的发达不足。反之如果超过600℃进行退火，在以板卷进行分批退火时，铝材容易发生粘结，而且即使超过50个小时进行退火，蚀刻面积扩大的效果饱和，反而会导致热能成本的增大。特别优选的温度以铝实体温度计为460～580℃，时间为20分钟～40小时。
升温速度和模式没有特别限定，可以以一定的速度升温，也可以反复进行升温、保持温度的同时进行逐级升温和冷却，退火工序中在铝实体温度为450～600℃的温度范围内退火共计10分钟到50个小时即可。
最终退火后的铝材根据需要对表面进行洗涤之后，为了使其表层氧化膜均质化可以进行接触加热。加热手段可以是热辊、加热带、加热板等可进行接触加热的手段，可以对每个单面加热，也可以只加热里外的一方。作为加热体的加热表面的材质，可以自由选择不锈钢、电镀材料、陶瓷、特氟隆树脂(注册商标)、有机硅树脂等，但是，优选铝材的表面氧化膜在加热体的表面不凝结的物质。
与铝材接触的加热体的表面温度优选为50～450℃。在加热体的表面温度不足50℃时，加热不充分，有可能由蚀刻产生的蚀刻坑不能均匀地产生。另一方面，如果高于450℃，氧化膜变得过厚，冷却时产生皱褶，有可能产生操作上的问题。更优选的加热体表面温度为80～400℃，进一步优选为100～350℃。特别优选的加热体表面温度为160～290℃。
铝材表面和加热体表面的接触时间优选为0.001～60秒。接触时间不到0.001秒时，有可能不能使铝材的表面氧化膜均质化，并且蚀刻坑的生成不均匀。另一方面，即使加热超过60秒，氧化膜变得过厚，恐怕不易产生蚀刻坑。优选的接触时间为0.01～30秒，特别优选的接触时间为0.05～10秒。
加热体的表面温度和接触时间可以考虑接触前铝材表面的氧化膜特性适当选择。接触加热气氛没有特别限定，不需要特别的气氛控制能够在空气中进行。
作为加热体采用热辊的加热装置的一个例子，可以举出为了在目的温度下接触加热铝材的表里面配置了至少两个热辊的装置。在用热辊等接触加热铝材后的铝材卷绕时产生皱褶的情况下，可以构成为在用热辊等进行加热后使其通过一个或者多个冷却辊等冷却体，使铝材冷却，然后卷绕。特别是，通过作为冷却体使用冷却辊，能够简便并且连续地进行冷却。而且，在用热辊等将铝材加热到目的接触加热温度之前，可以采用另外的热辊，预先将铝材的温度提高到低于目的接触加热温度的低温。
通过最终退火后的接触加热得到的电解电容器电极用铝材的厚度没有特别的限定。
对结束了最终退火后的接触加热的铝材进行用于提高扩面积率的蚀刻处理。蚀刻处理条件没有特别限定，但优选采用直流蚀刻法。采用直流蚀刻法，上述具有均质表层氧化膜的铝材被又深又粗地蚀刻，生成许多隧道状坑，可实现高静电容量。
蚀刻处理后，可以进行所希望的化学转化处理，形成阳极材料，特别是，可以作为中压用和高压用的电解电容器电极材料使用。当然用作阴极材料也没有问题。
通过将上述阳极材料和/或阴极材料用作电极材料，能够构成铝电解电容器。这种电解电容器，由于增大了电极材料的扩面率，因此，具有大的静电容量。
在该实施方案中，通过在最终退火后与加热体接触将铝材加热，能够使铝材的表层氧化膜均质化，并且能够制造蚀刻特性优异的电解电容器用铝材。特别是，由于加热方法使用接触加热，因此，能够在短时间内使铝箔表面均匀地达到目的温度，因此，温度控制比较容易，并且，由于能够快速并且在短时间内加热，因此，能够减小气氛的影响。因此，通过蚀刻这种电解电容器用铝材，能够均匀地生成蚀刻坑，其结果可提高扩面率，进而得到静电容量增大的电解电容器电极材料，结果能够得到具有大静电容量的铝电解电容器。
另外，对于化学转化处理后的蚀刻箔，静电容量的测定可按照常规方法进行，例如，在30℃的80g/L的硼酸铵中，以铂板作为对电极在120Hz进行测定等。
本发明的电容器，并不限于实施例的电容器。
实施例[第1实施例]该实施例与第1实施方案对应。
(实施例1)将对铝板进行热轧得到的板材冷轧，形成厚度250微米、纯度为99.99％的铝材板卷。将该铝材板卷进一步冷轧，使厚度为140微米后，使铝材与表面温度为200℃的热辊接触2秒，然后，与表面温度30℃的冷却辊接触。接着，将板卷状态的铝材在实体温度250℃、氮气气氛下保持24个小时，进行中间退火，然后进行精制冷轧。
精制冷轧后的铝材用正己烷洗涤，洗涤后的铝材在氩气气氛下将铝材的实体温度以50℃/小时的速度从室温升高到540℃后，在540℃下保持24个小时，接着冷却，然后出炉，得到宽500mm、长1000m的电解电容器电解用铝材。
(实施例2～6)与实施例1相同，对热轧铝板得到的板材进行冷轧，得到厚度为250微米、纯度为99.99％的铝材板卷。接着，依次进行表1所示的工序，得到宽500mm、长1000m的电解电容器电极用铝材。
(比较例1)除了在冷轧过程中不进行接触加热之外，与实施例1同样，得到电解电容器电极用铝材。
将在上述实施例和比较例得到的铝材浸渍在含有HCl 1.0摩尔/升和H2SO43.5摩尔/升、液温为75℃的水溶液中之后，以电流密度0.2A/cm2进行电解处理。电解处理后的铝材用上述组成的盐酸-硫酸混合水溶液在90℃下浸渍360秒，扩大坑径，得到蚀刻箔。将所得的蚀刻箔在化学转换电压270V下按照EIAJ规格进行化学转换处理，作为静电容量测定用样品。
在各实施例和比较例中得到的铝材的静电容量，在从最终退火后的铝材板卷的卷绕外端部开始的纵向100m和900m两个地方，以横向中央、距左右端部各100mm内侧的位置为中心的三个地方，共计六个地方，进行测定。
对于各样品测定的静电容量以与比较例1为100时的相对值在表1表示。
表1
在表1中，各工序和※1、※2、※3的内容如下。
工序(1)接触加热将厚度为250微米的铝材在空气气氛中接触加热。
工序(2)冷轧将厚度为250微米的铝材进行冷轧，使厚度成为140微米。
工序(3)接触加热将厚度为140微米的铝材在空气气氛中接触加热。
工序(4)中间退火在氮气气氛中在250℃下进行24个小时的退火。
工序(5)接触加热将厚度140微米的铝材在空气气氛中接触加热。
工序(6)精制冷轧将厚度140微米的铝材冷轧，使厚度成为110微米。
工序(7)洗涤浸渍在正己烷中。
工序(8)最终退火表中的退火温度是铝材实体保持温度。从室温到保持温度的升温速度为50℃/小时。
※1接触加热后采用冷却辊(辊表面温度为30℃)进行冷却。
※2以比较例1的铝材板卷中6个地方的静电容量平均值为100，表示各样品的平均静电容量的相对值。
※3静电容量偏差1所有六个地方的静电容量不足平均值±1.5％。
2所有六个地方的静电容量不足平均值±2％，并且存在静电容量比平均值高1.5％或其以上的或者低1.5％或其以上的位置。
