一种硅片切割液回收槽的制作方法
【专利说明】一种硅片切割液回收槽
[0001]
技术领域
[0002]本发明主要涉及硅片切割液回收利用装置。
【背景技术】
[0003]在硅片切割生产过程中，作为金属丝切割的负责耗材，硅片切割液并不可少，且价格较贵，使用量大。因此针对切割液的回收再利用以及使用维护的改进，能有效降低硅片加工的生产成本。
【发明内容】
[0004]发明目的:针对上述现有存在的问题和不足，本发明的目的是提供一种硅片切割液回收槽，能有效对切割液进行实时在线维护，以及对接近报废切割液进行聚乙二醇的回收再利用。
[0005]技术方案:为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案:一种硅片切割液回收槽，包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口 ；所述溢流隔板的高度低于槽体的高度。
[0006]作为优选，所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2?2.0um。进一步优选为多层纤维膜层叠结构。
[0007]作为优选，所述溢流槽内液面下方空间连接有抽真空设备。
[0008]有益效果:与现有技术相比，本发明具有以下优点:能在切割的同时对切割液进行过滤筛选维护，延长切割液的使用寿命;并能对接近报废的切割液进行初筛，有理由后续的聚乙二醇的回收。
【附图说明】
[0009]图1为本发明的结构示意图。
[0010]其中，槽体1、溢流隔板2、沉降槽3、溢流槽4、切割液进口5、切割液出口 6、网架7、微孔滤膜8。
【具体实施方式】
[0011]下面结合具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
[0012]如图1所示，一种硅片切割液回收槽，包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽体的高度。作为优选，所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2?2.0um。进一步优选为多层纤维膜层叠结构。作为优选，所述溢流槽内液面下方空间连接有抽真空设备。
[0013]切割液经过收集盘收集后从切割液进口进入到回收槽的沉降槽中，并经过沉降切割液中的悬浮沉降颗粒，然后随着液面上升从溢流隔板溢流进入溢流槽中，随后在负压状态下经过微孔滤膜进行二级过滤，最后送至后续处理槽中进行物料补充和回收。
【主权项】
1.一种硅片切割液回收槽，其特征在于:包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽体的高度。2.根据权利要求1所述硅片切割液回收槽，其特征在于:所述微孔滤膜为中空纤维膜或陶瓷膜，孔径为0.2?2.0um。3.根据权利要求1所述硅片切割液回收槽，其特征在于:所述溢流槽内液面下方空间连接有抽真空设备。
【专利摘要】本发明公开了一种硅片切割液回收槽，包括槽体，所述槽体内设有溢流隔板将槽体分隔成沉降槽和溢流槽，所述沉降槽的侧壁的上部设有切割液进口；所述沉降槽内还水平的设有网架，该网架上铺设有微孔滤膜，所述溢流槽的底部设有切割液出口；所述溢流隔板的高度低于槽体的高度。本发明能在切割的同时对切割液进行过滤筛选维护，延长切割液的使用寿命；并能对接近报废的切割液进行初筛，有理由后续的聚乙二醇的回收。
【IPC分类】C10M175/00
【公开号】CN105419925
【申请号】CN201510791343
【发明人】陈斌
【申请人】江苏金晖光伏有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年11月17日