一种用于钨丝金刚线切割的冷却液的制作方法

本发明涉及润湿剂，具体涉及一种用于钨丝金刚线切割的冷却液。

背景技术：

1、针对金刚线的线径细线化，硅片尺寸变大，变薄等带来的断线率增加、在金刚线切割领域逐步由钢丝基材高碳钢基材，业内称之为钨丝金刚线，钨钢丝带来的切割中切缝快速的降低，但在使用中带来硅片表面的残留的硅粉增加，从而造成对硅片提棒、插片及清洗的影响。

2、例如，中国发明专利cn103184094b公开了一种用于金刚石线切割技术的冷却液，该冷却液主要由润滑剂、乳化剂、防锈剂、分散剂、防腐剂和去离子水组成，其中各组分的质量百分比为：润滑剂5～50％，乳化剂0.05～10％，防锈剂0.1～5％，分散剂0～10％，防腐剂0～5％，余量为去离子水；该冷却液具有优良的润滑性、分散性和易清洗性，适用于晶硅、蓝宝石等硬脆性材料的切割，在满足金刚线高速切割的同时，提供产品合格率。但该专利并为解决传统高碳钢金刚线，因母线材质的特性，其在来回切割中，因为切割前沿的温度升高，如果切割液体系内的离子含量较高，会与离子产生化学腐蚀而容易断线；目前行业内细线薄片化带来的硅片洁净度不高，提棒卡线等问题。

技术实现思路

1、本发明的目的，解决传统高碳钢金刚线在来回切割中，切割前沿的温度升高，切割液体系内的离子含量较高，会与离子产生化学腐蚀而容易断线等问题；解决细线薄片化的硅片洁净度不高，提棒卡线、清洗等问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，包括：在切割液的基础上进行对液的分散体系补充，具体为现有切割液一般为一至三种低分子量非离子表面活性剂为润湿剂，大分子的嵌段聚醚为分散剂，在辅助少量分子型消泡剂；在非离子润湿剂分散剂基础上，加入能够改变硅粉表面电位的特种表面活性剂作为润湿剂及分散剂。

4、本发明技术方案的进一步改进在于：非离子润湿剂结构如下：r1x-r2y-r3z((其中r1为8-16碳的异构醇结构；r2为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)；r3为聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丁二醇(ch2ch2ch2ch2o-)。

5、本发明技术方案的进一步改进在于：电位阻效应润湿分散剂结构如下：r1x-r2y-r3z-r4(其中r1为8-18碳的异构醇或酸结构；r2为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚丁二醇(ch2ch2ch2ch2o-)；r3为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚丁二醇(ch2ch2ch2ch2o-)；r4为羧酸(-cooh)或者有机铵盐或者磺酸或者磷酸。

6、本发明技术方案的进一步改进在于：嵌段聚醚结构如下：

7、1)r1x-r2y(r1为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚四氢呋喃二醇(ch2ch2ch2ch2o-)中的一种，r2为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚四氢呋喃二醇(ch2ch2ch2ch2o-)中的一种；

8、2)甘油嵌段聚醚：具体结构为：

9、

10、(r1为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚四氢呋喃二醇(ch2ch2ch2ch2o-)中的一种，r2为聚乙二醇

11、(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚四氢呋喃二醇

12、(ch2ch2ch2ch2o-)中的一种)。

13、与现有技术相比，本发明提供一种用于钨丝金刚线切割的冷却液有益效果如下：

14、1、本发明提供一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，该冷却液在非离子润湿剂分散剂基础上，引入能够改变硅粉表面电位的特种表面活性剂作为润湿剂及分散剂，使产品在提供空间位阻效应同时，也提供电位阻效应，让切割下来的硅粉充分分散，脱胶下来的硅片表面的洁净度大大提高。

15、2、本发明提供一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，钨丝金刚线因为钨丝的特性是化学性能稳定，对离子、酸碱都有很好的耐腐蚀性；在引入电位阻效应的原料来改善，极大提高细线薄片化的硅片洁净度，解决了提棒卡线、清洗等问题。

技术特征：

1.一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，其特征在于，包括：在切割液的基础上进行对液的分散体系补充，具体为现有切割液一般为一至三种低分子量非离子表面活性剂为润湿剂，大分子的嵌段聚醚为分散剂，在辅助少量分子型消泡剂；在非离子润湿剂分散剂基础上，加入能够改变硅粉表面电位的特种表面活性剂作为润湿剂及分散剂。

2.根据权利要求1所述一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，其特征在于：非离子润湿剂结构如下：r1x-r2y-r3z((其中r1为8-16碳的异构醇结构；r2为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)；r3为聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丁二醇(ch2ch2ch2ch2o-)。

3.根据权利要求1所述一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，其特征在于：电位阻效应润湿分散剂结构如下：r1x-r2y-r3z-r4(其中r1为8-18碳的异构醇或酸结构；r2为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚丁二醇(ch2ch2ch2ch2o-)；r3为聚乙二醇(ch2ch2o-)或者聚丙二醇(ch2(ch3)ch2o-)或者聚丁二醇(ch2ch2ch2ch2o-)；r4为羧酸(-cooh)或者有机铵盐或者磺酸或者磷酸。

4.根据权利要求1所述一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，其特征在于：嵌段聚醚结构如下：

技术总结
本发明涉及润湿剂技术领域，具体涉及一种用于钨丝金刚线切割的冷却液，包括：在切割液的基础上进行对液的分散体系补充，具体为现有切割液一般为一至三种低分子量非离子表面活性剂为润湿剂，大分子的嵌段聚醚为分散剂，在辅助少量分子型消泡剂；在非离子润湿剂分散剂基础上，加入能够改变硅粉表面电位的特种表面活性剂作为润湿剂及分散剂；本发明钨丝的特性是化学性能稳定，对离子、酸碱都有很好的耐腐蚀性；在引入电位阻效应的原料来改善，极大提高细线薄片化的硅片洁净度，解决了提棒卡线、清洗等问题。

技术研发人员：杨长剑,陈斯奇,刘静彩
受保护的技术使用者：嘉兴昇望科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13