3存在静电容量比平均值高2％或其以上或者低2％或其以上的位置。
由上表1的实施例和比较例可知，通过在冷轧过程中进行接触加热，静电容量的偏差减小，静电容量提高。
该实施例与第2实施方案相对应。
(实施例101)准备轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将得到的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟后，在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行2秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例102)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在两块表面温度为250℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行2秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例103)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行2秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到560℃，然后，在560℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，制成电解电容器用高纯度铝材。
(实施例104)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行1秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例105)
与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将得到的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟。然后，采用两根表面温度设定在200℃的热辊(表面施以硬质镀铬的辊)，使铝材表面与第一根热辊接触1秒钟之后，接着使铝材里面与第二根热辊接触1秒钟，由此进行接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例106)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将得到的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在两块表面温度为90℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行1秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例107)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟。然后，采用两根表面温度设定在380℃的热辊(表面施以硬质镀铬的辊)，使铝材表面与第一根热辊接触0.1秒钟之后，接着使铝材里面与第二根热辊接触0.1秒钟，由此进行接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例108)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟。然后，采用两根表面温度设定在250℃的热辊(表面施以硬质镀铬的辊)，使铝材表面与第一根热辊接触0.005秒钟之后，接着使铝材里面与第二根热辊接触0.005秒钟，由此进行接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度将铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例109)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将得到的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在两块表面温度为150℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行30秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例110)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行2秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到480℃，然后，在480℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例111)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间夹持铝材，在空气中进行2秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到580℃，然后，在580℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(实施例112)除了包括在接触加热后在表面温度为10℃的不锈钢板之间夹持铝材10秒钟进行冷却的工序之外，与实施例101同样，制备电解电容器用高纯度铝材。
(比较例101)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在重叠状态下，在氩气气氛下，以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(比较例102)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在重叠状态下，在氩气气氛下，以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到480℃，然后，在480℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
