一种非金属悬浮抛光液及其制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种硅晶半导体悬浮磨削油及其制备方法,包括基础油和油性剂、助分散剂、稀土悬浮剂、油性稠化剂,利用助分散剂在基础油和油性剂中将稀土悬浮剂均匀分散,油性稠化剂对体系进行合理増粘,形成稳定的胶体状悬浮油;当加入碳化硅或金刚砂微粒后,通过稀土悬浮剂的悬浮、分散性能和悬浮油体系中助分散剂的増溶性能和油性稠化剂増粘性能,达到碳化硅或金刚砂微粒在油性体系中均匀、稳定悬浮的效果;体系中的脱芳烃溶剂油,在使用过程中与劳动者的接触较多,可以保护劳动者的健康。
【专利说明】一种非金属悬浮抛光液及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电子工业用磨削油领域,尤指一种非金属悬浮抛光液及其制备方法。【背景技术】
[0002]精密加工技术往往标志着一个国家机械加工业的水平,在提高光机电等产品的性能、质量、寿命和研发制造高科技产品等方面具有十分重要的作用。当前,精密加工已进入亚微米级和纳米级,又被称为亚微米级加工和纳米级加工。在精密加工过程中,非金属材料精密切削、研磨、抛光等的实现在很大程度上依赖于加工设备、加工工具以及相关辅助技术的支持,并受到其加工加工原理及环境因素的影响和限制。磨料在抛光过程中,主要通过微切削、微划擦、滚压等方式作用于非金属工件被加工表面,去除表面材料,利用聚晶金刚石的特性,在研磨抛光 过程中保持高切削效率的同时不易对工件产生划伤。主要用于蓝宝石、窗口镜片、衬底、光学晶体、超硬陶瓷、硬盘等领域的研磨抛光,纳米金刚石具球形状和细粒度粉体能达到超精密的抛光效果,具有良好的分散稳定性,能保持长时间不沉降,粉体在分散液中不发生团聚。广泛应用于硬质材料的超精密抛光过程,可使抛光表面粗糙度你于0.2nm。目前非金属悬浮抛光液主要存在金刚石微粒加入后悬浮稳定性不足,较长时间不使用容易在底部结饼的缺点,影响加工质量。
【发明内容】
[0003]本发明一种非金属悬浮抛光液及其制备方法,其特征在于,利用稀土悬浮剂悬浮分散性能,分散助剂的増溶性能和悬浮助剂的増稠性能,与其他组分合理匹配,实现精加工过的聚晶或纳米金刚石微粒在水性体系中均匀、稳定悬浮分散之目的。
[0004]为了实现上述目的,本发明的技术解决方案为:一种硅晶半导体悬浮磨削油包括金刚石微粒、稀土悬浮剂、分散助剂、润滑剂、悬浮助剂、酸碱调节剂、消泡剂、杀菌剂和去离子水,各组分及其重量份为:
【权利要求】
1.一种硅晶半导体悬浮磨削油及其制备方法,其特征是:一种硅晶半导体悬浮磨削油包括金刚石微粒、稀土悬浮剂、分散助剂、润滑剂、悬浮助剂、酸碱调节剂、消泡剂、杀菌剂和去离子水,各组分及其重量份为:
2.根据权利要求1所述的一种脂肪醇醚烷酰基氨基酸钠的合成方法,其特征是:所述的金刚石微粒优选聚晶金刚石微粒和纳米金刚石微粒;所述的分散助剂是聚乙二醇、聚丙二醇、烯丙基聚乙二醇、甲氧基聚乙二醇和N-酰基氨基酸盐优选N-辛酰基谷氨酸盐,N-月桂酰基甘氨酸盐、N-月桂酰基缬氨酸盐、N-月桂酰基亮氨酸盐、N-月桂酰基丙氨酸盐、N-月桂酰基谷氨酸盐、N-月桂酰基天冬氨酸盐、N-棕榈酰基甘氨酸盐、N-棕榈酰基缬氨酸盐、N-棕榈酰基亮氨酸盐、N-棕榈酰基丙氨酸盐、N-棕榈酰基谷氨酸盐、N-棕榈酰基天冬氨酸盐、N-豆蘧酰基甘氨酸盐、N-豆蘧酰基缬氨酸盐、N-豆蘧酰基丙氨酸盐、N-豆蘧酰基亮氨酸盐、N-豆蘧酰基天冬氨酸盐、N-豆蘧酰基谷氨酸盐、N-油酰基甘氨酸盐、N-油酰基谷氨酸盐、N-油酰基天冬氨酸盐。
3.根据权利要求2所述的一种脂肪醇醚烷酰基氨基酸钠的合成方法,其特征是:所述的润滑剂是聚氧乙烯-聚氧丙烯共聚物,优选异构十三醇无规聚醚、十二醇无规聚醚、丙二醇无规聚醚、丙三醇无规聚醚、丁醇无规聚醚和月桂酸无规聚醚,所述的悬浮助剂是黄原胶、桃胶、琼酯、丙烯酸酰胺和硅藻酸钠中的一种或几种;所述的酸碱调节剂是碱金属的氢氧化物、碱金属碳酸盐、羟乙基胺、羟乙基叔胺、柠檬酸和辛酸中的一种或几种;所述的杀菌剂优选苯并异噻唑-3-酮,5-氯甲基异噻唑啉酮和轻乙基六氢均三嗪。
【文档编号】C10M173/00GK103965789SQ201410154789
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年4月18日 优先权日:2014年4月18日
【发明者】修建东, 刘方旭 申请人:烟台恒迪克能源科技有限公司