(比较例103)与实施例101相同，制造了轧制成厚度110微米的纯度99.99％的铝材。将所得的铝材浸渍在烷烃中2秒钟，在90℃下在空气中干燥1分钟，然后，在重叠状态下，在氩气气氛下，以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到580℃，然后，在580℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用高纯度铝材。
在将上述实施例和比较例得到的铝材浸渍在酸中之后，在盐酸-硫酸水溶液中进行电解蚀刻，然后，浸渍在酸溶液中，由此增大坑径，得到蚀刻箔。对所得的蚀刻箔在化学转换电压270V下根据EIAJ规格进行化学转化处理，形成静电容量测定用样品。
实施例和比较例的接触加热条件、退火时铝材的实体温度、静电容量评价在表2表示。静电容量评价表示以比较例101为100时的值。
表2
由上述表2可知，在实施例中，通过在退火之前使用加热板或者热辊进行接触加热，与没有进行接触加热的比较例101～103相比，静电容量提高。
作为洗涤液准备表3和表4所示的有机溶剂和表5所示的在水中加入了表面活性剂的溶液。
表3
表4
表5
(实施例113)对轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材在表3的A1液中浸渍2秒钟之后，在空气中在90℃下干燥60秒钟。接着，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。
然后，将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用铝材。
(实施例114～188)将与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材在表6～表9的工艺条件下进行洗涤和干燥后，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。在实施例253～282中，在铝材浸渍在洗涤液期间将刷子与铝材表面接触并滑动。
将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例189～196)将与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材夹持在两块200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。
然后，在表8的工序3的条件下进行洗涤和干燥。在洗涤液中浸渍铝材期间，使刷子与铝材表面接触并滑动。
将洗涤干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例197～202)将与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材在表8的工序1的条件下进行洗涤和干燥后，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。然后，将接触加热后的铝材在表8的工序3的条件下进行洗涤干燥。
在将工序3条件下洗涤干燥后的铝材重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例203～207)将与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材在表8的工序的条件下进行洗涤和干燥后，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。
将加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例208～211)将与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99％的铝材夹持在两块200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。然后，在表9和表10的工序3条件下进行洗涤干燥。在洗涤液中浸渍铝材期间，使刷子与铝材表面接触并滑动。
将洗涤干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例212～228)对与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材在表10的工序1的条件下进行洗涤和干燥，在表9的工序2条件下进行接触加热。
将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例229)将与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材夹持在两块200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例230)除了包括在用热辊进行接触加热之后使铝材与表面温度25℃的冷却辊接触的工序之外，与实施例224同样，得到电解电容器电极用铝材。
(比较例104)将与实施例113同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃，然后，在540℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器用铝材。
将上述实施例113～230和比较例104中得到的铝材浸渍在含有HCl1.0mol·dm-3和H2SO43.5mol·dm-3的液温75℃的水溶液中之后，在电流密度0.2A/cm2下进行电解处理。再将电解处理后的箔浸渍在90℃的上述组成的盐酸-硫酸混合水溶液中360秒，扩大坑径制成蚀刻箔。将制成的蚀刻箔在化学转换电压270V下按照EIAJ规格进行化学转换处理后作为静电容量测定用样品。对各样品测定的静电容量以将比较例104为100时的相对值在表6～表10表示。
表6 ※加热体1加热板 2热辊
表7※加热体1加热板 2热辊
表8 ※加热体1加热板 2热辊
表9 ※加热体1加热板 2热辊
表10※加热体1加热板 2热辊
实施例230在热辊加热后用冷却辊冷却。
通过比较上述表10的实施例229和比较例104可知，通过在进行最终退火之前进行接触加热，静电容量提高。通过比较实施例113～211和实施例229可知，通过在接触加热前后的至少一方进行洗涤，静电容量将进一步提高。
由实施例203～211可知，洗涤后的干燥温度为200℃或其以下时，静电容量提高，在90℃或其以下时，静电容量进一步提高。
该实施例与第3实施方案对应。
在对最终轧制后的铝材进行碱洗或者酸洗之前进行的有机溶剂的洗涤中使用的有机溶剂洗涤液在表11表示，碱洗涤液在表12表示，酸洗涤液在表13表示。
表11有机溶剂洗净液
表12碱洗涤液(水溶液)的种类
表13酸洗涤液(水溶液)的种类
(实施例301)对轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝箔(铝材)，依次进行采用表11的A102液的洗涤、干燥、表12的B106液的40秒洗涤、水洗、干燥、表13的C101液的60秒洗涤、水洗、干燥的各工序。
接着，将铝箔夹持在两块表面温度250℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热。
接着，将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝箔的实体温度从室温升高到500℃后，在500℃下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝箔。
(实施例302～349)对与实施例301同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝箔在表14或者表15的条件下按照工序顺序进行洗涤干燥之后，在表4或者表5的条件下进行接触加热。
在有机溶剂洗涤后，进行干燥，在酸洗涤后和碱洗涤后进行水洗。在实施例341、实施例343和实施例344中，作为加热体采用表面施以铬镀的热辊。
将接触加热后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝箔的实体温度从室温升高到表14或者表15记载的退火实体温度后，在上述退火实体温度下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝箔。
(比较例301～304)对与实施例301同样轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝箔在表15的条件下进行表11的A101液的洗涤、干燥、表2的B105液的40秒钟洗涤、干燥。
接着，不进行接触加热处理，在将铝材重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝箔的实体温度从室温升高到表5所示的退火实体温度后，在上述退火实体温度下保持24个小时，接着冷却后出炉，得到电解电容器电极用铝箔。
将上述实施例和比较例中得到的铝箔浸渍在含有HCl1.0mol·dm-3和H2SO43.5mol·d-3的液温75℃的水溶液中之后，在电流密度0.2A/cm2下进行电解处理。再将电解处理后的箔浸渍在90℃的上述组成的盐酸-硫酸混合水溶液中360秒，扩大坑径得到蚀刻箔。
将所得的蚀刻箔在化学转换电压270V下按照EIAJ规格进行化学转换处理，形成阳极材料，得到静电容量测定用样品。对各样品测定的静电容量以将比较例301为100时的相对值在表14和表15中表示。
表14
表15
由上表可知，在本发明实施例中，通过在进行碱洗涤和/或酸洗涤之后进行接触加热，与没有进行接触加热的比较例相比，静电容量高。
该实施例与第4实施方案对应。
(实施例401)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃后，在540℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热，制成电解电容器电极用铝材。
(实施例402)除了加热板表面温度为80℃、与加热体的接触时间为28秒之外，与实施例401同样，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例403)除了加热板表面温度为100℃、与加热体的接触时间为20秒之外，与实施例401同样，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例404)除了加热板表面温度为160℃、与加热体的接触时间为10秒之外，与实施例401同样，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例405)除了加热板表面温度为290℃、与加热体的接触时间为2秒之外，与实施例401同样，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例406)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝箔的实体温度从室温升高到500℃后，在500℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行3秒钟的接触加热，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例407)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到470℃后，在470℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行15秒钟的接触加热，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例408)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到560℃后，在560℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的不锈钢制加热板之间，进行2秒钟的接触加热，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例409)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到540℃后，在540℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为350℃的热辊之间，进行0.01秒钟的接触，由此进行加热，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例410)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到500℃后，在500℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为380℃的热辊之间，进行0.01秒钟的接触，由此进行加热，得到电解电容器电极用铝材。
(实施例411)除了热辊的表面温度为200℃，铝材与热辊的接触时间为0.05秒之外，与实施例410同样，得到电解电解电容器电极用铝材。
(实施例412)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到520℃后，在520℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的热辊之间，进行0.1秒钟的接触，由此进行加热，制成电解电容器电极用铝材。
(实施例413)将轧制成厚度110微米的纯度99.99质量％的铝材浸渍在35℃的0.1质量％氢氧化钠水溶液中10秒钟，然后水洗干燥。将干燥后的铝材在重叠的状态下，在氩气气氛下以50℃/小时的速度使铝材的实体温度从室温升高到500℃后，在500℃保持4个小时，接着冷却后出炉。接着，将铝材夹持在两块表面温度为200℃的热辊之间，进行2秒钟的接触，由此进行加热，然后，与表面温度为30℃的冷却辊接触，得到电解电容器电极用铝材。
(比较例401)除了不进行接触加热之外，以与实施例401相同的方法，得到电解电容器电极用铝材。
将上述实施例401～413和比较例401中得到的箔浸渍在含有HCl1.0mol/1和H2SO43.5mol/l的液温75℃的水溶液中之后，在电流密度0.2A/cm2下进行电解处理。再将电解处理后的箔浸渍在90℃的上述组成的盐酸-硫酸混合水溶液中360秒，扩大坑径制成蚀刻箔。将所得的蚀刻箔在化学转换电压270V下按照EIAJ规格进行化学转换处理后作为静电容量测定用样品。对各样品测定的静电容量以将比较例401为100时的相对值在表16表示。
表16
※热辊加热后，使铝材与表面温度30℃的冷却辊接触。
由上述实施例和比较例可知，通过在最终退火后进行接触加热，静电容量将提高。
工业上的可利用性本发明可以作为电解电容器用铝材的制造方法、电解电容器电极用铝材、电解电容器用电极材料的制造方法和铝电解电容器使用。
权利要求
1.电解电容器电极用铝材的制造方法，其特征在于，在依次对铝板进行热轧、冷轧、最终退火来制造电解电容器电极用铝材时，在上述热轧以后的工序中包括通过将铝材与加热体接触来进行加热的工序。
2.权利要求1所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在从上述冷轧开始到结束的过程中的工序中至少进行一次上述铝材与加热体的接触加热工序。
3.权利要求2所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在将上述冷轧过程中进行的至少一次上述接触加热中的最终接触加热后即轧制再开始前的铝材厚度作为A(微米)、整个冷轧结束后的铝材厚度作为B(微米)时，用{(A-B)/A}×100(％)表示的接触加热后的轧制加工率为60％或其以下。
4.权利要求3所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中接触加热后的轧制加工率为30％或其以下。
5.权利要求1所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在上述冷轧后最终退火前进行上述铝材与加热体的接触加热工序。
6.权利要求5所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在与加热体接触之前或者接触之后的任意一方，进一步包括洗涤铝材的工序。
7.权利要求5所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在与加热体接触之前洗涤铝材，接着，干燥或者不干燥，通过使铝材与加热体接触来进行加热。
8.权利要求5所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在与加热体接触后，洗涤铝材，接着干燥或者不干燥，然后进行退火。
9.权利要求5到权利要求8的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中洗涤中使用的洗涤液为有机溶剂。
10.权利要求9所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中有机溶剂是选自CnH2n+1OH(n是1～10的自然数)表示的醇、环己醇(C6H11OH)、1，2-乙二醇(HOCH2CH2OH)、1，2-丙二醇(CH3CH(OH)CH2OH)、1，3-丙二醇(HOCH2CH2CH2OH)、CnH2n+2(n是5～15的自然数)表示的烷烃、环己烷、R1COR2(R1和R2表示脂肪烃基，R1和R2的碳原子总数为8或其以下)表示的酮、环己酮(C6H10O)、R1-O-R2(R1和R2表示脂肪烃基，R1和R2的碳原子总数为8或其以下)表示的醚、2-甲氧基乙醇(CH3OCH2CH2OH)、2-乙氧基乙醇(CH3CH2OCH2CH2OH)、2-丁氧基乙醇(CH3CH2CH2CH2OCH2CH2OH)、2-(2-乙氧基)乙氧基乙醇(CH3CH2OCH2CH2OCH2CH2OH)、CH3COOR(R表示碳原子数1～5的脂肪烃基)表示的乙酸酯、甲苯二甲苯的一种或者两种或其以上的混合物。
11.权利要求5到权利要求8的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中洗涤中使用的洗涤液是在水中加入了表面活性剂的洗涤液。
12.权利要求11所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中表面活性剂是R-OSO3Na(R是碳原子数8～18的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基)表示的阴离子表面活性剂(硫酸酯盐)、R-SO3Na(R为碳原子数8～18的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基)或者R-SO3Na(R是烷基是碳原子数8～14的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基的烷基苄基)表示的阴离子表面活性剂(磺酸盐)、R-N+(CH3)3·Cl-(R是碳原子数8～16的饱和烃基)表示的阳离子表面活性剂(季铵盐)、R-O-(-CH2CH2O)nH(R是碳原子数8～16的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基，n＝6～14)或者R-O-(-CH2CH2O)nH(R是烷基为碳原子数8～12的饱和烃基或者具有一个双键的不饱和烃基的烷基苯基，n＝6～14)表示的聚乙二醇型非离子表面活性剂中的一种或者多种阴离子表面活性剂的混合物、多种阳离子表面活性剂的混合物、多种非离子表面活性剂的混合物、一种或其以上阴离子表面活性剂和一种或其以上非离子表面活性剂的混合物、一种或其以上阳离子表面活性剂和一种或其以上非离子表面活性剂的混合物。
13.权利要求7所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中洗涤后的干燥温度为200℃或其以下。
14.权利要求7或8所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中洗涤后的干燥温度为90℃或其以下。
15.权利要求1所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在上述冷轧后，用能溶解铝的液体洗涤铝材后，在最终退火之前，进行上述铝材与加热体的接触加热工序。
16.权利要求15所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中采用上述能溶解铝的液体进行的洗涤是碱洗。
17.权利要求15所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中采用上述能溶解铝的液体进行的洗涤是酸洗。
18.权利要求15所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中采用上述能溶解铝的液体进行的洗涤是依次进行的碱洗和酸洗。
19.权利要求15到18的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在对铝材进行碱洗或者酸洗之前进行有机溶剂的洗涤。
20.权利要求16、18、19的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，碱洗中采用的碱洗涤液为含有选自氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化钙、原硅酸钠、偏硅酸钠、磷酸钠中的一种或者两种或其以上的碱的水溶液。
21.权利要求17到19的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中酸洗涤中使用的酸洗涤液为含有选自盐酸、硫酸、硝酸、磷酸中的一种或者两种或其以上的酸的水溶液。
22.权利要求1所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中上述铝材与加热体的接触加热工序在最终退火之后进行。
23.权利要求1到22的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中加热体的表面温度为50～450℃，铝材与加热体的接触时间为0.001～60秒。
24.权利要求23所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中加热体的表面温度为60～400℃。
25.权利要求23所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中加热体的表面温度为80～400℃。
26.权利要求23到25的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中铝材与加热体的接触时间为0.001～60秒。
27.权利要求23到25的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中铝材与加热体的接触时间为0.001～30秒。
28.权利要求1到27的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在冷轧过程中的工序中进行中间退火。
29.权利要求1到28的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中最终退火在铝实体温度为450～600℃下在惰性气氛中进行。
30.权利要求1到29的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中加热体是热辊。
31.权利要求1到30的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中在与加热体接触之后冷却铝材。
32.权利要求31所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中铝材的冷却通过与冷却辊接触进行。
33.权利要求1到32的任意一项所述的电解电容器电极用铝材的制造方法，其中铝材的铝纯度为99.9质量％或其以上。
34.通过权利要求1到33的任意一项所述的制造方法制造的电解电容器用铝材。
35.权利要求34所述的电解电容器用铝材，是中压用或者高压用的。
36.电解电容器用电极材料的制造方法，其特征在于对通过权利要求1到权利要求33的任意一项所述的制造方法制造的铝材进行蚀刻。
37.权利要求36所述的电解电容器用电极材料的制造方法，其中蚀刻为直流蚀刻。
38.铝电解电容器，其特征在于作为电极材料使用通过权利要求36或者权利要求37的制造方法制造的铝电极材料。
全文摘要
在对铝板依次进行热轧、冷轧、最终退火制造电解电容器电极用铝材时，在上述热轧以后的工序中，包括通过使铝材与加热体的接触进行加热的工序。铝材与加热体的接触加热工序可以在热轧之后的任何时候进行。可以在从上述冷轧开始到结束的过程中的工序中至少进行一次，也可以在冷轧后最终退火之前进行，也可以在最终退火之后进行。
文档编号C25F3/00GK1646731SQ0380912
公开日2005年7月27日 申请日期2003年4月25日 优先权日2002年4月25日
发明者西森秀树, 山口知典, 加藤丰, 坂口雅司, 儿玉和宏, 穗积敏 申请人:昭和电工株式会社